红外探测装置中光谱分光镜的设计与制备

在红外探测装置中,光谱分光镜是用来把3μm^5μm和8μm^12μm 2个波段的光谱分开的零件。介绍了一种在通用镀膜机上制备光谱分光镜的新工艺。在该膜系的设计过程中,把Willey公式引入到对其平均透过率最高值进行估算的过程中,同时针对国产镀膜机控制精度不高的特点,尽量使用规整膜层进行设计。为了进一步提高8μm^12μm波段的透过率,在膜系的最外侧引进了一层自行配制的低折射率氟化物材料,制备出了符合技术指标的红外光谱分光镜。