光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计

X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链,设计柔性二级减速机构,并将之应用到新型的一体式X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行分析的基础上,对X-Y向柔性调节机构结构参数进行了优化设计。进一步,运用有限元分析法,分析了该X-Y向柔性调节机构的性能。分析结果表明,该机构调节行程大于±20μm,机构位移输入?输出关系稳定,传动比约11.9,理论调节精度约8.4 nm,机构单方向驱动刚度为0.473μm/N;机构开环单轴运动时,耦合误差与主运动比值为7.1%;机构1阶模态频率大于200 Hz。该X-Y向柔性调节机构能够应用到光刻投影物镜中。

全自动称重真空自耗电弧炉研制

简述了国内外真空自耗电弧炉的现状以及最新技术 ,详细介绍了最新研制的真空自耗电弧炉的结构和特点 ,特别对电极称重、恒熔速、X- Y调节及全过程计算机控制系统作了重点介绍。

一种新型全自动称重真空自耗电弧炉的研制

简述了国内外真空自耗电弧炉的现状以及最新技术,详细介绍了最新研制的真空自耗电弧炉的结构与特点,对电极称重、恒熔速、X-Y调节及全过程计算机控制系统做了重点介绍。

光刻投影物镜中动镜X-Y向柔性调节机构设计

针对光刻投影物镜中动镜X-Y向调节机构精度高、行程小、结构紧凑的需求,提出了一种X-Y向一体式调节机构。所提机构基于四连杆调节原理,利用内外圈独立分布的X-Y向柔性铰链,无需解耦即可实现X/Y向高精度调节。首先根据投影物镜中动镜的调节精度和行程,完成所提机构的结构设计;然后运用有限元分析法仿真分析所提X-Y向柔性调节机构的性能。分析结果表明:所提机构调节行程大于±20μm,X向、Y向的刚度值分别为0.542μm/N、0.671μm/N;单X、Y向开环驱动时,垂直方向耦合误差与主方向移动量之比分别为6.86%、4%;模态大于100 Hz。最后,对所提调节机构进行了性能测试实验,X向重复定位精度为36.3 nm,Y向为41.7 nm;调节过程中,角度偏移小于0.5″。实验结果表明,所提柔性调节机构能够满足光刻投影物镜像质补偿对X-Y向高精度调节要求。