软X射线多层膜反射镜的反射率测量

采用线状激光等离子体作为软 X光源 ,用具有空间分辨的掠入射光栅谱仪对正入射多层膜反射镜进行了反射率测量。谱仪测谱范围 2 0 nm～ 4 0 nm,谱分辨 0 .0 5nm,测得 50层 C/Al反射镜在中心波长 2 8.6nm处反射率为 2 2 %± 4 % ,带宽约为 2 .5nm。