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一种异常V_(ramp)I-V曲线分析及其应用探讨
被引量:
1
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作者
简维廷
何俊明
+1 位作者
张荣哲
赵永
《中国集成电路》
2009年第10期59-63,共5页
讨论分析了Vramp测试方法,说明了I-V曲线的特性。就一个异常案例中测得的I-V曲线展开了分析,说明了曲线异常背后的原因,揭示了Vramp测试结果和等离子所致损伤之间的关联。结合其它可靠性测试项目的结果,成功地进行了氧化层性能快速评估...
讨论分析了Vramp测试方法,说明了I-V曲线的特性。就一个异常案例中测得的I-V曲线展开了分析,说明了曲线异常背后的原因,揭示了Vramp测试结果和等离子所致损伤之间的关联。结合其它可靠性测试项目的结果,成功地进行了氧化层性能快速评估,丰富了Vramp测试的应用。
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关键词
vramp测试
I—V曲线
栅氧化层性能
可靠性风险评估
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职称材料
题名
一种异常V_(ramp)I-V曲线分析及其应用探讨
被引量:
1
1
作者
简维廷
何俊明
张荣哲
赵永
机构
中芯国际
出处
《中国集成电路》
2009年第10期59-63,共5页
文摘
讨论分析了Vramp测试方法,说明了I-V曲线的特性。就一个异常案例中测得的I-V曲线展开了分析,说明了曲线异常背后的原因,揭示了Vramp测试结果和等离子所致损伤之间的关联。结合其它可靠性测试项目的结果,成功地进行了氧化层性能快速评估,丰富了Vramp测试的应用。
关键词
vramp测试
I—V曲线
栅氧化层性能
可靠性风险评估
Keywords
vramp
Test
I-V Curve
GOX Performance
Reliability Risk Assessment descried. with the ( GOX )
分类号
TN406 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种异常V_(ramp)I-V曲线分析及其应用探讨
简维廷
何俊明
张荣哲
赵永
《中国集成电路》
2009
1
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