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高k材料镧前驱体La(tmhd)_(3)和La(tmod)_(3)的热力学及其ALD应用
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作者 周洪 丁玉强 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第7期1047-1057,共11页
通过同步热分析研究两种不同的前驱体(La(tmhd)_(3)和La(tmod)_(3))在升华过程中的热稳定性。结果表明,具有不对称分子结构的La(tmod)_(3)的挥发性大于La(tmhd)_(3),其可以作为镧前驱体应用于原子层沉积(ALD)技术。将La(tmod)_(3)和O_(3... 通过同步热分析研究两种不同的前驱体(La(tmhd)_(3)和La(tmod)_(3))在升华过程中的热稳定性。结果表明,具有不对称分子结构的La(tmod)_(3)的挥发性大于La(tmhd)_(3),其可以作为镧前驱体应用于原子层沉积(ALD)技术。将La(tmod)_(3)和O_(3)作为前驱体,通过ALD技术在SiO_(2)基片上实现了LaOx薄膜的制备。实验结果表明,其最佳的ALD工艺参数包括:La(tmod)_(3)和O_(3)的脉冲时间分别为6 s和2 s,O_(3)的清洗时间为5 s,沉积温度为250℃。在制备的薄膜中发现了理想的自限性沉积行为。通过X射线光电子能谱仪(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)证实了生长的薄膜具有良好的纯度和表面形貌,其在250℃的沉积温度下具有稳定的生长速率(约0.16A/cycle,1A=0.1 nm),薄膜的主要成分为La2O_(3)。 展开更多
关键词 LAOX La(tmhd)_(3) 原子层沉积(ALD) La(tmod)_(3) 热分析 O_(3)
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X-连锁型肾上腺脑白质营养不良1例家系报告 被引量:1
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作者 韩新 李斌 +1 位作者 旷艳红 郭新生 《中国医学创新》 CAS 2009年第28期129-130,共2页
目的观察X-连锁型肾上腺脑白质营养不良的临床表现,探讨其临床特征、分型和治疗方法。方法选择一家系2例姨表兄弟患者,分析其系谱、首发症状、临床表现和影像学特征。结果 2例分别以脑部损害和肾上腺皮质功能不全为首发症状,均有脑部损... 目的观察X-连锁型肾上腺脑白质营养不良的临床表现,探讨其临床特征、分型和治疗方法。方法选择一家系2例姨表兄弟患者,分析其系谱、首发症状、临床表现和影像学特征。结果 2例分别以脑部损害和肾上腺皮质功能不全为首发症状,均有脑部损害及肾上腺皮质功能不全表现。结论该病为X-连锁隐性遗传性脂质代谢障碍疾病,可分为脑型、肾上腺脊髓神经病型、单纯Addison病和杂合子发病等4个亚型。 展开更多
关键词 肾上腺脑白质营养不良 X-连锁 肾上腺皮质功能不全 脑部损害
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过氧化物酶体的生物发生与疾病 被引量:3
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作者 赵守城 《生命科学》 CSCD 2000年第4期181-184,共4页
过氧化物酶体的膜蛋白和酶分子都是由核基因编码,在游离的核糖体上合成之后,由定位信号引导靶向运输并组装到过氧化物酶体的。本文就过氧化物酶体膜蛋白信号mPTS、酶分子信号PTS1和PTS2、酶分子运进过氧化物酶体的模型以及由于过氧化... 过氧化物酶体的膜蛋白和酶分子都是由核基因编码,在游离的核糖体上合成之后,由定位信号引导靶向运输并组装到过氧化物酶体的。本文就过氧化物酶体膜蛋白信号mPTS、酶分子信号PTS1和PTS2、酶分子运进过氧化物酶体的模型以及由于过氧化物酶体生物发生的障碍而引起的疾病加以讨论。 展开更多
关键词 过氧化物酶体 Zellweger综合症 X-连锁ALD
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聚焦离子束切割法制备多层膜X射线波带片 被引量:1
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作者 姚广宇 李艳丽 +1 位作者 孔祥东 韩立 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第4期314-318,共5页
X射线波带片是X射线显微成像系统中用于聚焦及成像的核心元件,提高波带片性能参数,更利于X射线显微成像技术的广泛应用。选择可精确控制厚度的原子层沉积(ALD)法结合聚焦离子束(FIB)切割法制备出大高宽比X射线波带片结构,即用原子层沉... X射线波带片是X射线显微成像系统中用于聚焦及成像的核心元件,提高波带片性能参数,更利于X射线显微成像技术的广泛应用。选择可精确控制厚度的原子层沉积(ALD)法结合聚焦离子束(FIB)切割法制备出大高宽比X射线波带片结构,即用原子层沉积法在光滑的钨丝表面交替沉积Al2O3/HfO2多层膜,其总层数为360,最外层膜宽度为10 nm。聚焦离子束的加速电压设定为30 kV,先利用束流为1 000 pA的离子束流将Al2O3/HfO2多层膜切割成设计厚度的薄片,再利用束流为350 pA的离子束流对切割的截面进行抛光,最后得到厚度为50μm、最外层膜宽度为10 nm的大高宽比X射线波带片结构。 展开更多
关键词 原子层沉积(ALD) 聚焦离子束(FIB) X射线波带片 显微成像系统 大高宽比
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基于MIS电容器的Al_(2)O_(3)与In_(0.74)Al_(0.26)As的界面特性
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作者 万露红 邵秀梅 +3 位作者 李雪 顾溢 马英杰 李淘 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第2期384-388,共5页
采用In_(0.74)Al_(0.26)As/In_(0.74)Ga_(0.26)As/In_(x)Al_(1-x)As异质结构多层半导体作为半导体层,制备了金属-绝缘体-半导体(MIS)电容器。其中,SiN_(x)和SiN_(x)/Al_(2)O_(3)分别作为MIS电容器的绝缘层。高分辨率透射电子显微镜和X... 采用In_(0.74)Al_(0.26)As/In_(0.74)Ga_(0.26)As/In_(x)Al_(1-x)As异质结构多层半导体作为半导体层,制备了金属-绝缘体-半导体(MIS)电容器。其中,SiN_(x)和SiN_(x)/Al_(2)O_(3)分别作为MIS电容器的绝缘层。高分辨率透射电子显微镜和X射线光电子能谱的测试结果表明,与通过电感耦合等离子体化学气相沉积生长的SiN_(x)相比,通过原子层沉积生长的Al_(2)O_(3)可以有效地抑制Al_(2)O_(3)和In_(0.74)Al_(0.26)As界面的In2O3的含量。根据MIS电容器的电容-电压测量结果,计算得到SiN_(x)/Al_(2)O_(3)/In_(0.74)Al_(0.26)As的快界面态密度比SiN_(x)/In_(0.74)Al_(0.26)As的快界面态密度低一个数量级。因此,采用原子层沉积生长的Al_(2)O_(3)作为钝化膜可以有效地降低Al_(2)O_(3)和In_(0.74)Al_(0.26)As之间的快界面态密度,从而降低In_(0.74)Ga_(0.26)As探测器的暗电流。 展开更多
关键词 INALAS 原子层沉积 Al_(2)O_(3) SiN_(x)金属-绝缘体-半导体电容器 界面态密度
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Lysosomal cholesterol accumulation is commonly found in most peroxisomal disorders and reversed by 2-hydroxypropyl-β-cyclodextrin
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作者 Lewei Dong Jian Xiao +6 位作者 Shuai Liu Gang Deng Yacheng Liao Beibei Chu Xiaolu Zhao Bao-Liang Song Jie Luo 《Science China(Life Sciences)》 SCIE CAS CSCD 2023年第8期1786-1799,共14页
Peroxisomal disorders(PDs)are a heterogenous group of diseases caused by defects in peroxisome biogenesis or functions.Xlinked adrenoleukodystrophy is the most prevalent form of PDs and results from mutations in the A... Peroxisomal disorders(PDs)are a heterogenous group of diseases caused by defects in peroxisome biogenesis or functions.Xlinked adrenoleukodystrophy is the most prevalent form of PDs and results from mutations in the ABCD1 gene,which encodes a transporter mediating the uptake of very long-chain fatty acids(VLCFAs).The curative approaches for PDs are very limited.Here,we investigated whether cholesterol accumulation in the lysosomes is a biochemical feature shared by a broad spectrum of PDs.We individually knocked down fifteen PD-associated genes in cultured cells and found ten induced cholesterol accumulation in the lysosome.2-Hydroxypropyl-β-cyclodextrin(HPCD)effectively alleviated the cholesterol accumulation phenotype in PD-mimicking cells through reducing intracellular cholesterol content as well as promoting cholesterol redistribution to other cellular membranes.In ABCD1 knockdown cells,HPCD treatment lowered reactive oxygen species and VLCFA to normal levels.In Abcd1 knockout mice,HPCD injections reduced cholesterol and VLCFA sequestration in the brain and adrenal cortex.The plasma levels of adrenocortical hormones were increased and the behavioral abnormalities were greatly ameliorated upon HPCD administration.Together,our results suggest that defective cholesterol transport underlies most,if not all,PDs,and that HPCD can serve as a novel and effective strategy for the treatment of PDs. 展开更多
关键词 CHOLESTEROL PEROXISOME LYSOSOME peroxisomal disorders x-ald CYCLODEXTRIN ABCD1 VLCFA
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