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运用泽尼克多项式进行物面波前数据拟合 被引量:17
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作者 惠梅 牛憨笨 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第12期1113-1116,共4页
本文提出了一种运用泽尼克(Zernike) 多项式的波前数据拟合方法- 给出了离散点上正交多项式的构造并描述了具体计算步骤- 可对待测物面低调制度点、散斑点、噪音及灰尘点区域进行波前数据拟合,通过一定阈值的设定,将误差... 本文提出了一种运用泽尼克(Zernike) 多项式的波前数据拟合方法- 给出了离散点上正交多项式的构造并描述了具体计算步骤- 可对待测物面低调制度点、散斑点、噪音及灰尘点区域进行波前数据拟合,通过一定阈值的设定,将误差点用掩模滤除并予以拟合- 进一步提高了物体测量精度- 展开更多
关键词 泽尼克多项式 波前数据拟合 物体 三维形貌
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