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Effect of Different Etching Time on Fabrication of an Optoelectronic Device Based on GaN/Psi
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作者 Haneen D.Jabbar Makram A.Fakhri +4 位作者 Mohammed Jalal Abdul Razzaq Omar S.Dahham Evan T.Salim Forat H.Alsultany U.Hashim 《Journal of Renewable Materials》 SCIE EI 2023年第3期1101-1122,共22页
Gallium nitride(GaN)/porous silicon(PSi)film was prepared using a pulsed laser deposition method and 1064 nm Nd:YAG laser for optoelectronic applications and a series of Psi substrates were fabricated using a photoele... Gallium nitride(GaN)/porous silicon(PSi)film was prepared using a pulsed laser deposition method and 1064 nm Nd:YAG laser for optoelectronic applications and a series of Psi substrates were fabricated using a photoelectrochemical etching method assisted by laser at different etching times for 2.5–15 min at 2.5 min intervals.X-ray diffraction,room-temperature photoluminescence,atomic force microscopy and field emission scanning electron microscopy images,and electrical characteristics in the prepared GaN on the Psi film were investigated.The optimum Psi substrate was obtained under the following conditions:10 min,10 mA/cm^(2),and 24%hydrofluoric acid.The substrate exhibited two highly cubic crystalline structures at(200)and(400)orientations and yellow visible band photoluminescence,and homogeneous pores formed over the entire surface.The pores had steep oval shapes and were accompanied by small dark pores that appeared topographically and morphologically.The GaN/Psi film fabricated through PLD exhibited a high and hexagonal crystallographic texture in the(002)plane.Spectroscopic properties results revealed that the photoluminescence emission of the deposited nano-GaN films was in the ultraviolet band(374 nm)related to GaN material and in the near-infrared band(730 nm)related to the Psi substrate.The topographical and morphological results of the GaN films confirmed that the deposited film contained spherical grains with an average diameter of 51.8 nm and surface roughness of 4.8 nm.The GaN/Psi surface showed a cauliflower-like morphology,and the built-in voltage decreased from 3.4 to 2.7 eV after deposition.The fabricated GaN/Psi film exhibited good electrical characteristics. 展开更多
关键词 gallium nitride porous silicon photoelectrochemical etching pulsed laser deposition optical device
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4H-SiC衬底上生长参数对AlGaN基深紫外多量子阱受激辐射特性的影响
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作者 张睿洁 郭亚楠 +4 位作者 吴涵 刘志彬 闫建昌 李晋闽 王军喜 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期894-904,共11页
SiC衬底是制备高性能AlGaN基深紫外激光器的良好候选衬底。采用金属有机化学气相沉积方法在4H-SiC衬底上生长了深紫外AlGaN/AlN多量子阱结构(MQWs),系统研讨了MQWs生长参数对深紫外激光结构自发辐射和受激辐射特性的影响规律。综合分析M... SiC衬底是制备高性能AlGaN基深紫外激光器的良好候选衬底。采用金属有机化学气相沉积方法在4H-SiC衬底上生长了深紫外AlGaN/AlN多量子阱结构(MQWs),系统研讨了MQWs生长参数对深紫外激光结构自发辐射和受激辐射特性的影响规律。综合分析MQWs的表面形貌和发光性能后发现,随着NH_(3)流量增加和生长温度升高,MQWs表面粗糙度降低,内量子效率提升。经优化,MQWs的内量子效率达到74.1%,室温下的激射阈值光功率密度和线宽分别为1.03 MW/cm~2和1.82 nm,发光波长为248.8 nm。这主要归因于高的NH3流量和生长温度抑制了有源区中的碳杂质并入,载流子辐射复合效率和材料增益增加;同时生长速率降低,改善了MQWs结构的表面形貌,降低了界面散射损耗。采用干法刻蚀和湿法腐蚀的复合工艺制备了光滑陡直的谐振腔,激光器的腔面损耗降低,阈值光功率密度和线宽进一步降低至889 kW/cm~2和1.39 nm。 展开更多
关键词 ALGAN SIC 光泵浦激光器 Ⅴ/Ⅲ比 生长温度
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中国第三代半导体产业发展研究
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作者 张倩 《科技广场》 2024年第2期19-25,共7页
第三代半导体广泛应用于照明、电力电子、新一代移动通信、新能源等领域,其基础性强、战略意义重大。我国第三代半导体产业链已经基本完备,市场规模逐年快速增长,且第三代半导体技术在专利布局方面也具备优势,与国际领先水平的差距不断... 第三代半导体广泛应用于照明、电力电子、新一代移动通信、新能源等领域,其基础性强、战略意义重大。我国第三代半导体产业链已经基本完备,市场规模逐年快速增长,且第三代半导体技术在专利布局方面也具备优势,与国际领先水平的差距不断缩小。本文对中国第三代半导体产业和技术发展现状以及发展趋势进行研判与分析,针对第三代半导体技术发展出现的问题,提出未来中国第三代半导体技术发展的思路与建议。 展开更多
关键词 第三代半导体技术 碳化硅 氮化镓 发展对策
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江苏省第三代半导体与智能化产业融通创新发展路径
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作者 张煜晨 周颖 +1 位作者 季鹏飞 华松逸 《科技和产业》 2023年第15期194-202,共9页
当前,能源技术革命已从高端电力装备创新逐步转向材料技术革命。以SiC和GaN为主的第三代半导体材料与技术对于建成高效、可靠且可循环的能源网络至关重要。然而,由于产业、技术、市场和资本之间存在长期的信息不对称,以及国内下游智能... 当前,能源技术革命已从高端电力装备创新逐步转向材料技术革命。以SiC和GaN为主的第三代半导体材料与技术对于建成高效、可靠且可循环的能源网络至关重要。然而,由于产业、技术、市场和资本之间存在长期的信息不对称,以及国内下游智能化产业对上游供应链的不信任,导致创新成果难以落地、创新主体抗风险能力较弱,第三代半导体领域国产化进程频频受阻。通过构建“技术成熟度/专利价值”融通创新发展模型,围绕全球第三代半导体SiC与GaN细分技术领域全生命周期,结合江苏省产业发展实际,提出产业、资本及平台间的融通创新发展路径,以更好促进纵向产业链、横向产学研及大中小企业融通创新发展。结合江苏第三代半导体与智能化产业发展实际,从创新生态构建、核心技术攻关、协同创新平台、IDM(垂直整合制造)运营、专利运营、市场监管、人才梯队培养等7个方面,提出对策及建议。 展开更多
关键词 第三代半导体 智能化产业 融通创新 碳化硅(SiC) 氮化镓(GaN)
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第三代半导体及氮化镓(GaN)材料分析
5
作者 李杰 王友旺 《集成电路应用》 2023年第10期326-328,共3页
阐述第三代半导体及氮化镓(GaN)材料制备工艺,以及第三代半导体在全球和国内的发展情况,分析氮化镓(GaN)材料的特征和氮化镓半导体材料的应用,包括在通信系统、功率半导体、军事用途、电子学中的应用。
关键词 第三代半导体 碳化硅(SiC) 氮化镓(GaN)
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宽禁带功率半导体器件技术 被引量:22
6
作者 张波 邓小川 +1 位作者 陈万军 李肇基 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期618-623,共6页
碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)是第三代半导体材料的典型代表。与常规半导体硅(Si)和砷化镓(GaAs)相比,宽禁带半导体具有宽带隙、高饱和漂移速度、高临界击穿电场等突出优点,是大功率、高温、高频、抗辐照应用场合下极为理想的半导体材料。... 碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)是第三代半导体材料的典型代表。与常规半导体硅(Si)和砷化镓(GaAs)相比,宽禁带半导体具有宽带隙、高饱和漂移速度、高临界击穿电场等突出优点,是大功率、高温、高频、抗辐照应用场合下极为理想的半导体材料。该文总结了宽禁带SiC和GaN功率半导体器件研发的最新进展,包括各种功率二极管和功率晶体管。同时对宽禁带SiC和GaN功率半导体器件发展所面临的市场和技术挑战进行了分析与概述,并对其发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 氮化镓 功率器件 碳化硅 宽禁带半导体
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宽禁带半导体器件研究现状与展望 被引量:31
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作者 朱梓悦 秦海鸿 +2 位作者 董耀文 严仰光 徐华娟 《电气工程学报》 2016年第1期1-11,共11页
电力电子器件是电力电子技术的重要基础。由于传统的硅电力电子器件的性能已经逼近其材料极限,很难再大幅提升硅基电力电子装置的性能。以碳化硅和氮化镓为代表的宽禁带半导体器件比硅器件具有更优的器件性能,成为电力电子器件新的研究... 电力电子器件是电力电子技术的重要基础。由于传统的硅电力电子器件的性能已经逼近其材料极限,很难再大幅提升硅基电力电子装置的性能。以碳化硅和氮化镓为代表的宽禁带半导体器件比硅器件具有更优的器件性能,成为电力电子器件新的研究发展方向。本文对碳化硅和氮化镓电力电子器件的商业化产品水平和实验室研究现状进行了综述和探讨,并对宽禁带半导体器件在未来功率器件市场中的应用前景进行了预测及展望。 展开更多
关键词 宽禁带半导体器件 碳化硅 氮化镓
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宽禁带器件在电动汽车中的研究和应用 被引量:4
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作者 董耀文 秦海鸿 +2 位作者 付大丰 徐华娟 严仰光 《电源学报》 CSCD 2016年第4期119-127,共9页
硅基电力电子器件经过长期的发展,其性能已经逼近其材料极限,很难再大幅提升硅基电力电子装置的性能。以碳化硅和氮化镓为代表的第三代宽禁带半导体器件比硅器件具有更优的器件性能,成为电力电子器件新的研究发展方向。首先主要介绍了... 硅基电力电子器件经过长期的发展,其性能已经逼近其材料极限,很难再大幅提升硅基电力电子装置的性能。以碳化硅和氮化镓为代表的第三代宽禁带半导体器件比硅器件具有更优的器件性能,成为电力电子器件新的研究发展方向。首先主要介绍了电动汽车对电力电子变换器的要求及宽禁带器件的发展,然后对宽禁带器件在电动汽车中的研究现状进行了分析和展望,最后指出了宽禁带器件在电动汽车应用中面临的主要问题。 展开更多
关键词 宽禁带器件 碳化硅 氮化镓 电动汽车
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宽禁带器件在1kV高频直流谐振变换器中的应用与对比 被引量:5
9
作者 顾占彪 李志斌 +3 位作者 石伟杰 唐家承 张之梁 任小永 《电源学报》 CSCD 北大核心 2020年第1期150-161,共12页
与传统硅Si(silicon)功率器件相比,第3代宽禁带功率半导体器件,如碳化硅SiC(silicon carbide)和氮化镓GaN(gallium nitride)功率器件,由于具有高功率密度、耐高温和抗辐照等特点,得到了越来越广泛的应用。分析了基于SiC和GaN的2种1 kV... 与传统硅Si(silicon)功率器件相比,第3代宽禁带功率半导体器件,如碳化硅SiC(silicon carbide)和氮化镓GaN(gallium nitride)功率器件,由于具有高功率密度、耐高温和抗辐照等特点,得到了越来越广泛的应用。分析了基于SiC和GaN的2种1 kV输入、32 V/3 kW输出的LLC谐振变换器,通过仿真和实验探究了变压器匝间电容对谐振电流的影响;并采取分离谐振腔、改变变压器绕组结构的方法,减小谐振电流的畸变,保证了开关管ZVS的实现。由于大匝比变压器难以平面化,2种变换器均采用原边串联、副边并联的矩阵变压器,实现自动均压、均流,降低电压和电流应力,提高功率密度和热稳定性。为了进一步提高效率,GaN LLC变换器副边采用同步整流。最后,本文从拓扑、损耗、整机尺寸、可靠性以及功率密度等方面对比分析了这2种变换器的优缺点,为器件的选择提供了参考依据。 展开更多
关键词 宽禁带器件 SIC GAN DC-DC 高压 谐振变换器
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纳米氮化镓/碳化硅固溶晶薄膜电子微结构 被引量:1
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作者 张洪涛 徐重阳 +1 位作者 曾祥斌 邹雪城 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期139-140,148,共3页
采用高功率密度、高氢稀释和直流偏压 PECVD技术制备纳米碳化硅 /氮化镓固溶晶薄膜。经过透射电镜观察 ,形状为微丘陵状 ,晶粒径在 3~ 16 nm范围 ,垂直衬底生长 ,其宽化衍射环与单晶碳化硅吻合。拉曼光谱与4 H -多型 Si C范围相似。并... 采用高功率密度、高氢稀释和直流偏压 PECVD技术制备纳米碳化硅 /氮化镓固溶晶薄膜。经过透射电镜观察 ,形状为微丘陵状 ,晶粒径在 3~ 16 nm范围 ,垂直衬底生长 ,其宽化衍射环与单晶碳化硅吻合。拉曼光谱与4 H -多型 Si C范围相似。并出现晶态氮化镓的特征峰。这表明制备出纳米碳化硅 展开更多
关键词 纳米结构 氮化镓 碳化硅 固溶晶 薄膜
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宽禁带器件应用技术专辑主编评述 被引量:3
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作者 宁圃奇 《电源学报》 CSCD 北大核心 2020年第4期1-3,共3页
近20年来,以碳化硅和氮化镓为代表的宽禁带半导体功率器件具有电气性能和热性能等方面的优势,正在成为硅器件的强力替代品。业界成功研制出SiC MOSFET、GaN HEMT等先进器件,已在能源汽车、轨道交通、能源互联等行业展示出高开关能力和... 近20年来,以碳化硅和氮化镓为代表的宽禁带半导体功率器件具有电气性能和热性能等方面的优势,正在成为硅器件的强力替代品。业界成功研制出SiC MOSFET、GaN HEMT等先进器件,已在能源汽车、轨道交通、能源互联等行业展示出高开关能力和高温能力。基于功率器件设计、封装、实验方法、栅极驱动等方面的最新研究进展,《电源学报》特别推出"宽禁带器件应用技术"专辑,以期推进宽禁带器件前沿技术与应用难点和热点问题的探讨。 展开更多
关键词 宽禁带 碳化硅(SiC) 氮化镓(GaN) 主编述评
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宽禁带半导体关键设备技术及发展 被引量:8
12
作者 颜秀文 武祥 《电子工业专用设备》 2013年第5期4-8,共5页
宽禁带半导体设备技术是宽禁带半导体器件的支撑和重要基础。简要介绍了宽禁带半导体器件发展面临的设备问题,重点介绍了碳化硅晶体生长炉、碳化硅外延生长炉、碳化硅离子注入机和氮化镓MOCVD四种制约我国宽禁带半导体器件技术发展的关... 宽禁带半导体设备技术是宽禁带半导体器件的支撑和重要基础。简要介绍了宽禁带半导体器件发展面临的设备问题,重点介绍了碳化硅晶体生长炉、碳化硅外延生长炉、碳化硅离子注入机和氮化镓MOCVD四种制约我国宽禁带半导体器件技术发展的关键设备,指出了宽禁带半导体设备技术的未来发展趋势。 展开更多
关键词 宽禁带半导体 碳化硅 氮化镓 离子注入机 关键设备
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宽禁带电力电子器件研发新进展
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作者 陈治明 《机械制造与自动化》 2005年第6期1-3,6,共4页
碳化硅和氮化镓是最有发展前途的半导体材料,可用于电力半导体器件的制造。与硅半导体电力电子器件相比,其优点是:标定阻断电压较高,功率损耗较低,工作温度较高,因此给这种器件增加了与硅器件竞争的活力。至于其发展水平,SiC肖特基二极... 碳化硅和氮化镓是最有发展前途的半导体材料,可用于电力半导体器件的制造。与硅半导体电力电子器件相比,其优点是:标定阻断电压较高,功率损耗较低,工作温度较高,因此给这种器件增加了与硅器件竞争的活力。至于其发展水平,SiC肖特基二极管的标定阻断电压达1.2kV、电流20A,并已投入生产;SiC大功率二极管的研制水平,标定阻断电压达12.3kV,正向电流密度达100 A/cm2。预期在数年内,SiC与GaN器件将在因节能而著称的电力电子设备中得到广泛采用。 展开更多
关键词 碳化硅 氮化镓 肖特基二极管 电力电子器件
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碳化硅器件的短路保护:设计准则和电路 被引量:3
14
作者 党子越 彭晗 +1 位作者 彭皓 康勇 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2022年第2期728-736,共9页
为了保障碳化硅(silicon carbide,SiC)在发生短路故障时可安全可靠的关断,需在掌握其短路特性基本规律的前提下,针对SiC短路耐受时间较短、短路下器件漏源极电压拐点不明显等特征,展开去饱和保护电路(desaturation fault protection,DES... 为了保障碳化硅(silicon carbide,SiC)在发生短路故障时可安全可靠的关断,需在掌握其短路特性基本规律的前提下,针对SiC短路耐受时间较短、短路下器件漏源极电压拐点不明显等特征,展开去饱和保护电路(desaturation fault protection,DESAT)电路中关键参数的研究,并制定其工程化设计的参考标准。在此基础上,文中进一步提出基于氮化镓(gallium nitride,GaN)的高速、低传输延时的DESAT短路保护电路,短路保护电路的驱动动作延时仅为常规基于硅器件DESAT电路的23.2%。所提出的氮化镓DESAT电路为SiC MOSFET短路保护电路的更优越的实现方案。 展开更多
关键词 碳化硅 短路特性 DESAT保护电路 氮化镓
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北京第三代半导体产业发展思路的研究 被引量:7
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作者 顾瑾栩 张倩 卢晓威 《集成电路应用》 2019年第5期1-6,共6页
第三代半导体是以碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)为代表的新一代半导体材料,它们拥有高频高效、耐高压、耐高温等特性,是支撑轨道交通、新能源汽车、5G等产业的核心材料和电子元器件。北京市作为我国第三代半导体发展的重镇,具备丰富的科技... 第三代半导体是以碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)为代表的新一代半导体材料,它们拥有高频高效、耐高压、耐高温等特性,是支撑轨道交通、新能源汽车、5G等产业的核心材料和电子元器件。北京市作为我国第三代半导体发展的重镇,具备丰富的科技资源和产业基础,聚集了诸如世纪金光、天科合达、泰科天润等知名生产制造企业。研究并实施北京第三代半导体产业的发展大计,不仅是助推北京市经济结构的优化,更是完善中国第三代半导体产业布局、助推产业成长的重要举措。 展开更多
关键词 第三代半导体 宽禁带半导体材料 碳化硅 氮化镓 功率器件
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高耐压Si基GaN功率电子器件
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作者 管邦虎 孔岑 +6 位作者 耿习娇 陆海燕 倪金玉 周建军 孔月婵 冯军 陈堂胜 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期505-508,共4页
基于Si基GaN HEMT材料制作了击穿电压530V、无场板的功率电子器件。器件制作工艺与现有GaN微波功率器件工艺兼容。研究了器件栅漏间距与击穿电压的关系。器件栅宽为100μm,栅漏间距为15μm时,得到的GaN HEMT器件击穿电压530V,最大电流密... 基于Si基GaN HEMT材料制作了击穿电压530V、无场板的功率电子器件。器件制作工艺与现有GaN微波功率器件工艺兼容。研究了器件栅漏间距与击穿电压的关系。器件栅宽为100μm,栅漏间距为15μm时,得到的GaN HEMT器件击穿电压530V,最大电流密度536mA/mm。器件的特征通态电阻为1.54mΩ·cm2,是相同击穿电压Si MOSFET器件特征通态电阻的二十五分之一。所制作的6mm栅宽器件击穿电压400V,输出电流2A。该器件的研制为制作低成本GaN HEMT功率器件奠定了基础。 展开更多
关键词 硅基氮化镓 功率电子器件 击穿电压
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几种典型宽禁带半导体材料的制备及发展现状 被引量:1
17
作者 杨静 杨洪星 《电子工业专用设备》 2016年第8期20-23,共4页
阐述了SiC、GaN、AlN等几种宽禁带半导体材料的特性、突出优势及其重要应用;并对比分析了目前制备这些半导体材料的主流方法及其各自存在的利与弊;最后讨论了宽禁带半导体材料的发展现状及其存在的挑战。
关键词 碳化硅 氮化镓 宽禁带半导体 器件
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A Review of WBG and Si Devices Hybrid Applications 被引量:1
18
作者 Li Zhang Zhongshu Zheng Xiutao Lou 《Chinese Journal of Electrical Engineering》 CSCD 2021年第2期1-20,共20页
In recent years,next-generation power semiconductor devices,represented by silicon carbide(SiC)and gallium nitride(GaN),have gradually emerged.Because wide-bandgap(WBG)devices have better electrical characteristics th... In recent years,next-generation power semiconductor devices,represented by silicon carbide(SiC)and gallium nitride(GaN),have gradually emerged.Because wide-bandgap(WBG)devices have better electrical characteristics than those of silicon(Si)based devices,they have attracted increased attention both from academic researchers and industrial engineers.Employing WBG devices will further improve the efficiency and power density of power converters.However,the current price of WBG devices remains extremely high.Thus,some researches have focused on the hybrid utilization of WBG devices and Si-based devices to achieve a tradeoff between the performance and cost.To summarize the current research on WBG/Si hybrid applications,the issues mentioned above with representative research approaches,results,and characteristics,are systematically reviewed.Finally,the current research on WBG/Si hybrid applications and their future trends are discussed. 展开更多
关键词 silicon carbide(SiC)devices gallium nitride(GaN)devices silicon(Si)devices hybrid application
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电子器件在电力电气自动化工程中的应用 被引量:1
19
作者 张运久 《集成电路应用》 2021年第12期216-217,共2页
阐述电子器件的应用现状和发展的趋势,包括电力整流管、晶闸管和绝缘栅双极晶体管、智能功率模块的应用,氮化镓、碳化硅、电子器件新技术的应用。
关键词 电子器件 绝缘栅双极晶体管 氮化镓 碳化硅
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Multi-converter Approach to Higher Power Density DC-DC Converter for 380 V DC Distribution System 被引量:1
20
作者 YusukeHayashi 《Journal of Energy and Power Engineering》 2013年第7期1331-1343,共13页
关键词 DC-DC转换器 直流配电系统 功率密度 转换方法 升压斩波器 设计参数 功率转换器 电源转换器
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