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专利
1
《光机电信息》 1995年第1期43-44,共2页
本专利阐述一种用旋转光楔元件实现激束频移的方法.这种器件可产生随时间变化的相移.专利中介绍了光学频移器透射和反射结构及实现频移的过程,估了频移范围为0.1-2MHz(美国专利号:5262889)
关键词 光学频移器 干涉仪 电子束 x射线光刻扫描系统 电检测仪 保护眼罩 变形透镜 毫米波发生器 绘图尺
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