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X射线二极管平响应滤片的制作
被引量:
1
1
作者
辛将
谢常青
+4 位作者
李志超
朱效立
刘明
徐超
陈军宁
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2011年第1期53-57,共5页
针对X射线二极管平响应滤片的设计要求,采用电子束蒸发生长薄金层、紫外光曝光光刻、微电镀厚金层、体硅腐蚀制作镂空结构和等离子体刻蚀去掉PI等技术,成功制备了阵列结构的圆孔直径为5μm,周期为10.854μm,金层厚度分别为50,400nm的薄...
针对X射线二极管平响应滤片的设计要求,采用电子束蒸发生长薄金层、紫外光曝光光刻、微电镀厚金层、体硅腐蚀制作镂空结构和等离子体刻蚀去掉PI等技术,成功制备了阵列结构的圆孔直径为5μm,周期为10.854μm,金层厚度分别为50,400nm的薄、厚两种金层滤片。电镀过程中采用台阶仪多次测量图形四周电镀厚度后取均值的方法得到尽可能准确的电镀厚金层。滤片交付实验后,在X光能量0.1~4keV取得的平响应曲线标准偏差与均值之比在13%以内,可以满足相关单位的具体物理研究实验要求。
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关键词
微电镀
体硅腐蚀
等离子体刻蚀
x光平响应
紫外
光
曝
光
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职称材料
基于平面孔靶对本底X光及激光挂边的研究
被引量:
2
2
作者
李琦
李三伟
+2 位作者
郭亮
李志超
杨冬
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第8期30-34,共5页
在神光-Ⅲ和神光-Ⅲ原型装置上基于平面孔靶研究了激光挂边及本底X光发射情况。能量卡计直接测量激光挂边份额;X光针孔相机给出本底X光发射的空间图像;平响应X光探测器测量本底X光的强度。实验结果表明:在神光-Ⅲ原型上800μm注入孔时,...
在神光-Ⅲ和神光-Ⅲ原型装置上基于平面孔靶研究了激光挂边及本底X光发射情况。能量卡计直接测量激光挂边份额;X光针孔相机给出本底X光发射的空间图像;平响应X光探测器测量本底X光的强度。实验结果表明:在神光-Ⅲ原型上800μm注入孔时,针孔图像中本底X光计数与黑腔漏失辐射流计数的比值约为1.2%;在神光-Ⅲ上1000μm注入孔时,平响应X光探测器测得的本底X光干扰的峰值约为2.7%,能量卡计测得的激光挂边份额约为2.6%。此外,根据神光-Ⅲ的实验参数模拟计算了激光挂边份额和本底X光的干扰。与实验结果的对比说明了该模型的正确性,可以用该模型评估激光挂边及本底X光发射情况,同时可以用该模型指导注入孔尺寸的选择。
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关键词
平
面孔靶
激
光
挂边
本底
x
光
x
光
针孔相机
平
响应
x
光
探测器
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职称材料
整形脉冲信号处理方法及低温辐射流偏差
3
作者
杜华冰
孙奥
+4 位作者
尚万里
侯立飞
车兴森
杨轶濛
杨国洪
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2020年第11期248-255,共8页
平响应X射线二极管目前已经广泛应用在国内外大型激光装置,用于角分布X射线辐射流的测量。在实际实验中,平响应X射线二极管会对整形脉冲驱动辐射源产生台阶变化的辐射流图像进行测量。为了保证信噪比良好,单一信号会接入示波器多通道,...
平响应X射线二极管目前已经广泛应用在国内外大型激光装置,用于角分布X射线辐射流的测量。在实际实验中,平响应X射线二极管会对整形脉冲驱动辐射源产生台阶变化的辐射流图像进行测量。为了保证信噪比良好,单一信号会接入示波器多通道,然后对不同通道信号进行数据处理,并且拼接得到最后信噪比很好的图像。该研究主要对这种数据处理方式进行了介绍,并给出了理论计算,同时对低温辐射流还原计算中的一种偏差做了理论近似和数值模拟,得到了偏差的相对不确定度。耦合所有因素的不确定度,得到了平响应X射线二极管的整体不确定度随辐射温度的变化曲线,实现了精密化诊断,完成了实验对于诊断的需求。
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关键词
惯性约束聚变
整形脉冲
平
响应
x
光
二极管
信号拼接
低温辐射流
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职称材料
题名
X射线二极管平响应滤片的制作
被引量:
1
1
作者
辛将
谢常青
李志超
朱效立
刘明
徐超
陈军宁
机构
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室
安徽大学电子科学与技术学院
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2011年第1期53-57,共5页
基金
国家重点基础研究发展计划项目(2007CB935302)
国家高技术研究发展计划(2008AA8040208)
国家自然科学基金(60825403)
文摘
针对X射线二极管平响应滤片的设计要求,采用电子束蒸发生长薄金层、紫外光曝光光刻、微电镀厚金层、体硅腐蚀制作镂空结构和等离子体刻蚀去掉PI等技术,成功制备了阵列结构的圆孔直径为5μm,周期为10.854μm,金层厚度分别为50,400nm的薄、厚两种金层滤片。电镀过程中采用台阶仪多次测量图形四周电镀厚度后取均值的方法得到尽可能准确的电镀厚金层。滤片交付实验后,在X光能量0.1~4keV取得的平响应曲线标准偏差与均值之比在13%以内,可以满足相关单位的具体物理研究实验要求。
关键词
微电镀
体硅腐蚀
等离子体刻蚀
x光平响应
紫外
光
曝
光
Keywords
micro-electroplating
bulk-Si etching
plasma etch
x
-ray flat-response
UV e
x
posure
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于平面孔靶对本底X光及激光挂边的研究
被引量:
2
2
作者
李琦
李三伟
郭亮
李志超
杨冬
机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
清华大学工程物理系
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第8期30-34,共5页
基金
国家自然科学基金项目(11305159
11435011)
文摘
在神光-Ⅲ和神光-Ⅲ原型装置上基于平面孔靶研究了激光挂边及本底X光发射情况。能量卡计直接测量激光挂边份额;X光针孔相机给出本底X光发射的空间图像;平响应X光探测器测量本底X光的强度。实验结果表明:在神光-Ⅲ原型上800μm注入孔时,针孔图像中本底X光计数与黑腔漏失辐射流计数的比值约为1.2%;在神光-Ⅲ上1000μm注入孔时,平响应X光探测器测得的本底X光干扰的峰值约为2.7%,能量卡计测得的激光挂边份额约为2.6%。此外,根据神光-Ⅲ的实验参数模拟计算了激光挂边份额和本底X光的干扰。与实验结果的对比说明了该模型的正确性,可以用该模型评估激光挂边及本底X光发射情况,同时可以用该模型指导注入孔尺寸的选择。
关键词
平
面孔靶
激
光
挂边
本底
x
光
x
光
针孔相机
平
响应
x
光
探测器
Keywords
planar hole-target
laser clipping effect
background
x
-ray
x
-ray pinhole camera
flat-response
x
-ray detectors
分类号
TL67 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
整形脉冲信号处理方法及低温辐射流偏差
3
作者
杜华冰
孙奥
尚万里
侯立飞
车兴森
杨轶濛
杨国洪
机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2020年第11期248-255,共8页
文摘
平响应X射线二极管目前已经广泛应用在国内外大型激光装置,用于角分布X射线辐射流的测量。在实际实验中,平响应X射线二极管会对整形脉冲驱动辐射源产生台阶变化的辐射流图像进行测量。为了保证信噪比良好,单一信号会接入示波器多通道,然后对不同通道信号进行数据处理,并且拼接得到最后信噪比很好的图像。该研究主要对这种数据处理方式进行了介绍,并给出了理论计算,同时对低温辐射流还原计算中的一种偏差做了理论近似和数值模拟,得到了偏差的相对不确定度。耦合所有因素的不确定度,得到了平响应X射线二极管的整体不确定度随辐射温度的变化曲线,实现了精密化诊断,完成了实验对于诊断的需求。
关键词
惯性约束聚变
整形脉冲
平
响应
x
光
二极管
信号拼接
低温辐射流
Keywords
inertial confinement fusion
shaped pulse
flat-response
x
-ray diode
signal splicing
radiation flu
x
in low temperature
分类号
O536 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
X射线二极管平响应滤片的制作
辛将
谢常青
李志超
朱效立
刘明
徐超
陈军宁
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2011
1
下载PDF
职称材料
2
基于平面孔靶对本底X光及激光挂边的研究
李琦
李三伟
郭亮
李志超
杨冬
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
2
下载PDF
职称材料
3
整形脉冲信号处理方法及低温辐射流偏差
杜华冰
孙奥
尚万里
侯立飞
车兴森
杨轶濛
杨国洪
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2020
0
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职称材料
已选择
0
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