等离子体填充耦合腔链特性研究

用严格的场匹配方法分析了填充等离子体的耦合腔链,研究了等离子体 腔混合模的形成以及"冷带宽"和"热带宽"的展宽效应。等离子体填充周期性耦合腔链后,形成周期性的截止频率为0的等离子体TG模式。当填充的等离子体密度较大,且腔模和TG模式发生部分重叠时,两者相互耦合,形成等离子体 腔混合模式。工作在混合模式下,其"冷带宽"和"热带宽"大大增宽,且耦合阻抗比真空时提高了近5倍,因此在填充等离子体后,耦合腔链的慢波特性得到了显著的改善。