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氧分量对柔性衬底上WO_x薄膜性能的影响
1
作者
唐武
范芸
+2 位作者
李海霞
翁小龙
邓龙江
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期1968-1970,1973,共4页
通过射频磁控溅射方法,在柔性PET衬底上低温沉积电致变色WOx薄膜。利用X射线衍射(XRD)、紫外-可见光分光光度计、X射线光电子能谱(XPS)分析所制备薄膜的微观结构、透光率、O元素的结合状态。结果表明,各氧分量下制备的WOx薄膜均为非晶态...
通过射频磁控溅射方法,在柔性PET衬底上低温沉积电致变色WOx薄膜。利用X射线衍射(XRD)、紫外-可见光分光光度计、X射线光电子能谱(XPS)分析所制备薄膜的微观结构、透光率、O元素的结合状态。结果表明,各氧分量下制备的WOx薄膜均为非晶态;氧分量0时制备的薄膜着、退色态透光率变化范围达到25%左右,具有较好的电致变色性能;XPS分析表明氧分量8%时氧空位含量最低,随着氧分量的继续增大,氧空位含量也增大。
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关键词
wox薄膜
低温沉积
电致变色
射频磁控溅射
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职称材料
氧化钨电致变色薄膜的XPS分析
被引量:
5
2
作者
李海霞
唐武
+2 位作者
翁小龙
邓龙江
孔占兴
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第7期1213-1216,共4页
采用射频磁控溅射工艺,在柔性PET衬底上低温制备电致变色WOx/ITO/PET多层薄膜;利用X射线光电子能谱(XPS)分析所制备薄膜的着、退色态中W元素的价态以及O元素的化合环境。结果表明:WOx薄膜着色态中存在W6+和W5+的混合价态,而在退色态中W...
采用射频磁控溅射工艺,在柔性PET衬底上低温制备电致变色WOx/ITO/PET多层薄膜;利用X射线光电子能谱(XPS)分析所制备薄膜的着、退色态中W元素的价态以及O元素的化合环境。结果表明:WOx薄膜着色态中存在W6+和W5+的混合价态,而在退色态中W元素的化合价仅为W6+;钨离子的不同价态和氧离子的不同化合环境的变化与WOx薄膜的电致变色机制密切相关。
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关键词
wox薄膜
电致变色
磁控溅射
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职称材料
柔性衬底上WO_x薄膜的制备及特性研究
被引量:
2
3
作者
李海霞
唐武
+1 位作者
翁小龙
邓龙江
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期1962-1964,1967,共4页
采用射频磁控溅射工艺,在柔性PET衬底上低温制备电致变色WOx/ITO/PET多层薄膜。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)分析所制备薄膜的原始态、着色态和退色态的微观结构、表面形貌及W元素的化合价态。结果表...
采用射频磁控溅射工艺,在柔性PET衬底上低温制备电致变色WOx/ITO/PET多层薄膜。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)分析所制备薄膜的原始态、着色态和退色态的微观结构、表面形貌及W元素的化合价态。结果表明:原始态、着色态及退色态的WOx薄膜均为非晶态;原始态薄膜表面存在较多孔洞,薄膜在LiClO4的乙腈溶液中进行电致变色反应,实验发现着退色态薄膜颜色可发生可逆变化,随Li+的注入和抽出,薄膜表面形貌发生明显变化;XPS分析进一步表明WOx薄膜在原始态中W元素的化合价为W6+,着色态存在W6+和W5+的混合价态。
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关键词
wox薄膜
电致变色
磁控溅射
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职称材料
磁控溅射功率对WO_x薄膜结构和光催化活性的影响
被引量:
2
4
作者
李渊
赵青南
+3 位作者
张泽华
刘翔
曾瑧
董玉红
《硅酸盐通报》
CAS
北大核心
2019年第2期512-516,529,共6页
采用射频磁控溅射法在非加热载玻片上制备WO_x薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)、台阶仪、UV-Vis-NIR3600型紫外可见分光光度计和接触角计,研究不同溅射功率下薄膜的物相结构、表面形貌...
采用射频磁控溅射法在非加热载玻片上制备WO_x薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)、台阶仪、UV-Vis-NIR3600型紫外可见分光光度计和接触角计,研究不同溅射功率下薄膜的物相结构、表面形貌、元素价态、膜厚、光学性能、光催化和亲水性能。结果表明,随着溅射功率增加,薄膜的光学带隙逐渐减小,薄膜光催化活性与亲水性均提高。180 W溅射功率沉积的薄膜放置在亚甲基蓝溶液里,然后用紫外灯照射210 min,亚甲基蓝降解率达到97%; WO_x薄膜在紫外灯下照射120 min时,水接触角达到12. 2°,停止照射之后放置在可见光下260 min,水接触角达到19. 1°。
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关键词
wox薄膜
射频磁控溅射功率
光催化
亲水性
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职称材料
Ni掺杂WO_x薄膜的电致变色性能
被引量:
9
5
作者
黄佳木
徐爱娇
穆尉鹏
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期177-180,共4页
采用磁控溅射工艺,以纯钨和纯镍为靶材在ITO玻璃上制备Ni掺杂WOx电致变色薄膜,研究了Ni掺杂对WOx薄膜电致变色性能和微观结构的影响机理。实验结果表明:均匀掺杂少量的Ni可改变WOx薄膜内部的缺陷分布及结构,提高薄膜的电致变色性能。XR...
采用磁控溅射工艺,以纯钨和纯镍为靶材在ITO玻璃上制备Ni掺杂WOx电致变色薄膜,研究了Ni掺杂对WOx薄膜电致变色性能和微观结构的影响机理。实验结果表明:均匀掺杂少量的Ni可改变WOx薄膜内部的缺陷分布及结构,提高薄膜的电致变色性能。XRD分析表明,掺杂后的WOx:Ni薄膜为非晶态;XPS分析表明:WOx:Ni薄膜中的Ni为Ni2+。
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关键词
wox
:Ni
薄膜
电致变色
掺杂
磁控溅射
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职称材料
题名
氧分量对柔性衬底上WO_x薄膜性能的影响
1
作者
唐武
范芸
李海霞
翁小龙
邓龙江
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期1968-1970,1973,共4页
文摘
通过射频磁控溅射方法,在柔性PET衬底上低温沉积电致变色WOx薄膜。利用X射线衍射(XRD)、紫外-可见光分光光度计、X射线光电子能谱(XPS)分析所制备薄膜的微观结构、透光率、O元素的结合状态。结果表明,各氧分量下制备的WOx薄膜均为非晶态;氧分量0时制备的薄膜着、退色态透光率变化范围达到25%左右,具有较好的电致变色性能;XPS分析表明氧分量8%时氧空位含量最低,随着氧分量的继续增大,氧空位含量也增大。
关键词
wox薄膜
低温沉积
电致变色
射频磁控溅射
Keywords
wox
film
room temperature deposition
electrochromic
RF-magnetron sputtering
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
氧化钨电致变色薄膜的XPS分析
被引量:
5
2
作者
李海霞
唐武
翁小龙
邓龙江
孔占兴
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第7期1213-1216,共4页
基金
国家自然科学基金资助(50601005)
文摘
采用射频磁控溅射工艺,在柔性PET衬底上低温制备电致变色WOx/ITO/PET多层薄膜;利用X射线光电子能谱(XPS)分析所制备薄膜的着、退色态中W元素的价态以及O元素的化合环境。结果表明:WOx薄膜着色态中存在W6+和W5+的混合价态,而在退色态中W元素的化合价仅为W6+;钨离子的不同价态和氧离子的不同化合环境的变化与WOx薄膜的电致变色机制密切相关。
关键词
wox薄膜
电致变色
磁控溅射
Keywords
wox
film
electrochromic effect
magnetron sputtering
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
柔性衬底上WO_x薄膜的制备及特性研究
被引量:
2
3
作者
李海霞
唐武
翁小龙
邓龙江
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室教育部隐身材料与技术工程中心
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期1962-1964,1967,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50601005)
文摘
采用射频磁控溅射工艺,在柔性PET衬底上低温制备电致变色WOx/ITO/PET多层薄膜。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)分析所制备薄膜的原始态、着色态和退色态的微观结构、表面形貌及W元素的化合价态。结果表明:原始态、着色态及退色态的WOx薄膜均为非晶态;原始态薄膜表面存在较多孔洞,薄膜在LiClO4的乙腈溶液中进行电致变色反应,实验发现着退色态薄膜颜色可发生可逆变化,随Li+的注入和抽出,薄膜表面形貌发生明显变化;XPS分析进一步表明WOx薄膜在原始态中W元素的化合价为W6+,着色态存在W6+和W5+的混合价态。
关键词
wox薄膜
电致变色
磁控溅射
Keywords
wox
film
electrochromic
magnetron sputtering
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
磁控溅射功率对WO_x薄膜结构和光催化活性的影响
被引量:
2
4
作者
李渊
赵青南
张泽华
刘翔
曾瑧
董玉红
机构
武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室
江苏秀强玻璃工艺股份有限公司
出处
《硅酸盐通报》
CAS
北大核心
2019年第2期512-516,529,共6页
基金
产学研合作项目(20131h0467)
文摘
采用射频磁控溅射法在非加热载玻片上制备WO_x薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)、台阶仪、UV-Vis-NIR3600型紫外可见分光光度计和接触角计,研究不同溅射功率下薄膜的物相结构、表面形貌、元素价态、膜厚、光学性能、光催化和亲水性能。结果表明,随着溅射功率增加,薄膜的光学带隙逐渐减小,薄膜光催化活性与亲水性均提高。180 W溅射功率沉积的薄膜放置在亚甲基蓝溶液里,然后用紫外灯照射210 min,亚甲基蓝降解率达到97%; WO_x薄膜在紫外灯下照射120 min时,水接触角达到12. 2°,停止照射之后放置在可见光下260 min,水接触角达到19. 1°。
关键词
wox薄膜
射频磁控溅射功率
光催化
亲水性
Keywords
wox
film
RF magnetron sputtering power
photocatalysis
hydrophilicity
分类号
TG146 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
Ni掺杂WO_x薄膜的电致变色性能
被引量:
9
5
作者
黄佳木
徐爱娇
穆尉鹏
机构
重庆大学材料科学与工程学院
出处
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期177-180,共4页
基金
重庆市科委攻关基金资助项目(2000-6114)
文摘
采用磁控溅射工艺,以纯钨和纯镍为靶材在ITO玻璃上制备Ni掺杂WOx电致变色薄膜,研究了Ni掺杂对WOx薄膜电致变色性能和微观结构的影响机理。实验结果表明:均匀掺杂少量的Ni可改变WOx薄膜内部的缺陷分布及结构,提高薄膜的电致变色性能。XRD分析表明,掺杂后的WOx:Ni薄膜为非晶态;XPS分析表明:WOx:Ni薄膜中的Ni为Ni2+。
关键词
wox
:Ni
薄膜
电致变色
掺杂
磁控溅射
Keywords
wox
..Ni thin film
electrochromic
doping
magnetron sputtering
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
TN304.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧分量对柔性衬底上WO_x薄膜性能的影响
唐武
范芸
李海霞
翁小龙
邓龙江
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
下载PDF
职称材料
2
氧化钨电致变色薄膜的XPS分析
李海霞
唐武
翁小龙
邓龙江
孔占兴
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
5
下载PDF
职称材料
3
柔性衬底上WO_x薄膜的制备及特性研究
李海霞
唐武
翁小龙
邓龙江
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
下载PDF
职称材料
4
磁控溅射功率对WO_x薄膜结构和光催化活性的影响
李渊
赵青南
张泽华
刘翔
曾瑧
董玉红
《硅酸盐通报》
CAS
北大核心
2019
2
下载PDF
职称材料
5
Ni掺杂WO_x薄膜的电致变色性能
黄佳木
徐爱娇
穆尉鹏
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
9
下载PDF
职称材料
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