期刊文献+
共找到20篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
Experimental investigation of laser-produced-plasma EUV source based on liquid target 被引量:6
1
作者 QI Li-hong NI Qi-liang CHEN Bo 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期604-607,共4页
A laser-produced plasma(LPP) source was built using liquid as target and a Nd:YAG laser as the irradiation laser, and the LPP source's radiation with ethanol and acetone target respectively was measured by an AXUV... A laser-produced plasma(LPP) source was built using liquid as target and a Nd:YAG laser as the irradiation laser, and the LPP source's radiation with ethanol and acetone target respectively was measured by an AXUV100 silicon photodiode combined with a McPHERSON model 247 grazing incidence monochromator of the resolution Δλ≤0.075 nm and the wavelength scanning interval 0.5 nm. Both ethanol and acetone target LPP source had EUV emission at 11~20 nm wavelength. The comparison between the spectra of the two kinds of target materials shows that all the two kinds of target source's spectra are the result of oxygen ions' transitions under current source's parameters, but the spectrum intensity from different target sources is different. The spectra intensity from the ethanol target is higher than that from the acetone target. In addition, the target liquid is forced into the vacuum chamber by the background pressure supported by the connected external high pressure gas, and the influence of the background pressure on the source's intensity is investigated. 展开更多
关键词 LPP 激光 等离子体 亮度
下载PDF
激光等离子体光源软X射线反射率计 被引量:9
2
作者 陈波 尼启良 曹继红 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期453-455,共3页
介绍了所研制的激光等离子体光源软X射线反射率计 ,该反射率计由激光等离子体光源、掠入射光栅单色仪、样品室、真空系统、样品台、光电探测系统和计算机控制系统组成 ,工作波段 8~ 30nm ,测量样品的最大尺寸为 130mm× 12 0mm... 介绍了所研制的激光等离子体光源软X射线反射率计 ,该反射率计由激光等离子体光源、掠入射光栅单色仪、样品室、真空系统、样品台、光电探测系统和计算机控制系统组成 ,工作波段 8~ 30nm ,测量样品的最大尺寸为 130mm× 12 0mm× 12 0mm(长×宽×高 ) ,可以利用这台反射率计对软X射线波段光栅、滤光片和多层膜反射镜等光学元件进行测量和评估。为检验反射率计的性能指标 ,利用该反射率计对本室研制的软X射线多层膜反射镜的反射率进行了测量 ,测量结果与理论计算结果符合较好 ,反射率测量重复性为± 0. 6 %。 展开更多
关键词 反射率 光栅 多层膜反射镜 激光等离子体 光电探测系统 光源 波段 x射线 入射光 理论计算
下载PDF
激光等离子体软X射线光源光谱强度测量方法 被引量:4
3
作者 尼启良 巩岩 +1 位作者 陈波 曹健林 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期1-3,共3页
提出了一种新的探测和测量激光等离子体软X射线源光谱强度的方法。该方法使用通道电子倍增器和定标过的硅光电二极管为探测器 ,前者是非标准探测器 ,后者为标准探测器。应用电荷灵敏前置放大器测量探测器产生的电量 ,并以高分辨率的光... 提出了一种新的探测和测量激光等离子体软X射线源光谱强度的方法。该方法使用通道电子倍增器和定标过的硅光电二极管为探测器 ,前者是非标准探测器 ,后者为标准探测器。应用电荷灵敏前置放大器测量探测器产生的电量 ,并以高分辨率的光谱仪为分光元件 ,在已知光栅效率、通道电子倍增器增益、硅光电二极管能量响应的条件下 。 展开更多
关键词 激光等离子体 x射线光源 光谱强度 测量方法 脉冲信号
下载PDF
基于激光驱动等离子体X光源的X射线相衬成像 被引量:6
4
作者 晏骥 江少恩 阴泽杰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2047-2050,共4页
为了诊断惯性约束聚变(ICF)内爆靶丸球壳的多层信息,在神光Ⅱ激光器上对激光驱动等离子体X光源的相衬成像进行了研究。利用神光Ⅱ第9路激光驱动平面Ti靶获得X光源,在10μm的针孔约束下作为次级点光源对样品成像,用X光胶片记录。成功地... 为了诊断惯性约束聚变(ICF)内爆靶丸球壳的多层信息,在神光Ⅱ激光器上对激光驱动等离子体X光源的相衬成像进行了研究。利用神光Ⅱ第9路激光驱动平面Ti靶获得X光源,在10μm的针孔约束下作为次级点光源对样品成像,用X光胶片记录。成功地将相衬成像技术应用于ICF实验,综合考虑成像放大倍数、分辨力、成像衬度和抑制烧蚀碎片等因素,选择合适的实验条件,成功获得了清晰的双层内爆靶丸球壳结构,空间分辨力优于10μm。 展开更多
关键词 惯性约束聚变 相衬成像 激光等离子体x光源 针孔辅助点背光
下载PDF
软X射线投影光刻原理装置的设计 被引量:14
5
作者 金春水 王占山 曹健林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第1期66-70,共5页
首先介绍了投影光刻技术发展的历程、趋势和软 X射线投影光刻技术的特性 ,其次介绍了软 X射线投影光刻原理装置的研制工作。该装置由激光等离子体光源、掠入射椭球聚光镜、透射掩模、镀有多层膜的 Schwarzchild微缩投影物镜、涂有光刻... 首先介绍了投影光刻技术发展的历程、趋势和软 X射线投影光刻技术的特性 ,其次介绍了软 X射线投影光刻原理装置的研制工作。该装置由激光等离子体光源、掠入射椭球聚光镜、透射掩模、镀有多层膜的 Schwarzchild微缩投影物镜、涂有光刻胶的硅片及相应的真空系统组成。 0 .1倍的 Schwarzchild微缩投影物镜具有小于 0 . 展开更多
关键词 x射线投影 光刻 多层膜反射镜
下载PDF
13nm投影光刻用激光等离子体软X射线源
6
作者 林景全 尼启良 +1 位作者 陈波 曹健林 《微细加工技术》 EI 1997年第4期8-11,共4页
软X射线投影光刻能够制作出特征线宽小于0.1μm的线条。激光等离子作源的研究是软X射线投影光刻中几项关键技术之一。本文报道了13nm投影光刻用激光等离子体软X射线源。对Sn(Z=50)靶的激光打靶条件进行初步优化,测定了其在10~20n... 软X射线投影光刻能够制作出特征线宽小于0.1μm的线条。激光等离子作源的研究是软X射线投影光刻中几项关键技术之一。本文报道了13nm投影光刻用激光等离子体软X射线源。对Sn(Z=50)靶的激光打靶条件进行初步优化,测定了其在10~20nm波段范围内的辐射相对强度分布。 展开更多
关键词 x射线 投影光刻 激光等离子体 集成电路
下载PDF
High resolution X-ray spherically bent crystal spectrometer for laser-produced plasma diagnostics 被引量:6
7
作者 肖沙里 王洪建 +2 位作者 施军 唐昶环 刘慎业 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第1期92-94,共3页
A new high spectral resolution crystal spectrometer is designed to measure very low emissive X-ray spectra of laser-produced plasma in 0.5-0.9 nm range. A large open aperture (30 ×20 (mm)) mica (002) spheri... A new high spectral resolution crystal spectrometer is designed to measure very low emissive X-ray spectra of laser-produced plasma in 0.5-0.9 nm range. A large open aperture (30 ×20 (mm)) mica (002) spherically bent crystal with curvature radius R = 380 mm is used as dispersive and focusing element. The imaging plate is employed to obtain high spectral resolution with effective area of 30 × 80 (mm). The long designed path of the X-ray spectrometer beam is 980 mm from the source to the detector via the crystal. Experiment is carried out at a 20-J laser facility. X-ray spectra in an absolute intensity scale is obtained from Al laserproduced plasmas created by laser energy of 6.78 J. Samples of spectra obtained with spectral resolution of up to E/△E - 1500 are presented. The results clearly show that the device is good to diagnose laser high-density plasmas. 展开更多
关键词 laser produced plasmas lasers MICA plasma diagnostics plasmaS Silicate minerals Spectral resolution SPECTROMETERS SPECTROMETRY x ray analysis x ray spectrographs x ray spectrometers
原文传递
High-resolution X-ray focusing concave (elliptical) curved crystal spectrograph for laser-produced plasma 被引量:5
8
作者 肖沙里 潘英俊 +4 位作者 钟先信 熊先才 杨国洪 刘宗礼 丁永坤 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第8期495-496,共2页
The X-ray spectrum emitted, from laser-produced plasma contains plentiful information. X-ray spectrometer is a powerful tool for plasma diagnosis and studying the information and evolution of the plasma. X-ray concave... The X-ray spectrum emitted, from laser-produced plasma contains plentiful information. X-ray spectrometer is a powerful tool for plasma diagnosis and studying the information and evolution of the plasma. X-ray concave (elliptical) curved crystals analyzer was designed and manufactured to investigate the properties of laser-produced plasma. The experiment was carried out on Mianyang Xingguang-Ⅱ Facility and aimed at investigating the characteristics of a high density iron plasma. Experimental results using KAP, LIF, PET, and MICA curved crystal analyzers are described, and the spectra of Au, Ti laser-produced plasma are shown. The focusing crystal analyzer clearly gave an increase in sensitivity over a flat crystal. 展开更多
关键词 CRYSTALS Iron laser produced plasmas x ray spectrographs x ray spectrometers x ray spectroscopy
原文传递
A four-channel multilayer KB microscope for high-resolution 8-keV X-ray imaging in laser-plasma diagnostics 被引量:3
9
作者 伊圣振 穆宝忠 +4 位作者 王新 朱京涛 蒋励 王占山 贺鹏飞 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第1期79-82,共4页
A four-channel multilayer Kirkpatrick-Baez (KB) microscope is developed for the 8-keV X-ray imaging of experiments on laser inertial confinement fusion (ICF). A periodic multilayer that works at 8 keV and with a g... A four-channel multilayer Kirkpatrick-Baez (KB) microscope is developed for the 8-keV X-ray imaging of experiments on laser inertial confinement fusion (ICF). A periodic multilayer that works at 8 keV and with a grazing incidence angle of 1.0~ is coated on reflective surfaces to achieve a spatial resolution higher than 5μm and an effective solid angle higher than 10-7 sr. A precise assembly is realized by a conical reference cone to couple with an X-ray framing camera. This study provides detailed information on an optical and multilayer design, assembly method, and experimental results with a Cu X-ray tube. The instrument provides a high-resolution and high-throughput X-ray image for backlit or self-emission imaging of laser plasma at Cu Kα line radiation in Shenguang series laser facilities. 展开更多
关键词 Inertial confinement fusion laser produced plasmas plasma diagnostics plasma interactions x ray analysis
原文传递
Time-resolved multispectral X-ray imaging with multi-channel Kirkpatrick-Baez microscope for plasma diagnostics at Shenguang-II laser facility 被引量:1
10
作者 伊圣振 穆宝忠 +7 位作者 朱京涛 王新 李文斌 王占山 贺鹏飞 王伟 方智恒 傅思祖 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第8期99-102,共4页
A time-resolved multispectral X-ray imaging approach with new version of multi-channel Kirkpatrick- Baez (KB) microscope is developed for laser plasma diagnostics at the kilo joule-class Shenguang-II laser facility ... A time-resolved multispectral X-ray imaging approach with new version of multi-channel Kirkpatrick- Baez (KB) microscope is developed for laser plasma diagnostics at the kilo joule-class Shenguang-II laser facility (SG-II). The microscope uses a total external reflection mirror in the sagittal direction and an array of multilayer mirrors in the tangential direction to obtain multiple individual high-resolution, high- throughput, and quasi-monochromatic X-ray images. The time evolution of the imploded target in multiple X-ray energy bands can be acquired when coupled with an X-ray streak camera. The experimental result of the time-resolved 2.5 and 3.0 keV dual-spectral self-emission imaging of the undoped CH shell target on SG-II is given. 展开更多
关键词 Computerized tomography laser produced plasmas MICROSCOPES Mirrors plasma diagnostics plasma interactions x ray analysis
原文传递
用激光等离子体作X射线源的EXAFS实验系统
11
作者 赵京丹 张小秋 +4 位作者 龚美霞 山冰 赵卫 杨斌洲 牛丽宏 《光电工程》 CAS CSCD 1994年第3期16-20,共5页
描述了国内第一套EXAFS实验系统,它使用了激光产生等离子体X射线源,比同步辐射强X射线源的亮度高、瞬时强度强、线度小、稳定性好,已用于瞬态物质分子结构的分析中。
关键词 光谱仪 x射线源 激光 等离子体 ExAFS实验系统
下载PDF
Laser-produced plasma He-alpha source for pulse radiography 被引量:1
12
作者 王瑞荣 陈伟民 +2 位作者 毛楚生 董佳钦 傅思祖 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第2期156-158,共3页
Through the use of time and space integrated kiloelectronvolt (keV) spectroscopy, we investigate the thermal emission of plasma, which produces strong line emission from the titanium K shell (He-a at 4.7 keV and H-... Through the use of time and space integrated kiloelectronvolt (keV) spectroscopy, we investigate the thermal emission of plasma, which produces strong line emission from the titanium K shell (He-a at 4.7 keV and H-α at 4.9 keV), created by laser. In order to optimize the conversion efficiency enhancement on titanium foils, the experiment is conducted under a variety of laser-driven intensity conditions. The X-ray emission intensity at 4.7 keV is measured and compared with prediction. The experimental result demonstrates that the solid Ti target laser-produced plasma (LPP) source has X-ray emission at 4.7 keV, which are all generated from electronic transitions in Ti ions at pulse width of 2.1 ns or 30 ps, the crudely evaluated He-α X-ray intensity appears to slightly increase with laser intensity enhancement, and the pre- pulse effect increases the conversion efficiency of the He-α X-ray. In addition, a 90-μm-thick Ti foil as a filter is used to transmit He-α X-ray at near 4.7 keV, creating a quasi-monochromatic transmission and greatly reducing the lower- and higher-energy background. 展开更多
关键词 Conversion efficiency Electromagnetic wave emission Emission spectroscopy HELIUM Ion beams laser produced plasmas laserS plasma diagnostics Titanium x ray radiography x ray scattering x rays
原文传递
椭圆型晶体谱仪谱测量的解谱 被引量:4
13
作者 王瑞荣 陈伟民 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期274-279,共6页
描述了椭圆型晶体谱仪配X射线CCD相机的X射线谱测量系统(EBCS-XCCD),研究了CCD相机记录信号的解谱处理方法,推出了对实测原始谱曲线辨认或标识值的计算公式及激光等离子体辐射X射线在某一波长光谱强度的公式,使之应用在激光打靶产生的... 描述了椭圆型晶体谱仪配X射线CCD相机的X射线谱测量系统(EBCS-XCCD),研究了CCD相机记录信号的解谱处理方法,推出了对实测原始谱曲线辨认或标识值的计算公式及激光等离子体辐射X射线在某一波长光谱强度的公式,使之应用在激光打靶产生的等离子体源辐射X射线谱的回推,辨认出了激光等离子体X射线源能谱,并与文献[1]的结果进行了比较,结果基本一致。测试结果证实了解谱方法的可行性,表明X射线CCD相机适用于椭圆型晶体谱仪的光谱测量记录。在已知晶体的积分反射率、滤片透射率和CCD探测效率的条件下,可以获得X射线源光谱强度,为下一步诊断激光等离子体的电子温度和离子密度的空间分布轮廓和进一步细化X射线激光研究奠定了基础。 展开更多
关键词 x射线源 晶体谱仪 x射线能谱 激光等离子体诊断 解谱方法
下载PDF
纳秒激光等离子体光源的光谱测量技术 被引量:8
14
作者 尼启良 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期211-218,共8页
提出了一种新的探测和测量激光等离子体软X射线源光谱强度的方法。此方法使用通道电子倍增器和定标过的硅光电二极管为探测器,前者是非标准探测器,后者为标准探测器。应用电荷灵敏前置放大器和峰值探测器测量探测器产生的电量,并以高分... 提出了一种新的探测和测量激光等离子体软X射线源光谱强度的方法。此方法使用通道电子倍增器和定标过的硅光电二极管为探测器,前者是非标准探测器,后者为标准探测器。应用电荷灵敏前置放大器和峰值探测器测量探测器产生的电量,并以高分辨率的光谱仪为分光元件,在已知光栅效率、通道电子倍增器增益、硅光电二极管能量响应的条件下,给出了计算激光等离子体软X射线源在某一波长光谱强度的公式。 展开更多
关键词 x射线源 激光等离子体 光谱强度 峰值探测器
下载PDF
激光在半导体材料加工中的应用与展望 被引量:1
15
作者 秦萌青 李田泽 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第4期5-7,4,共4页
阐述了激光与半导体相互作用机理,通过激光直接写技术(LDW)及等离子体软x射线源等具体实例,说明了激光在半导体材料加工中的应用。给出了实验结果,并对其前景作了展望。
关键词 x射线源 x射线光刻 半导体材料 激光技术
下载PDF
CO2激光等离子体极紫外光源收集镜研究 被引量:2
16
作者 朱新旺 王新兵 +2 位作者 傅焰峰 卢彦兆 石玉华 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期725-728,共4页
为了研究极紫外光源系统中收集镜的形状和液体微滴的漂移,计算了收集镜的参量,并采用ZEMAX模拟了液体微滴上下和左右漂移50μm,100μm,150μm时中间焦点的成像变化情况。结果表明,液体微滴在上下方向上的漂移对中间焦点成像的影响很大,... 为了研究极紫外光源系统中收集镜的形状和液体微滴的漂移,计算了收集镜的参量,并采用ZEMAX模拟了液体微滴上下和左右漂移50μm,100μm,150μm时中间焦点的成像变化情况。结果表明,液体微滴在上下方向上的漂移对中间焦点成像的影响很大,应该尽量将上下漂移控制在20μm以下;而液滴在光轴方向上的漂移对中间焦点成像的影响稍小。 展开更多
关键词 激光技术 x射线光学 极紫外光源 激光等离子体 收集镜 ZEMAx
下载PDF
激光等离子体X射线源的应用 被引量:3
17
作者 董全力 张杰 +2 位作者 王首钧 赵静 李英骏 《物理》 CAS 北大核心 2007年第8期609-618,共10页
激光等离子体作为X射线光源,具有光源体积小、亮度高、脉冲短等优点。因此,激光等离子体X射线光源在时间分辨诊断测量等方面具有重要的应用。文章简单介绍了这种光源在软X射线投影光刻技术、医学成像、晶体研究以及惯性约束核聚变(ICF)... 激光等离子体作为X射线光源,具有光源体积小、亮度高、脉冲短等优点。因此,激光等离子体X射线光源在时间分辨诊断测量等方面具有重要的应用。文章简单介绍了这种光源在软X射线投影光刻技术、医学成像、晶体研究以及惯性约束核聚变(ICF)研究等方面的应用。这四个方面分别属于信息,生物,材料和能源等四个科学领域。作者的目的在于让这些科研领域及其对应工业界的研究同行了解我们的工作,从而能够实现跨学科、跨领域的合作。 展开更多
关键词 激光等离子体x射线光源 时间分辨诊断测量 跨学科合作
原文传递
均匀线状激光等离子体X光单色源和软X光胶片响应特性的标定 被引量:1
18
作者 王晓方 陈时胜 +6 位作者 钱爱娣 李跃林 范品忠 徐至展 龚美霞 刘秀琴 雷志远 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第4期353-358,共6页
利用均匀线聚焦激光产生的等离子体和软X针孔透射光栅谱仪获得了均匀的线状软X光单色光源.在这一光源基础上,利用加阶梯膜的新方法首次标定了国产无保护层5F软X光胶片在软X光波段的响应特性.
关键词 激光等离子体 单色光源 x光胶片
原文传递
水窗波段附近激光等离子体X光辐射产生的途径
19
作者 王晓方 张正泉 +1 位作者 范品忠 徐至展 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期45-48,共4页
讨论了利用激光等离子体产生水窗波段X光辐射的可能途径。靶材,即原子序数的选取是决定产生这一波段辐射的基本因素。利用激光等离子体的平衡态和非平衡态特性都可在水窗波段产生高亮度X光辐射,提出利用黑体辐射来实现水窗波段X光... 讨论了利用激光等离子体产生水窗波段X光辐射的可能途径。靶材,即原子序数的选取是决定产生这一波段辐射的基本因素。利用激光等离子体的平衡态和非平衡态特性都可在水窗波段产生高亮度X光辐射,提出利用黑体辐射来实现水窗波段X光显微成像研究的方案。就目前的泵浦激光条件,采用窄带辐射和黑体辐射可进行水窗波段X光显微成像的实验研究。利用超短脉冲与固体靶相互作用产生的黑体辐射除了可应用于水窗波段X光显微成像外,还有助于时间分辨动力学过程研究。 展开更多
关键词 x光源 激光等离子体 水窗波段
原文传递
超短脉冲强激光与固体靶相互作用中Kα射线的实验研究 被引量:5
20
作者 徐妙华 陈黎明 +8 位作者 李玉同 远晓辉 刘运全 Kazuhisa Nakajima Toshi Tajima 王兆华 魏志义 赵卫 张杰 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期353-358,共6页
在相对论激光强度下,对p偏振30fs激光与固体Cu靶相互作用中产生的Kα射线进行了实验研究.采用刀边成像技术和单光子计数X射线CCD相结合的探测装置,在单发激光脉冲打靶时同时得到X射线源的尺寸、能谱以及Kα光子的转换效率等多种信息.实... 在相对论激光强度下,对p偏振30fs激光与固体Cu靶相互作用中产生的Kα射线进行了实验研究.采用刀边成像技术和单光子计数X射线CCD相结合的探测装置,在单发激光脉冲打靶时同时得到X射线源的尺寸、能谱以及Kα光子的转换效率等多种信息.实验结果与Reich等人的理论计算结果有明显的差异,Kα光子的能量转换效率在激光功率密度为1·6×1018W/cm2的条件下达到最大值7·08×10-6/sr.根据这一结果并结合蒙特卡罗程序,推断出在这一聚焦光强下激光能量转换为前向超热电子的效率约为10%. 展开更多
关键词 超短脉冲激光与等离子体相互作用 Kα射线 转换效率
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部