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硅电容压力传感器敏感器件的研究
被引量:
7
1
作者
张治国
褚斌
+6 位作者
李颖
孙海玮
祝永峰
林洪
刘沁
匡石
陈信琦
《微纳电子技术》
CAS
2004年第11期39-42,共4页
研制的硅电容压力传感器芯体采用微机械加工技术,加工精度高,易于批量化生产。结构上采用对称的差动电容形式,并将其封装在专用基座中,适用于中、微压力的高精度测量,可用于目前通用压力传感器的升级产品。
关键词
压力传感器
电容
升级
通用
批量
器件
微机械加工技术
封装
量化
基座
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职称材料
一种新型分体式差压测量装置的研制
被引量:
6
2
作者
方立德
卢庆华
+3 位作者
李小亭
张计科
何青
张垚
《电子测量与仪器学报》
CSCD
2012年第10期870-876,共7页
为了减少由传统的差压测量装置中引压装置带来的不确定度,设计了一种新的分体式差压测量装置。从不确定度的角度出发,对测量装置的模型进行分析,采用扩散硅压力传感器探头作为测压元件,使用MSP430F149单片机作为控制数据转换、处理和显...
为了减少由传统的差压测量装置中引压装置带来的不确定度,设计了一种新的分体式差压测量装置。从不确定度的角度出发,对测量装置的模型进行分析,采用扩散硅压力传感器探头作为测压元件,使用MSP430F149单片机作为控制数据转换、处理和显示的中央芯片,并确定了分体式差压测量装置的最优测量方案。通过大量的实验确定了压力和差压测量的数学模型。最终的差压测量实验表明:通过对电压数值的修正,差压测量的引用误差达到了5‰,证明该装置的测量原理和方法是可行的。
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关键词
MSP430单片机
扩散硅压力传感器
分体式差压测量
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职称材料
背压式硅压阻压差传感器的研制
被引量:
4
3
作者
王臻
王伟
+2 位作者
杨明
任海燕
马亚军
《导弹与航天运载技术》
北大核心
2016年第1期98-102,共5页
根据伺服系统高精度、高可靠性的测量需求,研制一种背压式硅压阻压差传感器。传感器基于硅的压阻效应,与目前硅压阻压差传感器使用薄膜隔离式敏感芯体不同,其感压芯片的背部直接接触被测介质感受压力,避免了硅油介质传递压力。因此,敏...
根据伺服系统高精度、高可靠性的测量需求,研制一种背压式硅压阻压差传感器。传感器基于硅的压阻效应,与目前硅压阻压差传感器使用薄膜隔离式敏感芯体不同,其感压芯片的背部直接接触被测介质感受压力,避免了硅油介质传递压力。因此,敏感芯体结构简单可靠,提高了传感器长期承压的可靠性。介绍背压式硅压阻压差传感器的原理及设计与实现,主要包括芯体设计、电路设计、结构设计等。传感器通过性能试验以及环境适应性试验的考核,并在伺服系统上进行相关试验,结果证明能够满足伺服系统使用要求。
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关键词
背压式
硅压阻
压差传感器
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职称材料
无介质硅压阻式压力/压差传感器的研制
被引量:
2
4
作者
王臻
李文璋
+2 位作者
王彦奎
朱廷伟
刘书选
《宇航计测技术》
CSCD
2015年第4期27-33,共7页
目前,硅压阻式压力/压差传感器在伺服系统上得到广泛的应用。但是由于其内部压力敏感芯体的封装结构为薄膜隔离式,其内部硅油的密封性是伺服系统配套传感器长期带压贮存的软肋。根据伺服系统对压力/压差传感器的需求,研制了几种无介质...
目前,硅压阻式压力/压差传感器在伺服系统上得到广泛的应用。但是由于其内部压力敏感芯体的封装结构为薄膜隔离式,其内部硅油的密封性是伺服系统配套传感器长期带压贮存的软肋。根据伺服系统对压力/压差传感器的需求,研制了几种无介质压阻式压力/压差传感器,其内部避免了硅油介质传递压力,保证了传感器的可靠性。通过传感器原理结构的研究,以及其性能指标的测试和对比,为伺服系统配套传感器提供了新的选择。
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关键词
无介质
硅压阻式
压力/压差传感器
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职称材料
智能化列车管贯通状态监测仪的设计与实现
被引量:
4
5
作者
魏淑桃
徐久成
+1 位作者
孙玉强
崔德志
《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
2000年第5期48-51,共4页
文章介绍了以 89C51为核心所组成的智能化列车管贯通状态监测仪的工程设计与实现,它能在机车的正常运行中自动显示出列车管内压力和差压的动态参数,并能实现系统的实时校准和测量数据的误差修正。
关键词
折角塞门
列车管
贯通状态监测试
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职称材料
E 型扩散硅力敏器件的研制
被引量:
1
6
作者
庞世信
李妍君
乔文华
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1997年第9期34-36,共3页
本文阐述了E型膜片的结构特性,根据其应力分布特点及硅材料在(110)晶面的<111>晶向上具有最大压阻系数,开展了力敏芯片的最佳设计,并进行了E型力敏器件的制作。最后给出了器件的主要技术指标。
关键词
硅
差压
力敏器件
传感器
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职称材料
压阻式微差压传感器水头标定方法
被引量:
1
7
作者
周超
周守强
张家仙
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2007年第10期60-61,共2页
针对工业和科研领域常用的小量程微差压传感器,设计了一种简单实用的水头标定方案,给出了标定步骤。应用该方案标定国产某型号传感器,结果表明线性误差小于0.22%,完全满足应用要求。
关键词
压阻式差压传感器
水柱压力
标定方法
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职称材料
硅微超微压传感器设计
被引量:
1
8
作者
邱峰
季霞
《机械设计与制造》
北大核心
2007年第10期93-95,共3页
在分析已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点和回顾它们微压化进展的基础上,确定了硅微超微压传感器(0~100Pa)的初步结构形式-电容式。针对设计过程中存在的主要难点:超薄平整感压薄膜的制备、高真...
在分析已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点和回顾它们微压化进展的基础上,确定了硅微超微压传感器(0~100Pa)的初步结构形式-电容式。针对设计过程中存在的主要难点:超薄平整感压薄膜的制备、高真空压力参考腔的获得与维持、高真空压力参考腔的电极引线以及微弱电容信号的提取,完成了两种差动结构方案的结构与工艺设计,对二者工艺和抗过载能力等方面进行了比较,为下一步的投片工作打下了基础。
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关键词
硅微超微压传感器
双差动结构
结构与工艺设计
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职称材料
电磁激励微谐振式传感器的设计与制作
被引量:
1
9
作者
高振宁
陈德勇
+1 位作者
王军波
毋正伟
《微纳电子技术》
CAS
2008年第10期597-600,共4页
利用微电子机械加工技术成功研制出电磁激励-电磁拾振硅谐振梁式压力传感器。传感器以"H"型双端固支梁为谐振器,采用差分检测结构。工艺制作采用体硅加工工艺,并且采用一种减小封装应力的结构完成压力传感器的真空密封及封装...
利用微电子机械加工技术成功研制出电磁激励-电磁拾振硅谐振梁式压力传感器。传感器以"H"型双端固支梁为谐振器,采用差分检测结构。工艺制作采用体硅加工工艺,并且采用一种减小封装应力的结构完成压力传感器的真空密封及封装。利用锁相环微弱信号检测技术建立的开环频率特性测试系统及闭环自激测试系统测试了传感器的频率、压力特性等相关技术指标。谐振器在空气中的品质因素Q值大于1200;在真空中的Q值大于7000。压力满量程刻度为0~120kPa。差分输出的结果优于单个谐振梁的输出结果,差分输出结果的线性相关系数为0.9999,灵敏度为225.77Hz/kPa。
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关键词
微机电系统
谐振式压力传感器
电磁激励电磁拾振
差分检测
体硅微加工工艺
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职称材料
硅微微压传感器研究进展
被引量:
1
10
作者
夏文明
丁建宁
杨继昌
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第9期12-14,共3页
硅微压力传感器的主要研究方向之一是硅微微压传感器。分析了已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点,回顾了它们的微压化进展,并在此基础上确定了硅微超微压传感器(0~100Pa)的电容式结构形式。针...
硅微压力传感器的主要研究方向之一是硅微微压传感器。分析了已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点,回顾了它们的微压化进展,并在此基础上确定了硅微超微压传感器(0~100Pa)的电容式结构形式。针对其研究过程中存在的主要难点,提出了双差动结构模型,即机械与电路部分均采用差动结构,对其研究前景做了展望。
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关键词
硅微超微压传感器
电容式
双差动结构
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职称材料
基于扩散硅压阻压力传感器的压差测量
被引量:
2
11
作者
赵松玲
韩昕彤
桑艺珂
《南方农机》
2020年第4期244-245,共2页
在力或压力(压强)传感器中,金属电阻应变片精度较高、性能较为稳定,被广泛应用。不过,这类传感器存在灵敏系数小的缺点,为了克服这一缺点,半导体应变片随之出现。用半导体材料制作而成的应变片称为压阻式传感器,其中,扩散硅压阻式压力...
在力或压力(压强)传感器中,金属电阻应变片精度较高、性能较为稳定,被广泛应用。不过,这类传感器存在灵敏系数小的缺点,为了克服这一缺点,半导体应变片随之出现。用半导体材料制作而成的应变片称为压阻式传感器,其中,扩散硅压阻式压力传感器因具有频率响应高、精度高、灵敏度高、可靠性高等优点而被广泛采用。文章在扩散硅压力传感器具有压阻效应工作原理的基础上,借助扩散硅压阻式压力传感器的实训装置进行气压差的测量。
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关键词
扩散硅压阻压力传感器
压阻效应
差压测量
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职称材料
单芯体硅-蓝宝石压差传感器研制
12
作者
王俊巍
马明宇
+1 位作者
谢胜秋
王明伟
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2021年第4期80-82,85,共4页
根据航空发动机系统的应用环境研制一种单芯体压差传感器,传感器基于蓝宝石衬底上硅的压阻效应进行测量。与目前市场常见含油封单芯体压差芯体不同,其芯片直接烧结在膜片上,芯片通过感受金属膜片正反受力形成的合力来测量压差信号,避免...
根据航空发动机系统的应用环境研制一种单芯体压差传感器,传感器基于蓝宝石衬底上硅的压阻效应进行测量。与目前市场常见含油封单芯体压差芯体不同,其芯片直接烧结在膜片上,芯片通过感受金属膜片正反受力形成的合力来测量压差信号,避免了含油封芯体油介质不能耐高温和大背压过载的缺点,大幅提高了传感器耐高温能力和长期承压的可靠性。本文介绍了单芯体硅-蓝宝石压差传感器的原理及设计与实现,主要包括芯体结构设计和电路设计等。传感器通过性能试验及环境适应性试验的考核,并在发动机上随整机进行了相关热试车试验,结果证明传感器能够满足发动机使用要求。
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关键词
硅-蓝宝石芯体
一体式
柱塞头
压差传感器
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职称材料
一种超薄硅薄膜的制作方法
被引量:
6
13
作者
李忻
车录锋
王跃林
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2002年第4期388-390,共3页
超薄、平整的硅应变薄膜对于制作低量程的电容式压力传感器是非常重要的。提出一种简单的超薄薄膜制作方法,利用浓硼扩散、KOH自停止腐蚀和LPCVD等关键技术,得到了厚度4μm左右的平整的Si(P++)/Si3N4复合薄膜。由于内应力引起的挠度在...
超薄、平整的硅应变薄膜对于制作低量程的电容式压力传感器是非常重要的。提出一种简单的超薄薄膜制作方法,利用浓硼扩散、KOH自停止腐蚀和LPCVD等关键技术,得到了厚度4μm左右的平整的Si(P++)/Si3N4复合薄膜。由于内应力引起的挠度在几百纳米数量级,为制作压力传感器奠定了有用的工艺基础。
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关键词
超薄硅薄膜
制作方法
内应力
形变
电容式微差压传感器
原文传递
题名
硅电容压力传感器敏感器件的研究
被引量:
7
1
作者
张治国
褚斌
李颖
孙海玮
祝永峰
林洪
刘沁
匡石
陈信琦
机构
沈阳仪表科学研究院
吉林化工集团公司仪表厂
出处
《微纳电子技术》
CAS
2004年第11期39-42,共4页
文摘
研制的硅电容压力传感器芯体采用微机械加工技术,加工精度高,易于批量化生产。结构上采用对称的差动电容形式,并将其封装在专用基座中,适用于中、微压力的高精度测量,可用于目前通用压力传感器的升级产品。
关键词
压力传感器
电容
升级
通用
批量
器件
微机械加工技术
封装
量化
基座
Keywords
silicon
capacitance
pressure
sensor
differential
dapacitance
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
一种新型分体式差压测量装置的研制
被引量:
6
2
作者
方立德
卢庆华
李小亭
张计科
何青
张垚
机构
河北大学质量技术监督学院
邢台市计量测试所
出处
《电子测量与仪器学报》
CSCD
2012年第10期870-876,共7页
基金
国家自然基金(编号:61074174)资助项目
河北省自然基金(编号:F2011201040)资助项目
河北大学自然基金(编号:2009-169)资助项目
文摘
为了减少由传统的差压测量装置中引压装置带来的不确定度,设计了一种新的分体式差压测量装置。从不确定度的角度出发,对测量装置的模型进行分析,采用扩散硅压力传感器探头作为测压元件,使用MSP430F149单片机作为控制数据转换、处理和显示的中央芯片,并确定了分体式差压测量装置的最优测量方案。通过大量的实验确定了压力和差压测量的数学模型。最终的差压测量实验表明:通过对电压数值的修正,差压测量的引用误差达到了5‰,证明该装置的测量原理和方法是可行的。
关键词
MSP430单片机
扩散硅压力传感器
分体式差压测量
Keywords
MSP430 microcontroller
diffused
silicon
pressure
sensor
split-type
differential
pressure
measurement
分类号
TN98 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
背压式硅压阻压差传感器的研制
被引量:
4
3
作者
王臻
王伟
杨明
任海燕
马亚军
机构
北京精密机电控制设备研究所
出处
《导弹与航天运载技术》
北大核心
2016年第1期98-102,共5页
文摘
根据伺服系统高精度、高可靠性的测量需求,研制一种背压式硅压阻压差传感器。传感器基于硅的压阻效应,与目前硅压阻压差传感器使用薄膜隔离式敏感芯体不同,其感压芯片的背部直接接触被测介质感受压力,避免了硅油介质传递压力。因此,敏感芯体结构简单可靠,提高了传感器长期承压的可靠性。介绍背压式硅压阻压差传感器的原理及设计与实现,主要包括芯体设计、电路设计、结构设计等。传感器通过性能试验以及环境适应性试验的考核,并在伺服系统上进行相关试验,结果证明能够满足伺服系统使用要求。
关键词
背压式
硅压阻
压差传感器
Keywords
Back-
pressure
silicon
piezoresisitive
differential
pressure
sensor
分类号
V443 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
无介质硅压阻式压力/压差传感器的研制
被引量:
2
4
作者
王臻
李文璋
王彦奎
朱廷伟
刘书选
机构
北京精密机电控制设备研究所
出处
《宇航计测技术》
CSCD
2015年第4期27-33,共7页
文摘
目前,硅压阻式压力/压差传感器在伺服系统上得到广泛的应用。但是由于其内部压力敏感芯体的封装结构为薄膜隔离式,其内部硅油的密封性是伺服系统配套传感器长期带压贮存的软肋。根据伺服系统对压力/压差传感器的需求,研制了几种无介质压阻式压力/压差传感器,其内部避免了硅油介质传递压力,保证了传感器的可靠性。通过传感器原理结构的研究,以及其性能指标的测试和对比,为伺服系统配套传感器提供了新的选择。
关键词
无介质
硅压阻式
压力/压差传感器
Keywords
without-medium silicon piezoresisitive pressure/differential pressure sensor
分类号
TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
智能化列车管贯通状态监测仪的设计与实现
被引量:
4
5
作者
魏淑桃
徐久成
孙玉强
崔德志
机构
河南师范大学计算机系
郑州铁路局安全监察室
出处
《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
2000年第5期48-51,共4页
文摘
文章介绍了以 89C51为核心所组成的智能化列车管贯通状态监测仪的工程设计与实现,它能在机车的正常运行中自动显示出列车管内压力和差压的动态参数,并能实现系统的实时校准和测量数据的误差修正。
关键词
折角塞门
列车管
贯通状态监测试
Keywords
silicon
resistance
sensor
,Micro- controller,
differential
pressure
,Train pipe
分类号
U298.12 [交通运输工程—交通运输规划与管理]
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职称材料
题名
E 型扩散硅力敏器件的研制
被引量:
1
6
作者
庞世信
李妍君
乔文华
机构
沈阳仪器仪表工艺研究所
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1997年第9期34-36,共3页
文摘
本文阐述了E型膜片的结构特性,根据其应力分布特点及硅材料在(110)晶面的<111>晶向上具有最大压阻系数,开展了力敏芯片的最佳设计,并进行了E型力敏器件的制作。最后给出了器件的主要技术指标。
关键词
硅
差压
力敏器件
传感器
Keywords
silicon
,
differential
pressure
, Mechanical
sensor
.
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH823.032 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
压阻式微差压传感器水头标定方法
被引量:
1
7
作者
周超
周守强
张家仙
机构
南京理工大学机械工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2007年第10期60-61,共2页
文摘
针对工业和科研领域常用的小量程微差压传感器,设计了一种简单实用的水头标定方案,给出了标定步骤。应用该方案标定国产某型号传感器,结果表明线性误差小于0.22%,完全满足应用要求。
关键词
压阻式差压传感器
水柱压力
标定方法
Keywords
micro
silicon
differential
pressure
sensor
water
pressure
calibrating method
分类号
TJ301 [兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
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职称材料
题名
硅微超微压传感器设计
被引量:
1
8
作者
邱峰
季霞
机构
盐城工学院机械工程学院
江苏大学机械工程学院
出处
《机械设计与制造》
北大核心
2007年第10期93-95,共3页
文摘
在分析已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点和回顾它们微压化进展的基础上,确定了硅微超微压传感器(0~100Pa)的初步结构形式-电容式。针对设计过程中存在的主要难点:超薄平整感压薄膜的制备、高真空压力参考腔的获得与维持、高真空压力参考腔的电极引线以及微弱电容信号的提取,完成了两种差动结构方案的结构与工艺设计,对二者工艺和抗过载能力等方面进行了比较,为下一步的投片工作打下了基础。
关键词
硅微超微压传感器
双差动结构
结构与工艺设计
Keywords
silicon
ultra-low
pressure
sensor
Capacitive
differential
structure
Structure and technological design
分类号
TH12 [机械工程—机械设计及理论]
下载PDF
职称材料
题名
电磁激励微谐振式传感器的设计与制作
被引量:
1
9
作者
高振宁
陈德勇
王军波
毋正伟
机构
中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《微纳电子技术》
CAS
2008年第10期597-600,共4页
文摘
利用微电子机械加工技术成功研制出电磁激励-电磁拾振硅谐振梁式压力传感器。传感器以"H"型双端固支梁为谐振器,采用差分检测结构。工艺制作采用体硅加工工艺,并且采用一种减小封装应力的结构完成压力传感器的真空密封及封装。利用锁相环微弱信号检测技术建立的开环频率特性测试系统及闭环自激测试系统测试了传感器的频率、压力特性等相关技术指标。谐振器在空气中的品质因素Q值大于1200;在真空中的Q值大于7000。压力满量程刻度为0~120kPa。差分输出的结果优于单个谐振梁的输出结果,差分输出结果的线性相关系数为0.9999,灵敏度为225.77Hz/kPa。
关键词
微机电系统
谐振式压力传感器
电磁激励电磁拾振
差分检测
体硅微加工工艺
Keywords
microelectromechanical system (MEMS)
resonant
pressure
sensor
electromagnetic incentived and electromagnetic detected
differential
test
bulk
silicon
micromachining
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
硅微微压传感器研究进展
被引量:
1
10
作者
夏文明
丁建宁
杨继昌
机构
江苏大学微纳米科学技术研究中心
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第9期12-14,共3页
基金
浙江省科技攻关计划资助项目(2005C31048)
文摘
硅微压力传感器的主要研究方向之一是硅微微压传感器。分析了已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点,回顾了它们的微压化进展,并在此基础上确定了硅微超微压传感器(0~100Pa)的电容式结构形式。针对其研究过程中存在的主要难点,提出了双差动结构模型,即机械与电路部分均采用差动结构,对其研究前景做了展望。
关键词
硅微超微压传感器
电容式
双差动结构
Keywords
silicon
ultra-low-
pressure
sensor
capacitive model
dual-
differential
structure
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
基于扩散硅压阻压力传感器的压差测量
被引量:
2
11
作者
赵松玲
韩昕彤
桑艺珂
机构
潍坊工程职业学院山工机电工程学院
出处
《南方农机》
2020年第4期244-245,共2页
文摘
在力或压力(压强)传感器中,金属电阻应变片精度较高、性能较为稳定,被广泛应用。不过,这类传感器存在灵敏系数小的缺点,为了克服这一缺点,半导体应变片随之出现。用半导体材料制作而成的应变片称为压阻式传感器,其中,扩散硅压阻式压力传感器因具有频率响应高、精度高、灵敏度高、可靠性高等优点而被广泛采用。文章在扩散硅压力传感器具有压阻效应工作原理的基础上,借助扩散硅压阻式压力传感器的实训装置进行气压差的测量。
关键词
扩散硅压阻压力传感器
压阻效应
差压测量
Keywords
diffused
silicon
piezoresistive
pressure
sensor
piezoresistive e ffect
differential
pressure
measurement
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
单芯体硅-蓝宝石压差传感器研制
12
作者
王俊巍
马明宇
谢胜秋
王明伟
机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2021年第4期80-82,85,共4页
文摘
根据航空发动机系统的应用环境研制一种单芯体压差传感器,传感器基于蓝宝石衬底上硅的压阻效应进行测量。与目前市场常见含油封单芯体压差芯体不同,其芯片直接烧结在膜片上,芯片通过感受金属膜片正反受力形成的合力来测量压差信号,避免了含油封芯体油介质不能耐高温和大背压过载的缺点,大幅提高了传感器耐高温能力和长期承压的可靠性。本文介绍了单芯体硅-蓝宝石压差传感器的原理及设计与实现,主要包括芯体结构设计和电路设计等。传感器通过性能试验及环境适应性试验的考核,并在发动机上随整机进行了相关热试车试验,结果证明传感器能够满足发动机使用要求。
关键词
硅-蓝宝石芯体
一体式
柱塞头
压差传感器
Keywords
silicon
-on-sapphire core
one-piece
plunger head
differential
pressure
sensor
分类号
TP212.11 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
一种超薄硅薄膜的制作方法
被引量:
6
13
作者
李忻
车录锋
王跃林
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室
出处
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2002年第4期388-390,共3页
基金
上海市科学技术发展基金和王宽诚博士后基金资助
文摘
超薄、平整的硅应变薄膜对于制作低量程的电容式压力传感器是非常重要的。提出一种简单的超薄薄膜制作方法,利用浓硼扩散、KOH自停止腐蚀和LPCVD等关键技术,得到了厚度4μm左右的平整的Si(P++)/Si3N4复合薄膜。由于内应力引起的挠度在几百纳米数量级,为制作压力传感器奠定了有用的工艺基础。
关键词
超薄硅薄膜
制作方法
内应力
形变
电容式微差压传感器
Keywords
silicon
diaphragm
intrinsic stress
deformation
micromachined cap acitive
differential
pressure
sensor
s
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN304. [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅电容压力传感器敏感器件的研究
张治国
褚斌
李颖
孙海玮
祝永峰
林洪
刘沁
匡石
陈信琦
《微纳电子技术》
CAS
2004
7
下载PDF
职称材料
2
一种新型分体式差压测量装置的研制
方立德
卢庆华
李小亭
张计科
何青
张垚
《电子测量与仪器学报》
CSCD
2012
6
下载PDF
职称材料
3
背压式硅压阻压差传感器的研制
王臻
王伟
杨明
任海燕
马亚军
《导弹与航天运载技术》
北大核心
2016
4
下载PDF
职称材料
4
无介质硅压阻式压力/压差传感器的研制
王臻
李文璋
王彦奎
朱廷伟
刘书选
《宇航计测技术》
CSCD
2015
2
下载PDF
职称材料
5
智能化列车管贯通状态监测仪的设计与实现
魏淑桃
徐久成
孙玉强
崔德志
《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
2000
4
下载PDF
职称材料
6
E 型扩散硅力敏器件的研制
庞世信
李妍君
乔文华
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1997
1
下载PDF
职称材料
7
压阻式微差压传感器水头标定方法
周超
周守强
张家仙
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2007
1
下载PDF
职称材料
8
硅微超微压传感器设计
邱峰
季霞
《机械设计与制造》
北大核心
2007
1
下载PDF
职称材料
9
电磁激励微谐振式传感器的设计与制作
高振宁
陈德勇
王军波
毋正伟
《微纳电子技术》
CAS
2008
1
下载PDF
职称材料
10
硅微微压传感器研究进展
夏文明
丁建宁
杨继昌
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006
1
下载PDF
职称材料
11
基于扩散硅压阻压力传感器的压差测量
赵松玲
韩昕彤
桑艺珂
《南方农机》
2020
2
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职称材料
12
单芯体硅-蓝宝石压差传感器研制
王俊巍
马明宇
谢胜秋
王明伟
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2021
0
下载PDF
职称材料
13
一种超薄硅薄膜的制作方法
李忻
车录锋
王跃林
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2002
6
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