非晶硒合金膜的制备方法研究

基于传统工艺,新研制开发了一套非晶硒合金膜制备的设备和工艺流程。实验采用高真空电阻加热蒸镀方法,已制备出面积为180mm×180mm的非晶硒合金膜并进行了基本特性检测。测试结果表明:所制备的膜非晶化程度高,厚度最大为90μm,厚度分布比较均匀,相对误差在10%以内。所制备的膜满足光电转换膜的基本特性要求。