X光多层膜反射镜的损伤与破坏实验研究

产生 Ｘ 光激光的等离子体环境对 Ｘ 光多层膜反射镜造成损伤与破坏。通过模拟实验，给出国产 Ｍｏ／ Ｓｉ多层膜反射镜的破坏阈值大约是 ０１０ Ｊ／ｃｍ ２，在这个辐照剂量下，多层膜表面均方粗糙度明显增加，反射率几乎降至为零。提出了防止多层膜反射镜破坏的一些想法。