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题名多弧离子镀(Ti,W)_xN合金涂层组织与性能
被引量：3
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作者
曾鹏
胡社军
谢光荣
黄拿灿
吴起白
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机构
广东工业大学材料能源学院
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出处
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第9期33-35,41,共4页
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基金
广东省高教厅基金
广东工业大学重点学科资助
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文摘
采用 Ti/ W复合靶用多弧离子镀技术沉积了 (Ti,W) x N合金涂层 ,并对该涂层的组织与性能进行了研究。结果表明 ,涂层组织致密 ,孔隙率极低 ,主要结构为 (Ti,W) 2 N,并具有较高的显微硬度和抗氧化性。在沉积过程中存在着多元合金涂层与复合靶的成分离析现象 ,这与靶材的结构有关。
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关键词
多弧离子镀
(Ti
w)xn涂层
组织性能
成分离析
气相沉积
合金涂层
超硬涂层
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Keywords
multi arc ion plating
(Ti,w) xn coating
microstructure and properties
composition demixing
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分类号
TG174.442
[金属学及工艺—金属表面处理]
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