SSRF电子储存环真空室材料电子激发解吸的实验研究

用电子激发方法对SSRF储存环初步选定的真空室材料的动态出气特性进行了实验研究 ,得到了主要解吸气体成分的电子激发解吸系数与电子入射累积剂量的关系 ,对真空室材料经不同表面处理后的电子激发解吸特性进行了比较 ,初步确定了该真空室的表面处理工艺 。

基于电子诱导脱附的气体解吸实验装置研究

电子诱导脱附是指荷能电子轰击吸附了气体分子的材料表面,使得气体分子解吸出来的现象。在同步辐射光源、热阴极电离规和真空微电子器件等部件中,上述脱附气载是影响系统真空度和阴极寿命的主要因素。本文以日本光子工厂电子诱导脱附(KEK-ESD)装置试验数据为参考,研制了一台在150e V～1000e V电子能量范围内测量材料电子解吸系数的试验装置,并同KEK-ESD无氧铜材料试验数据进行了对比,证明本装置能有效测试材料表面的电子解吸系数。