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核电厂调节阀阀杆高硬低摩DLC涂层工艺优化研究
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作者 王水勇 赵万祥 +2 位作者 王荣山 韩姚磊 许继尧 《全面腐蚀控制》 2024年第2期60-65,103,共7页
通过调整工件偏压和W掺杂靶功率等工艺参数,研究不同工艺对阀杆DLC膜层性能的影响。利用拉曼光谱研究了不同DLC涂层的化学成分和结构,并采用纳米压痕和显微划痕对涂层的力学性能进行了测试。同时,通过摩擦磨损试验评价了复合涂层的摩擦... 通过调整工件偏压和W掺杂靶功率等工艺参数,研究不同工艺对阀杆DLC膜层性能的影响。利用拉曼光谱研究了不同DLC涂层的化学成分和结构,并采用纳米压痕和显微划痕对涂层的力学性能进行了测试。同时,通过摩擦磨损试验评价了复合涂层的摩擦学性能。结果显示,1200V工件偏压下得到的DLC涂层具有更高的硬度和较低的磨损率。W掺杂的DLC涂层附着力更强,但硬度较低,磨损率较高。这项研究为后续制备高硬低摩DLC涂层工艺设计提供参考。 展开更多
关键词 dlc涂层 硬度 摩擦磨损 表面改性 制备工艺
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DLC涂层对阀门耐磨性能的影响研究
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作者 郭松 张中标 +3 位作者 罗世洪 张冬林 田孝帅 郭永正 《表面工程与再制造》 2024年第2期23-25,共3页
阀门是石化、能源等工业生产中不可或缺的重要设备,其耐磨性能直接影响设备的使用寿命和生产效率。以高温高压阀门为试验对象,针对DLC涂层技术在阀门制造中的应用开展工艺试验,探讨其对提高阀门零件的耐磨性能、耐腐蚀性能的影响规律。... 阀门是石化、能源等工业生产中不可或缺的重要设备,其耐磨性能直接影响设备的使用寿命和生产效率。以高温高压阀门为试验对象,针对DLC涂层技术在阀门制造中的应用开展工艺试验,探讨其对提高阀门零件的耐磨性能、耐腐蚀性能的影响规律。试验结果表明:经DLC涂层表面处理后的试样表面硬度高、粗糙度好、摩擦系数低,对零件机加工尺寸无明显影响;且能够提高一般金属材料的耐腐蚀性能和阀门零件的耐磨性能,进而提高阀门的使用寿命和实用价值。 展开更多
关键词 dlc涂层 阀门 耐磨 耐腐蚀
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DLC基纳米多层膜摩擦学性能的研究进展与展望
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作者 汤鑫 王静静 +3 位作者 李伟 胡月 鲁志斌 张广安 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期52-62,共11页
类金刚石(DLC)薄膜是一种良好的固体润滑剂,能够有效延长机械零件、工具的使用寿命。DLC基纳米多层薄膜的设计是耐磨薄膜领域的一项研究热点,薄膜中不同组分层具备不同的物理化学性能组合,能从多个角度(如高温、硬度、润滑)进行设计来... 类金刚石(DLC)薄膜是一种良好的固体润滑剂,能够有效延长机械零件、工具的使用寿命。DLC基纳米多层薄膜的设计是耐磨薄膜领域的一项研究热点,薄膜中不同组分层具备不同的物理化学性能组合,能从多个角度(如高温、硬度、润滑)进行设计来提升薄膜力学性能、摩擦学性能以及耐腐蚀性能等。综述了DLC多层薄膜的设计目的与研究进展,以金属/DLC基纳米多层膜、金属氮化物/DLC基纳米多层膜、金属硫化物/DLC基纳米多层膜以及其他DLC基纳米多层膜为主,对早期研究成果及现在的研究方向进行了概述。介绍了以上几种DLC基纳米多层膜的现有设计思路(形成纳米晶/非晶复合结构、软/硬交替沉积,诱导转移膜形成,实现非公度接触)。随后对摩擦机理进行了分析总结:1)层与层间形成特殊过渡层,提高了结合力;2)软/硬的多层交替设计,可以抵抗应力松弛和裂纹偏转;3)高接触应力和催化作用下诱导DLC中的sp3向sp2转化,形成高度有序的转移膜,从而实现非公度接触。最后对DLC基纳米多层膜的未来发展进行了展望。 展开更多
关键词 dlc基纳米多层膜 力学性能 摩擦学性能 摩擦机理 结构
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表面织构与DLC涂层复合处理影响材料摩擦特性的研究进展
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作者 袁浩恩 吴继忠 +6 位作者 王海军 陈文刚 程家豪 郭思良 周意昊 魏北朝 罗海 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期2091-2104,共14页
近些年来表面织构化与表面涂覆技术在提高摩擦学性能方面取得了良好的进展,有越来越多的研究将表面织构技术与涂覆技术进行融合,发现在适当的外界环境下合适的织构化参数与DLC涂层复合处理后显现出优异的摩擦学特性,两者间做到了1+1大于... 近些年来表面织构化与表面涂覆技术在提高摩擦学性能方面取得了良好的进展,有越来越多的研究将表面织构技术与涂覆技术进行融合,发现在适当的外界环境下合适的织构化参数与DLC涂层复合处理后显现出优异的摩擦学特性,两者间做到了1+1大于2的效果。表面织构化已经广泛的应用在改善材料摩擦性能等方面,然而其在干摩擦条件下可能并不能起到很好的润滑效果。DLC涂层被世间公认为是有效的固体润滑剂,它具有良好的减摩、抗磨性,但涂层却有着吸附力差的缺点,表面织构可以增大涂层与基材之间的有效结合强度,增加表面的腐蚀能力,进而可以提高涂层的摩擦学性能、腐蚀性能、生物相容性。织构化与DLC涂层的结合可以在航空、汽车、机械等领域得到广泛应用,进而提高产品的性能和可靠性。主要介绍表面织构化与DLC涂层复合改性处理后材料的摩擦磨损特性。并从织构的几何参数、实验条件、接触方式、摄入元素、涂层厚度以及仿真分析等几方面进行阐述。为帮助后续的研究方向提供参考。最后对织构与涂层复合改性方面的发展趋势进行展望。 展开更多
关键词 表面织构 dlc涂层 干摩擦 摩擦磨损 复合改性处理
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元素掺杂DLC薄膜在模拟油气田溶液中的耐蚀与耐磨性
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作者 刘政宇 丛浩宇 +3 位作者 牟成龙 曹学乾 张广安 薛群基 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期35-44,共10页
目的沉积出在含有泥沙的模拟油气田溶液中具有优异耐蚀性与耐磨性的类金刚石碳基(DLC)薄膜来对油气开采时的管道进行保护。方法通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在SS304方形试样表面沉积H-DLC、F-HDLC、N-HDLC及Si-HDLC,通过电... 目的沉积出在含有泥沙的模拟油气田溶液中具有优异耐蚀性与耐磨性的类金刚石碳基(DLC)薄膜来对油气开采时的管道进行保护。方法通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在SS304方形试样表面沉积H-DLC、F-HDLC、N-HDLC及Si-HDLC,通过电化学测试表征了其在模拟油气田CO_(2)/H_(2)S/Cl^(-)溶液中的耐蚀性。采用CSM往复式摩擦机测试了其在含有泥沙的模拟溶液中的耐蚀性,结合拉曼光谱、扫描电镜(SEM)等技术分析了摩擦测试后的磨斑与磨痕形貌。结果DLC薄膜的沉积显著提高了SS304基底的耐蚀性,Si掺杂的DLC薄膜具有最高的孔隙电阻与最低的腐蚀电流密度,沉积薄膜后的腐蚀电流密度与SS304基底相比降低了2个数量级。沉积DLC薄膜后SS304基底的耐磨性大幅提高,转移膜的形成降低了摩擦因数与磨损率,薄膜的沉积使磨损率降低了约2个数量级,在与模拟沙粒的SiO_(2)对偶球进行摩擦时转移膜仍能稳定形成。通过向腐蚀溶液中添加SiO_(2)粉末模拟了SS304基底与DLC薄膜在含有大量泥沙的油气采出水中的磨损,摩擦测试后SS304基底表面发生严重的磨粒磨损,不同元素掺杂的DLC薄膜表面均存在不同程度的剥落,但与基底相比极大地缓解了基底磨损。结论DLC薄膜的沉积可以极大地提高SS304基底的耐蚀性与耐磨性,Si-HDLC薄膜在模拟油气田溶液中具有最优越的耐蚀性与稳定性,进而使其在腐蚀溶液中具有优异的耐磨性。 展开更多
关键词 油气田 管道保护 dlc 耐蚀性 耐磨性 泥沙磨损
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高温对含氢DLC涂层的微观结构及力学性能的影响
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作者 贾伟飞 梁灿棉 胡锋 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期174-183,共10页
目的针对含氢DLC涂层热稳定性很差的问题,探究高温下含氢DLC涂层的微观组织变化特征,以及高温对其力学性能的影响。方法采用等离子体强化化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)在S136模具不锈钢表面沉积以Si... 目的针对含氢DLC涂层热稳定性很差的问题,探究高温下含氢DLC涂层的微观组织变化特征,以及高温对其力学性能的影响。方法采用等离子体强化化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)在S136模具不锈钢表面沉积以Si为过渡层的含氢DLC复合涂层,利用光学显微镜、扫描电镜、拉曼光谱、X射线电子衍射仪、三维轮廓仪研究DLC涂层的微观结构,采用划痕测试仪、往复式摩擦磨损试验机、纳米压痕仪研究DLC涂层的力学性能,并通过LAMMPS软件,利用液相淬火法建立含氢DLC模型,模拟分析经高温处理后涂层的组织变化特征和纳米压痕行为。结果在400℃、2 h的退火条件下,拉曼谱峰强度ID/IG由未退火的0.7增至1.5,涂层发生了石墨化转变,同时基线斜率下降,H元素析出;XPS结果表明,在此条件下涂层中sp^(2)杂化组织相对增加,氧元素增多,涂层粗糙度增大;在600℃、2 h退火条件下,DLC发生了严重氧化,LAMMPS模拟结果表明,在400℃高温下涂层的分子键长变短,表明sp3杂化组织在高温下吸收能量,并向sp^(2)杂化转变。纳米压痕模拟结果显示,在400℃下退火后,涂层的硬度下降。结论在400℃下退火处理后,涂层中的H元素释放,涂层内应力减小,保证了涂层的强度;在600℃退火条件下,过渡层的Si和DLC在高温下形成了C—Si键,使得DLC薄膜部分被保留;LAMMPS模拟结果表明,在高温下涂层发生了石墨化转变,涂层的硬度减小。 展开更多
关键词 含氢dlc涂层 退火处理 微观组织 力学性能 LAMMPS模拟
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化学气相沉积Cr/DLC薄膜对Mg-Gd-Y合金耐蚀性能的改善
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作者 何明格 刘文博 +5 位作者 杨柳青 贺秋云 张明友 袁艺绮 杨川琴 何博 《材料保护》 CAS CSCD 2024年第10期126-133,共8页
Mg-Gd-Y合金作为一种优秀工程材料在石油天然气勘探开发中具有广泛应用。为了改善其在井下工作服役时的耐蚀性能,研究了以Cr为过渡层的类金刚石薄膜(DLC)对Mg-Gd-Y合金耐蚀性能的影响。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备了以C... Mg-Gd-Y合金作为一种优秀工程材料在石油天然气勘探开发中具有广泛应用。为了改善其在井下工作服役时的耐蚀性能,研究了以Cr为过渡层的类金刚石薄膜(DLC)对Mg-Gd-Y合金耐蚀性能的影响。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备了以Cr元素为过渡层的类金刚石薄膜,采用拉曼光谱分析DLC膜层的碳结构类型,采用3.5%(质量分数)NaCl盐雾腐蚀试验、电化学极化测试及接触角测试评价了试样的耐蚀性能,采用SEM分析了试样腐蚀前后的表面形貌及断面形貌。结果表明:由拉曼光谱检测数据计算得出,Cr/DLC薄膜的I_D/I_G值为0.64,说明膜层中sp~3杂化键所占比例较多,且组织致密,因此Cr/DLC薄膜在3.5%NaCl溶液中的腐蚀倾向和腐蚀速率降低。Cr/DLC薄膜有效提高了镁合金基体的耐蚀能力。 展开更多
关键词 镁合金 Cr/dlc膜层 耐蚀性能 PECVD
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退火温度对DLC和Si-DLC涂层微观结构和摩擦学性能的影响
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作者 周琼 岗志远 +4 位作者 黄彪 张而耕 陈强 梁丹丹 李正美 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期206-217,共12页
类金刚石(DLC)涂层因具有优异的减磨耐摩性能被广泛应用,而涂层内部存在较高的内应力这一缺点限制其在摩擦学领域的进一步应用。退火处理可以通过改变涂层微观结构来降低涂层内应力,从而提高涂层的摩擦学性能。为研究退火温度对DLC和硅... 类金刚石(DLC)涂层因具有优异的减磨耐摩性能被广泛应用,而涂层内部存在较高的内应力这一缺点限制其在摩擦学领域的进一步应用。退火处理可以通过改变涂层微观结构来降低涂层内应力,从而提高涂层的摩擦学性能。为研究退火温度对DLC和硅掺杂类金刚石(Si-DLC)涂层微观结构和摩擦学性能的影响,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和电弧离子镀的复合沉积技术制备DLC和Si-DLC涂层,将涂层在大气环境中进行不同温度的退火处理。运用扫描电子显微镜、高分辨率透射电子显微镜、拉曼光谱以及XPS光谱仪对涂层摩擦试验前后的形貌和结构进行表征,采用纳米压痕仪和摩擦磨损试验机测试涂层的力学性能和摩擦学性能。结果表明:沉积的DLC和Si-DLC涂层为非晶结构。退火温度对涂层的微观结构和摩擦学性能有重要影响。随着退火温度从RT上升到500℃,由于C-H键断裂,C网发生集束化,DLC涂层的sp^(3)含量呈现先上升后降低的趋势,涂层的sp^(3)含量在300℃热处理后获得最大值,涂层硬度达到最大的20.66 GPa;而Si-DLC涂层由于Si元素的掺杂提高了涂层的热稳定性,其在400℃热处理时sp^(3)含量最大,硬度最大值为24.28 GPa。涂层与氧化锆对磨球的磨损机理为磨粒磨损,涂层的磨损率呈现先降低后升高的趋势,热处理温度为300和400℃为最优。研究证明涂层的微观结构和摩擦学性能可以通过热处理温度调控,优选热处理温度的涂层具有优异的综合性能。研究结果可为退火处理对DLC和Si-DLC涂层的性能影响提供理论支持。 展开更多
关键词 类金刚石(dlc) 硅掺杂类金刚石(Si-dlc) 退火温度 热稳定性 摩擦学性能
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DLC1基因在胃癌中的研究进展
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作者 陈航(综述) 黄兴茂(综述) 俞鹏飞(审校) 《中国肿瘤临床》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期143-147,共5页
胃癌是全球最常见的消化道肿瘤之一,大部分患者确诊时已是进展期或晚期,化疗等常规治疗疗效较差,亟需挖掘新的有效治疗靶点以及生物标志物。DLC1是一种公认的抑癌基因,对消化系统肿瘤的发生发展起着抑制作用,其在肝癌、胃癌、结直肠癌... 胃癌是全球最常见的消化道肿瘤之一,大部分患者确诊时已是进展期或晚期,化疗等常规治疗疗效较差,亟需挖掘新的有效治疗靶点以及生物标志物。DLC1是一种公认的抑癌基因,对消化系统肿瘤的发生发展起着抑制作用,其在肝癌、胃癌、结直肠癌和食管癌等多种实体肿瘤中呈现低表达状态。DLC1不仅与表观遗传修饰、细胞自噬、微生物感染以及微卫星不稳定状态密切相关,且对胃癌发生发展、治疗疗效及患者预后均具有重要影响。本文对DLC1的结构、功能及其在胃癌发生发展和治疗中的作用进行综述,以期为其后续研究提供参考。 展开更多
关键词 胃癌 dlc1 基因 治疗靶点
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W-doped In_(2)O_(3) nanofiber optoelectronic neuromorphic transistors with synergistic synaptic plasticity
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作者 杨洋 傅传玉 +4 位作者 柯硕 崔航源 方晓 万昌锦 万青 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第11期604-608,共5页
Neuromorphic devices that mimic the information processing function of biological synapses and neurons have attracted considerable attention due to their potential applications in brain-like perception and computing. ... Neuromorphic devices that mimic the information processing function of biological synapses and neurons have attracted considerable attention due to their potential applications in brain-like perception and computing. In this paper,neuromorphic transistors with W-doped In_(2)O_(3)nanofibers as the channel layers are fabricated and optoelectronic synergistic synaptic plasticity is also investigated. Such nanofiber transistors can be used to emulate some biological synaptic functions, including excitatory postsynaptic current(EPSC), long-term potentiation(LTP), and depression(LTD). Moreover, the synaptic plasticity of the nanofiber transistor can be synergistically modulated by light pulse and electrical pulse.At last, pulsed light learning and pulsed electrical forgetting behaviors were emulated in 5×5 nanofiber device array.Our results provide new insights into the development of nanofiber optoelectronic neuromorphic devices with synergistic synaptic plasticity. 展开更多
关键词 w-doped In_(2)O_(3)nanofibers neuromorphic transistors optoelectronic synaptic plasticity
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N掺杂对Si-DLC薄膜的结构性能影响及摩擦机理研究
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作者 魏徐兵 冯海燕 +6 位作者 尹萍妹 陈赞 丁佳晴 卢诗琪 杜乃洲 李晓伟 张广安 《摩擦学学报(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1266-1282,共17页
采用平板阴极等离子体增强化学气相沉积技术,通过调控N_(2)流量在GCr15基底上制备了系列硅氮共掺杂类金刚石碳基(Si/N-DLC)薄膜,分析探索N掺杂对于Si-DLC薄膜结构、力学性能和摩擦学行为的作用规律以及Si/NDLC薄膜的低摩擦磨损机理.结... 采用平板阴极等离子体增强化学气相沉积技术,通过调控N_(2)流量在GCr15基底上制备了系列硅氮共掺杂类金刚石碳基(Si/N-DLC)薄膜,分析探索N掺杂对于Si-DLC薄膜结构、力学性能和摩擦学行为的作用规律以及Si/NDLC薄膜的低摩擦磨损机理.结果表明:N元素的引入促进Si-DLC薄膜中sp^(2)-C结构的形成,降低了薄膜的硬度和弹性模量,但能大幅改善Si-DLC薄膜的韧性并增强结合(>20 N).更重要的是,N掺杂可有效降低Si-DLC薄膜的摩擦系数并改善其耐磨性能,摩擦系数和磨损率相较于Si-DLC薄膜分别降低了约26%和45%.其摩擦机理是类石墨碳(GLC)转移膜的形成使得摩擦界面发生转移,有效降低了Si/N-DLC薄膜的摩擦系数,并且依赖于摩擦界面的石墨化程度和氢含量.而磨损行为取决于其薄膜自身韧性和抵抗弹塑性变形的能力,磨痕内部脆性断裂缺口会造成转移膜的大面积破坏,加剧了黏着磨损.此外,确定了Si/N-DLC薄膜低摩擦(摩擦系数≤0.05)的最佳服役区间,相关结果为Si/N-DLC薄膜的结构性能调控和工程应用提供参考. 展开更多
关键词 Si/N-dlc薄膜 摩擦磨损 润滑机理 GLC转移膜 滑动界面
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C_(2)H_(2)气体流量对WC-DLC涂层结构与性能的影响
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作者 谢焕钧 徐长云 +3 位作者 唐令 韩明月 罗阳 李刘合 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期212-219,共8页
文章采用直流磁控溅射技术制备WC-DLC耐磨涂层,为了探究C_(2)H_(2)流量对WC-DLC涂层表截面形貌、微观结构、力学和摩擦学性能的影响,在10−50 mL/min C_(2)H_(2)流量下制备了WC-DLC涂层并进行表征分析。结果表明,随着C_(2)H_(2)流量的增... 文章采用直流磁控溅射技术制备WC-DLC耐磨涂层,为了探究C_(2)H_(2)流量对WC-DLC涂层表截面形貌、微观结构、力学和摩擦学性能的影响,在10−50 mL/min C_(2)H_(2)流量下制备了WC-DLC涂层并进行表征分析。结果表明,随着C_(2)H_(2)流量的增加,涂层中碳含量增加,晶粒逐渐细化,由柱状晶逐渐转变为细晶粒,涂层变得更加致密;涂层纳米硬度与sp3杂化的C原子含量密切相关,随着涂层中sp3-C含量的增加,硬度先升高然后降低,磨损率也先升高降低;随着碳原子含量升高,涂层中出现大量的非晶碳,表面晶粒非晶化,涂层的摩擦系数逐渐减小且更加稳定。 展开更多
关键词 WC-dlc 涂层 C_(2)H_(2) 流量 纳米硬度 结合力 摩擦磨损
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钽掺杂对多层Ta-DLC薄膜摩擦及腐蚀行为的影响
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作者 李超 孙刚 +3 位作者 马国佳 吴俊升 张博威 张昊泽 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期63-73,共11页
目的解决316L不锈钢在苛刻海洋环境中易磨损、易腐蚀的问题。方法采用中频磁控溅射技术在316L不锈钢上沉积了Ta/TaN/TaCN/Ta-DLC薄膜。通过扫描电子显微镜、拉曼光谱、X射线光电子能谱、X射线衍射、纳米压痕、往复摩擦磨损试验和电化学... 目的解决316L不锈钢在苛刻海洋环境中易磨损、易腐蚀的问题。方法采用中频磁控溅射技术在316L不锈钢上沉积了Ta/TaN/TaCN/Ta-DLC薄膜。通过扫描电子显微镜、拉曼光谱、X射线光电子能谱、X射线衍射、纳米压痕、往复摩擦磨损试验和电化学测试等手段,重点研究了DLC膜层中Ta元素掺杂含量对薄膜结构、组成成分、力学性能、摩擦学性能和耐腐蚀性能的影响规律。结果随着Ta元素含量(原子数分数)从2.04%增到4.16%,薄膜中的sp^(3)键含量呈现先升高后降低的趋势,当Ta原子数分数为3.60%时,薄膜中sp3键含量最高,且薄膜的硬度及弹性模量达到最大,分别为7.01 GPa和157.87 GPa。随着Ta元素含量的增加,薄膜的平均摩擦因数逐渐减小,在4.16%(原子数分数)时达到最小0.21。Ta元素含量对薄膜的结合力影响较小,且所有薄膜结合力总体在10 N左右。当Ta原子数分数为3.60%时,薄膜的腐蚀电流密度及钝化电流密度最小,分别为0.006μA/cm^(2)和0.63μA/cm^(2),比其他薄膜的低1~2个数量级,并且薄膜电阻及电荷转移电阻最大,展现出最为优异的耐腐蚀性能。结论Ta元素的掺杂提高了薄膜的耐摩擦性能,且适当的Ta元素掺杂能够提高Ta/TaN/TaCN/Ta-DLC薄膜的耐磨耐蚀性能。 展开更多
关键词 dlc薄膜 磁控溅射 腐蚀 摩擦磨损 元素掺杂
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Ti-DLC薄膜压阻性能及载流子输运行为研究
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作者 赵志翰 郭鹏 +5 位作者 魏菁 崔丽 刘山泽 张文龙 陈仁德 汪爱英 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期879-886,I0001,I0002,共10页
围绕压阻传感器领域对高性能类金刚石(Diamond Like Carbon,DLC)薄膜压阻敏感材料的需求,针对金属掺杂DLC存在的载流子输运行为和实际多工况(如温度、湿度等)下压阻性能不明的问题,本工作以Ti-石墨复合拼接靶为靶材,采用高功率脉冲磁控... 围绕压阻传感器领域对高性能类金刚石(Diamond Like Carbon,DLC)薄膜压阻敏感材料的需求,针对金属掺杂DLC存在的载流子输运行为和实际多工况(如温度、湿度等)下压阻性能不明的问题,本工作以Ti-石墨复合拼接靶为靶材,采用高功率脉冲磁控溅射技术,高通量制备出4种Ti含量(原子分数为0.43%~4.11%)的Ti掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜,研究了Ti含量对薄膜组分结构、电学性能、变湿度环境下压阻性能的影响规律。结果表明:Ti含量(原子分数)在0.43%~4.11%范围内,掺杂Ti原子均以固溶形式均匀镶嵌于非晶碳网络中,Ti-DLC薄膜电学行为表现为典型半导体特性,在200~350 K温度范围内,薄膜电阻率均随温度升高而降低。载流子传导机制在200~270 K内为Mott型三维变程跳跃传导,在270~350 K范围内则为热激活传导。Ti-DLC薄膜压阻系数(Gauge Factor,GF)最大值为95.1,在20%~80%相对湿度范围内,所有样品GF均随湿度增加而增大,这可能是引入的固溶Ti原子缩短了导电相之间的平均距离,同时吸附表面水分子导致电阻变化。 展开更多
关键词 Ti掺杂 类金刚石薄膜 电学性能 可变湿度 压阻行为
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用于探测液态金属-气体的DLC涂层式丝网探针数值模拟与结构优化
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作者 包睿祺 刘莉 +3 位作者 刘帅 袁俊杰 刘茂龙 顾汉洋 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期344-356,共13页
液态金属-气体两相流是铅冷快堆在蒸汽发生器传热管破裂(SGTR)事故下的物理现象之一,考虑到液态金属的不透明性、腐蚀性及高温性,本文提出一种类金刚石(DLC)涂层式丝网探针(WMS)对液态金属-气体两相流相态分布进行探测。基于COMSOL软件... 液态金属-气体两相流是铅冷快堆在蒸汽发生器传热管破裂(SGTR)事故下的物理现象之一,考虑到液态金属的不透明性、腐蚀性及高温性,本文提出一种类金刚石(DLC)涂层式丝网探针(WMS)对液态金属-气体两相流相态分布进行探测。基于COMSOL软件,建立了涂层式WMS的数值模型并进行了实验验证,通过电场模拟阐明了该新型探针应用于含液态金属气液两相流的可行性。进一步地,通过改变丝网电极的间距与直径、涂层的厚度,研究了结构参数对涂层式WMS测量精度的影响。结果表明,电极丝横向间距为2~3 mm、垂直间距为1.5~2 mm时,WMS测量精度较高,而涂层厚度和电极丝直径的影响较小。本研究可指导DLC涂层式WMS在液态金属-气体两相环境中的实际应用,并为分析SGTR事故后的多相分布提供技术基础。 展开更多
关键词 液态金属-气体两相流 丝网探针 类金刚石涂层 空泡份额 数值模拟
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基于复合过渡层的DLC涂层残余热应力仿真分析
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作者 黄珂 顾德华 +6 位作者 邵思武 乔自平 李君安 陈良贤 刘金龙 李成明 魏俊俊 《材料热处理学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第11期224-233,共10页
利用ANSYS软件热固耦合模块对类金刚石(DLC)涂层的残余热应力进行有限元分析,模拟等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制备DLC涂层从沉积温度150℃降温至22℃的过程,研究不同DLC厚度、过渡层(Cr、WC)结构及过渡层厚度对DLC涂层残余热应力... 利用ANSYS软件热固耦合模块对类金刚石(DLC)涂层的残余热应力进行有限元分析,模拟等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制备DLC涂层从沉积温度150℃降温至22℃的过程,研究不同DLC厚度、过渡层(Cr、WC)结构及过渡层厚度对DLC涂层残余热应力的大小及应力分布的影响。结果表明:无论是DLC涂层厚度还是复合过渡层厚度的增大都有利于降低DLC涂层的热应力,但两者都具有临界最优值。较无过渡层的DLC涂层而言,过渡层WC、Cr层的单独存在都可降低DLC涂层的热应力,且WC层厚度变化的影响更明显。采用Cr/WC复合梯度过渡层结构设计,可进一步降低基底与DLC涂层之间的热膨胀系数过渡梯度,从而更有效地降低DLC涂层的热应力。 展开更多
关键词 等离子体增强化学气相沉积(PECVD) 类金刚石(dlc) 复合过渡层 ANSYS 残余热应力
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硅氧共掺DLC薄膜的制备及阻隔性能研究
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作者 印莲华 刘忠伟 《包装工程》 CAS 北大核心 2024年第19期171-178,共8页
目的研究硅(Si)、氧(O)元素掺杂对类金刚石(Diamond like Carbon,DLC)薄膜沉积、结构、表面形貌以及阻隔性能的影响,为高效制备高阻隔硅氧共掺类金刚石(Si and O Incorporated DLC,Si/O-DLC)薄膜提供新的思路参考。方法利用微波等离子... 目的研究硅(Si)、氧(O)元素掺杂对类金刚石(Diamond like Carbon,DLC)薄膜沉积、结构、表面形貌以及阻隔性能的影响,为高效制备高阻隔硅氧共掺类金刚石(Si and O Incorporated DLC,Si/O-DLC)薄膜提供新的思路参考。方法利用微波等离子体化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene terephthalate,PET)基底表面沉积Si/O-DLC薄膜,具体研究反应单体中六甲基二硅氧烷(Hexaethyldisiloxane,HMDSO)含量对薄膜沉积和阻隔性能的影响。通过台阶仪、傅里叶红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)表征薄膜厚度、结构和微观形貌,并通过测试氧气透过率表征复合薄膜的阻隔性能。结果随着混合气体中HMDSO含量增加,薄膜的沉积速率提高,不同高度位置上沉积速率波动变弱,平均沉积速率最高达到310 nm·min^(–1),同时,薄膜中Si、O元素含量增加,相关的键合结构含量增加,薄膜表面致密性变差,氧气阻隔性能变弱;当HMDSO流量控制在1 mL·min^(–1)时,PET薄膜的氧气透过率可从未涂覆时的132mL·m^(2)·d^(–1)降低至2mL·m^(2)·d^(-1),阻隔性能明显改善。结论在一定工艺条件下,通过微波PECVD技术在PET薄膜表面涂覆Si/O-DLC薄膜,可明显改善其阻隔性能。 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 类金刚石 聚对苯二甲酸乙二醇酯 阻隔性能 元素掺杂
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不锈钢喷丝头表面镀DLC膜可行性探讨
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作者 郭庆平 《纺织器材》 2024年第3期28-30,33,共4页
为了提升化纤纺丝用喷丝头质量,介绍金铂合金、钽、不锈钢3种材质化纤喷丝头的优缺点;以SUS316L型不锈钢制作的PY35-2050-0.075型喷丝头为例,通过盐雾试验以及酸性溶液浸泡试验,对比分析其镀DLC膜前后的性能、质量及表面微观形貌变化。... 为了提升化纤纺丝用喷丝头质量,介绍金铂合金、钽、不锈钢3种材质化纤喷丝头的优缺点;以SUS316L型不锈钢制作的PY35-2050-0.075型喷丝头为例,通过盐雾试验以及酸性溶液浸泡试验,对比分析其镀DLC膜前后的性能、质量及表面微观形貌变化。指出:以Cr+WC作为中间过渡层,能提高气相沉积DLC膜与不锈钢喷丝头基体的结合强度;镀DLC膜不锈钢喷丝头的硬度可达2000 HV,强度和耐酸碱腐蚀性均优于普通不锈钢喷丝头,使用寿命长,更适用于高温、高压以及酸碱腐蚀的纺丝环境。 展开更多
关键词 纺丝 喷丝头 不锈钢 dlc 气相沉积 硬度 耐腐蚀性
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桂盟DLC黑钻链:竞速美学,御风而行
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作者 安远 《中国自行车》 2024年第1期110-111,共2页
工欲善其事,必先利其器。对于自行车骑手来说,链条是自行车上更换、维护最为频繁的部件,只有出色的链条才能让传动效果取得较大的提升。如果你正在寻找一款品质过硬,还极具颜值的链条,那么桂盟(KMC)推出的DLC黑钻链就相当适合了。
关键词 dlc 链条 自行车
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非平衡磁控溅射制备Cr掺杂DLC复合薄膜的高温摩擦学性能 被引量:1
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作者 孙建芳 陈泽达 +1 位作者 苏峰华 李助军 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期7-15,共9页
元素掺杂是提升DLC薄膜摩擦学性能和耐温性能的重要途径。采用直流磁控溅射技术在304不锈钢基体表面沉积了含氢DLC薄膜,同时利用射频磁控溅射技术完成Cr元素的掺杂,研究Cr元素掺杂对DLC薄膜的力学性能及摩擦学性能的影响。采用纳米压痕... 元素掺杂是提升DLC薄膜摩擦学性能和耐温性能的重要途径。采用直流磁控溅射技术在304不锈钢基体表面沉积了含氢DLC薄膜,同时利用射频磁控溅射技术完成Cr元素的掺杂,研究Cr元素掺杂对DLC薄膜的力学性能及摩擦学性能的影响。采用纳米压痕仪测试薄膜硬度并利用划痕试验测试膜基结合力,采用拉曼光谱分析薄膜sp2和sp3键含量的变化和转移膜的生成。采用UMT多功能摩擦磨损试验机评价薄膜在常温和高温环境下的摩擦磨损性能,并利用扫描电镜观察磨损表面,分析其磨损机制。结果表明,Cr元素掺杂会显著提高薄膜的膜基结合力,但会使薄膜硬度有一定的下降。常温摩擦学性能测试显示,DLC薄膜的摩擦因数随着Cr含量的增加呈现出先下降后上升的趋势,在Cr质量分数为3.34%时达到最低;但薄膜的磨损率随Cr含量的增加略有升高。高温摩擦学性能测试表明,Cr元素掺杂显著改善了DLC薄膜的高温摩擦学性能,未掺杂的DLC在150℃以上摩擦时会失效,Cr元素掺杂使薄膜在250℃下也能保持较低的摩擦因数和较长的抗磨寿命。Cr元素的加入能够提高DLC薄膜的膜基结合力,降低摩擦因数,并提高薄膜的高温摩擦学性能,这主要是因为Cr元素掺杂促使薄膜结构发生转变,同时Cr的氧化物也起到了一定的保护作用。 展开更多
关键词 磁控溅射 dlc复合薄膜 元素掺杂 高温 摩擦磨损
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