低温储罐抽真空工艺试验研究

文中研究了低温储罐的两种抽真空工艺,并比较了它们的抽真空时间、日漏放气率、冷态真空度以及日蒸发率等。试验结果表明,CO2置换抽真空工艺可以有效的降低储罐日漏放气率、提高储罐冷态真空度以及降低储罐的日蒸发率。

基于真空泵的正负压连续控制系统建模与仿真研究

提出基于真空泵构造正负压连续控制系统 ,并结合运用真空技术和气动伺服控制技术相关理论 ,建立了基于真空泵的正负压连续控制系统的数学模型 ,并对该系统进行了仿真研究分析 ,为进一步研究该系统奠定了良好的基础。

真空压差法在制动总泵缸体缺陷检测中的应用

介绍了真空压差法的测试原理及在汽车制动总泵缸体缺陷检测中的应用;分析了由于制动总泵缸体在制造过程中产生的不同缺陷所形成的3种不同密封泄漏曲线,根据曲线的形状和泄漏值的大小可以很清楚地判断出缺陷的类型、大小及在缺体上所处的位置;讨论了为保证测试数据的准确性应用真空压差法时应注意的几个关键问题.采用真空压差法的试验台用于在线检测,准确性达98％以上.

滤油机涡旋式真空泵的泄漏及密封

动、静涡旋盘之间的泄漏是影响涡旋真空泵抽气性能的重要因素,分析了主要由轴向间隙及径向间隙引起的气体返流泄漏,阐述了相应的密封原理及措施,为涡旋真空泵的优化设计提供新的思路。

双螺杆真空泵工作过程数值模拟

对等螺距和变螺距2种螺杆真空泵分别进行了分析,通过能量守恒、质量守恒方程及泄漏模型分别计算了2种真空泵工作过程中的气体压力变化及极限真空度、功耗、抽速等性能参数,由此搭建了真空泵实验系统试验台,展开了双螺杆真空泵压力变化及泄漏的实验研究,分析了2种真空泵性能差别的原因及变螺距螺杆真空泵的优势,并对变螺距真空泵性能进行了实验研究。数值模拟结果表明,变螺距真空泵不论在极限真空压力,还是在指示功率大小方面,均优于等螺距真空泵。实验结果表明,所建物理模型能很好地描述真空泵的实际工作过程,对于所研究的机型,变螺距齿型相对于等螺距齿型,其极限真空压力从3.75Pa降低到2.32Pa,指示功率降低了11%。以上内容在螺杆真空泵设计和改型,以及螺杆真空泵产品开发和性能的预测方面都有指导意义。

双真空主动型氢脉泽真空系统设计

清洁、抽速稳定的高真空系统是氢脉泽工作必不可少的组成部分之一。文章详细介绍了双真空主动型氢脉泽真空系统的组成及各个组成部分的设计思路、方法。内容涉及真空的获得、真空泵的选择、氢脉泽物理部分双真空系统设计、流导及抽速的计算、泵体结构的设计和实验验证。实验发现,设计完毕的氢脉泽双真空系统保温效果较以前大幅改善,内外真空室本底流量为0.1 mA,工作流量值稳定在0.7mA时氢脉泽稳定输出-105 dBm信号,关闭流量后内真空抽真空本底时间约为8 min。表明内外真空室离子泵均达预期设计指标且工作正常。此外,该设计还进一步减小了脉泽体积、减轻了其重量,向氢脉泽小型化迈出了坚实一步。

水轮机固定导叶涡街的动力学分析与燕尾修型研究

卡门涡的脱落与叶片尾部形状密切相关,为了研究固定导叶燕尾后缘对卡门涡脱落的影响,运用涡动力学理论对固定导叶涡量场进行分析,寻找涡街输运的一般规律;并对混流式水轮机的双列叶栅进行数值模拟,对原型和燕尾型固定导叶尾迹涡量场和压力脉动进行比较。数值计算结果表明:与原型相比,燕尾型固定导叶尾迹的涡量值和压力脉动相对减小。燕尾开叉角起到了延长涡街输运距离的作用,同时限制了新生漩涡的生长空间,降低了涡街能量;燕尾后缘对于卡门涡的脱落具有抑制作用,减弱了卡门涡的破坏能力。

双螺杆真空泵齿顶圆周间隙泄漏模拟计算

在研究螺杆泵各项间隙构成原理的基础上,通过CFX软件对同一级齿顶圆周间隙模型进行模拟计算,分析了流体温度、间隙高度、泄露通道宽度对泄漏量的影响。研究结果表明:流体温度对通过泄漏通道的质量流量影响显著,且排气级气体温度不宜过低;螺杆泵稳定运行时的最大齿顶圆周间隙高度应有一定的限制;在相同条件下泄漏量随泄露通道宽度增加而减小。计算结果对双螺杆真空泵腔内间隙的设计计算和优化提供了模拟计算方法和理论基础,对提高双螺杆真空泵的抽气性能有着积极的意义。

HL-2M装置真空室预抽气系统的研制

通过搭建HL-2M真空室整体预抽气系统,对真空室的设计、加工和安装工艺是否达到超高真空技术要求进行了试验检测。采用三套分子泵机组和一套低温泵机组作为主抽系统,对HL-2M真空室进行了预抽,72小时后真空室真空度达到3.7×10^(-5)Pa,超过了预期的预抽真空度。在本底真空度为3.7×10^(-5)Pa的条件下采用静态定容法测试真空室漏放气率,结果显示真空室漏气率为2.3×10^(-7)Pa·m^(3)·s^(-1),小于HL-2A真空室预抽时总漏放气率两个量级。试验证明通过合理的抽气机组配置,HL-2M装置真空室满足超高真空技术要求,为将来开展高品质等离子体实验提供了良好的条件。

双螺杆真空泵新型椭圆弧修正正弦螺旋线螺杆转子设计与模拟

螺杆转子的几何性能直接决定双螺杆真空泵的工作性能。针对现有的螺杆转子存在空间接触线长,泄漏三角形面积大的问题,建立正弦螺旋线和椭圆弧及其共轭曲线的啮合模型,设计了一种新型正弦螺旋线-椭圆弧转子,并推导了其型线方程;通过对螺杆转子几何特性的分析和工作过程的数值模拟,比较了传统螺杆转子和新型转子的不同。结果表明:所提出的新型转子接触线长度缩短了2.54%,泄漏三角形面积减小了27.77%,且齿顶泄漏深度明显小于现有转子,具有更好的密封性能,显著提高了双螺杆真空泵的工作性能,对于改善双螺杆真空泵泄漏具有重要的理论意义和实际工程价值。

化工过程中真空系统的选型设计

阐述了化工过程中真空系统的选型设计与计算方法,并对真空泵选型设计提出一些建议。结合工程应用实例,验证了设计计算方法的可行性。

全无油往复真空输送泵泄漏分析及计算

本文分析了输送泵的泄漏途径及泄漏对输送泵性能的影响,探讨了曲轴箱的压力,运用流导的方法计算了通过活塞环的泄漏量,并进行了结果分析。

滤油机涡旋真空泵泄漏损耗及密封研究

在真空滤油机研发过程中,对其真空获得设备前置涡旋真空泵的研究是一个重要的方面。涡旋真空泵在运行过程中,动、静涡旋盘之间间隙的存在导致了气体泄漏损耗,该因素会影响涡旋真空泵的极限真空度及其工作性能。分析了涡旋真空泵的径向泄漏及切向泄漏,计算了泄漏消耗的功率,说明了密封条原理和特点,提出了径向间隙和轴向间隙的密封措施,对提高涡旋真空泵抽速、改善其机构性能方面具有重要理论意义和工程实用价值,涡旋真空泵将在油处理行业得到进一步推广应用。

TC-3000导热系数测定仪功能修复

对TC-3000导热系数测定仪存在的问题进行排查、分析,主要存在4个方面的问题:(1)样品室真空达不到工作要求;(2)激光系统强度太低;(3)数据处理系统工作不正常;(4)冷却系统达不到工作要求。通过对相关设备系统进行清理、调整和更换等修复方法,TC-3000导热系数测定仪重新投入使用,设备运作正常,延长设备使用寿命,对具有真空系统、激光系统的大型精密仪器的维护修复具有积极指导作用。

基于数值计算方法的双螺杆真空泵气体输运过程研究

基于双螺杆真空泵气体输运的特点,将泵腔内级间的泄漏通道简化为不同类型的真空管路,采用相邻级间的平均压强确定不同压强下级间泄漏气体的流态,计算得到级间泄漏的质量流量。根据质量守恒定律,建立了双螺杆真空泵气体输运过程的数学模型。以渐开线型端面的等螺距螺杆真空泵为研究对象,计算分析了泵从大气压到极限真空的整个抽气过程。对不同入口压强下的级间泄漏量与抽速进行了研究,研究表明:不同的泄漏通道对级间泄漏的影响有所不同。在排气端,齿顶圆与泵腔内壁之间的泄漏通道对级间泄漏的影响较大;在吸气端,两转子齿顶齿根面之间、斜齿面之间以及凹齿面之间这三种泄漏通道对级间泄漏的影响较大。

螺杆真空泵内气体热力过程的解析计算与实验研究

本文提出了一个描述螺杆真空泵内气体级间返流泄漏量沿程分布的简化模型,基于此模型对螺杆真空泵内的气体热力过程进行深度分析,解析计算了抽气过程的吸气、压缩、输运、反冲和排气各阶段气体热力学参数随时间的变化关系。同时,组建了专门的实验测试台,并制作了采用三段式螺杆转子、泵腔侧壁带有5个压力测试孔的专用测试样泵;通过实际测试极限真空状态下的螺杆泵内沿程气体压力,间接验证了返流泄漏模型和热力学计算的正确性。

干式螺杆真空泵内部泄漏过程建模及分析

准确掌握螺杆真空泵内部泄漏规律是设计高性能螺杆转子的基础。本文基于螺杆真空泵内部简化的泄漏通道几何结构与广泛的狭缝通道流动模型调研,对螺杆真空泵内部涉及分子流、粘滞流、过渡流三种流态及泊肃叶流、库爱特流两种流动方式的泄漏过程进行了建模。基于所构建的泄漏模型搭建了螺杆真空泵内部工作过程模拟程序,分析了极限真空下等螺距螺杆转子的内部泄漏过程。分析结果表明,不同间隙与转速下,齿顶泄漏通道内泊肃叶流动始终为影响转子内泄漏的主要因素,转子尖点啮合处泄漏通道内泊肃叶流动为影响转子外泄漏的主要因素,齿顶与齿间接触线处泄漏通道内库爱特流动因素不可忽略。螺杆真空泵内部气体的主要泄漏路径为:排气侧工作腔内气体首先通过齿顶泊肃叶流动内泄漏至吸气侧工作腔,而后通过转子尖点啮合处外泄漏至吸气腔。

半导体设备真空与检漏

基于实际应用,介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件,讲述了He质谱检漏仪的使用方法。总结了真空检漏的经验,阐述了微漏难检的现状。分析了磁控溅射台和ICP真空故障,采用静压检漏法和He质谱检漏仪检漏法,给出了零部件微漏导致这些设备抽不上高真空的结论。指出今后的发展方向是真空部件小型化,以及根据设备特点来提高真空部件的可靠性。结果表明,先排除干扰因素,再细心检漏,可大大提高检漏效率,使设备尽快恢复正常。

双螺杆真空泵封闭容积间压力和泄漏特性研究

研究了双螺杆泵转子封闭容积间泄漏过程,推导出双螺杆泵在达到极限真空时平均泄漏量、内部平均压力的计算方程。计算结果表明:螺杆上不同封闭容积之间的泄漏量和压力相差很大。随着转子周边各间隙的减小,吸气端的泄漏量和压力迅速减小,排气端则相对平缓;螺杆各封闭容积间,通过圆周间隙的泄漏量与通过径向间隙、齿侧间隙泄漏量之和的差值随着转子各间隙的减小而减小。当转子间间隙小于一定值时,通过径向间隙和齿侧间隙的泄漏量会大于通过圆周间隙的泄漏量。

一种新型潜水电泵密封检漏系统

为了更科学、合理地解决好潜水电泵在生产及装配过程中的密封检漏问题,研究了一种新型潜水电泵密封检漏系统。该密封检漏系统采用抽真空的方法对被测工件进行测试,通过真空压力传感器将测试数据传送至计算机测量显示系统;计算机测量显示系统对检测数据进行自动分析处理,最终得出测试结论。介绍了该密封检漏系统的工作原理以及检测程序。理论分析和试验检验证明,新的密封检漏系统其测试结果准确、可靠,极具应用价值。