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A high quality surface finish grinding process to produce total reflection mirror for x-ray fluorescence analysis 被引量:2
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作者 Hitoshi Ohmori Shinjiro Umezu +8 位作者 Yunji Kim Yoshihiro Uehara Hiroshi Kasuga Teruko Kato Nobuhide Itoh Syuhei Kurokawa Takayuki Kusumi Yugo Sugawara Shinsuke Kunimura 《International Journal of Extreme Manufacturing》 2020年第1期156-162,共7页
Total reflection x-ray fluorescence analysis is applied to trace element detection in liquid for effective environmental monitoring.This analytical approach requires x-ray total reflection mirrors.In order to achieve ... Total reflection x-ray fluorescence analysis is applied to trace element detection in liquid for effective environmental monitoring.This analytical approach requires x-ray total reflection mirrors.In order to achieve high sensitivity element detection,the mirrors require high surface quality for high x-ray reflectivity.Surface finishing for x-ray mirrors is typically conducted through a series of abrasive processes,such as grinding and polishing,and is thus time consuming.The purpose of this study is to streamline and enhance the surface finishing process based on unique high quality grinding techniques for the production of x-ray total reflection mirrors. 展开更多
关键词 GRINDING FINISHING x-ray mirror
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Development of aperiodic multilayer mirrors operated at W-Lβline for plasma diagnostics application
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作者 Ze‑Hua Yang Jing‑Tao Zhu +7 位作者 Zhong‑Liang Li Hong‑Xin Luo Shang‑Yu Si Yun‑Ping Zhu Li Zhao Kuan Ren Feng Wang Rong‑Qing Yi 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第11期77-84,共8页
Multilayer interference mirrors play a pivotal role in spectroscopic diagnostic systems,which probe electron temperature and density during inertial confinement fusion processes.In this study,aperiodic Mo/B_(4)C multi... Multilayer interference mirrors play a pivotal role in spectroscopic diagnostic systems,which probe electron temperature and density during inertial confinement fusion processes.In this study,aperiodic Mo/B_(4)C multilayer mirrors of varied thick-nesses were investigated for X-ray plasma diagnostics at the 9.67-keV W-Lβline.The thickness distribution of the aperiodic multilayers was designed using the first Bragg diffraction condition and then optimized through a simplex algorithm to realize a narrow bandwidth and consistent spectral response.To enhance spectral accuracy,further refinements were undertaken by matching the grazing incidence X-ray reflectivity data with actual structural parameters.X-ray reflectivity measurements from the SSRF synchrotron radiation facility on the optimized sample showed a reflectivity of 29.7±2.6%,flat-band range of 1.3 keV,and bandwidth of 1.7 keV,making it suitable for high-temperature plasma diagnostics.The study explored the potential of predicting the 9.67 keV reflectivity spectrum using the fitting data from the grazing incidence X-ray reflectivity curves at 8.05 keV.Additionally,the short-term thermal stability of an aperiodic multilayer was assessed using temperature-dependent in situ X-ray measurements.Shifts in the reflectivity spectrum during annealing were attributed to interdiffusion and interfacial relaxation.The research team recommends the aperiodic Mo/B_(4)C multilayer mirror for operations below 300℃. 展开更多
关键词 x-ray multilayer mirror Aperiodic multilayer Flat response Sputtering deposition Synchrotron radiation
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Ultrafast structural dynamics using time-resolved x-ray diffraction driven by relativistic laser pulses 被引量:2
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作者 朱常青 谭军豪 +7 位作者 何雨航 王进光 李毅飞 鲁欣 李英骏 陈洁 陈黎明 张杰 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第9期77-82,共6页
Based on a femtosecond laser plasma-induced hard x-ray source with a high laser pulse energy(>100 mJ)at 10 Hz repetition rate,we present a time-resolved x-ray diffraction system on an ultrafast time scale.The laser... Based on a femtosecond laser plasma-induced hard x-ray source with a high laser pulse energy(>100 mJ)at 10 Hz repetition rate,we present a time-resolved x-ray diffraction system on an ultrafast time scale.The laser intensity is at relativistic regime(2×10^(19)W/cm^(2)),which is essential for effectively generating K_(α)source in high-Z metal material.The produced copper K_(α)radiation yield reaches to 2.5×10^(8)photons/sr/shot.The multilayer mirrors are optimized for monochromatizating and two-dimensional beam shaping of Kαemission.Our experiment exhibits its ability of monitoring the transient structural changes in a thin film SrCoO_(2.5)crystal.It is demonstrated that this facility is a powerful tool to perform dynamic studies on samples and adaptable to the specific needs for different particular applications with high flexibility. 展开更多
关键词 ultrafast x-ray diffraction transient structural changes multilayer mirrors
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Present Status of EUV Interferometer Development at the Research Center for Soft X-ray Microscopy
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作者 Masaki Yamamoto, Tadashi Hatano, Minaji Furudate (Research Center for Soft X-ray Microscopy, Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, Japan) 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第5期405-410,共6页
A new interferometer for extreme ultraviolet (EUV) radiation with a laser produced plasma (LPP) laboratory source is under construction. The LPP source is operated with a Sn solid rod target on which pulsed YAG laser ... A new interferometer for extreme ultraviolet (EUV) radiation with a laser produced plasma (LPP) laboratory source is under construction. The LPP source is operated with a Sn solid rod target on which pulsed YAG laser is focused to produce high temperature plasma emitting EUV radiation. The source is equipped with a newly designed debris stopper protecting a condenser multilayer mirror from the particle debris of the target. The condenser mirror focuses the light onto an EUV beam-splitter to form transmitted and reflected paths for producing interference fringes of a sharing type. The optical configuration is of a common path based on a triangular path type with a focusing at the beam-splitter, which is enabled to produce fringes by a low coherence radiation with a standard optical quality beam-splitter. The fringes are recorded by an imaging plate with pixels as small as 25μm. The dynamic range of linearity in detection of the EUV light was found to be more than 10 4 with sensitivity of 10 4 photons/pixel, enough for the purpose of interferogram recording, possibly with one laser shot. 展开更多
关键词 soft x-ray INTERFEROMETERS MULTILAYER mirrors FIGURE error imaging optics
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激光标线仪在构建光学镜面测试光路中的应用
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作者 季波 徐晨 汤瑾 《计量学报》 CSCD 北大核心 2023年第8期1163-1168,共6页
基于激光标线仪能够非接触式输出连续参考基准的特性,提出将激光标线仪应用于辅助构建光学镜面测试光路,分别研究了激光标线仪在平面镜测试、球面镜测试、Ritchey-Common法测试、非球面镜测试等测试光路构建中的作用以及在光路调整中的... 基于激光标线仪能够非接触式输出连续参考基准的特性,提出将激光标线仪应用于辅助构建光学镜面测试光路,分别研究了激光标线仪在平面镜测试、球面镜测试、Ritchey-Common法测试、非球面镜测试等测试光路构建中的作用以及在光路调整中的操作事项,总结了激光标线仪在空间定位、光轴校正中的特殊优势,讨论了激光标线仪误差对于测试的影响以及相应的修正措施,并通过实验比对验证了激光标线仪相比传统辅助测试设备的优势。研究表明用激光标线仪能替代传统的辅助对准调试设备和方法,对于不同类型的光学镜面测试均有很好的适应性。 展开更多
关键词 计量学 镜面测试 激光标线仪 光路 对准
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Ion Beam Figuring System for Synchrotron X-Ray Mirrors Achieving Sub-0.2-µrad and Sub-0.5-nm Root Mean Square
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作者 Tianyi Wang Lei Huang +4 位作者 Yi Zhu Stefano Giorgio Philip Boccabella Nathalie Bouet Mourad Idir 《Nanomanufacturing and Metrology》 EI 2023年第3期1-11,共11页
Optics with high-precision height and slope are increasingly desired in numerous industrial fields.For instance,Kirkpatrick-Baez(KB)mirrors play an important role in synchrotron X-ray applications.A KB system is compo... Optics with high-precision height and slope are increasingly desired in numerous industrial fields.For instance,Kirkpatrick-Baez(KB)mirrors play an important role in synchrotron X-ray applications.A KB system is composed of two aspherical,grazing-incidence mirrors used to focus an X-ray beam.The fabrication of KB mirrors is challenging due to the aspherical departure of the mirror surfaces from base geometries and the high-quality requirements for slope and height residuals.In this paper,we present the process of manufacturing an elliptical cylinder KB mirror using our in-house-developed ion beam figuring(IBF)and metrology technologies.First,the key aspects of figuring and finishing processes with IBF are illustrated in detail.The effect of positioning error on the convergence of the residual slope error is highlighted and compensated.Finally,inspection and cross-validation using different metrology instruments are performed and used as the final validation of the mirror.Results confirm that relative to the requested off-axis ellipse,the mirror has achieved 0.15-μrad root mean square(RMS)and 0.36-nm RMS residual slope and height errors,respectively,while maintaining the initial 0.3-nm RMS microroughness. 展开更多
关键词 Ion beam figuring Kirkpatrick-Baez Synchrotron x-ray mirrors Stitching interferometry Optical fabrication Optical metrology
原文传递
机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计 被引量:7
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作者 徐新行 王恒坤 +2 位作者 韩旭东 王兵 高云国 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1937-1944,共8页
为了实现机载小型化FSM的闭环控制,设计了一款小体积、高精度、高环境适应性的微位移测量传感器。首先根据位移传感器的技术原理和机载FSM的应用需求,提出了微位移测量传感器的主要设计指标。然后,分别对微位移测量传感器的发光元件、... 为了实现机载小型化FSM的闭环控制,设计了一款小体积、高精度、高环境适应性的微位移测量传感器。首先根据位移传感器的技术原理和机载FSM的应用需求,提出了微位移测量传感器的主要设计指标。然后,分别对微位移测量传感器的发光元件、密珠滑轨、测量光栅和接收元件等进行了详细设计与选择。其中,高精度密珠滑轨的采用不仅减小了测量过程中的附加阻力,而且使光栅副的运动更加精准;光栅副通光窗口的引入、独特零件编码的设计、裂相法信号提取方式的采用,保证了微位移测量传感器的高低温性能。最后,针对微位移测量传感器在机载小型化FSM上的应用效果进行了理论分析与实验检测。结果显示:机载小型化FSM的方位指向误差不超过3.4″,俯仰指向误差不超过3.8″,证明了专用型微位移测量传感器高精度、高分辨力和高响应速度的技术特点,满足机载小型化FSM的应用需求。 展开更多
关键词 快速反射镜 位移传感器 测量光栅 增量式
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空间大口径单体反射镜计量卸荷支撑研制中的关键技术 被引量:7
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作者 董得义 庞新源 +4 位作者 张学军 樊延超 李志来 杨利伟 胡海飞 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期2165-2179,共15页
通过对空间大口径单体反射镜支撑技术发展现状及发展趋势的调研,总结了当前大口径单体空间反射镜支撑技术中较为成熟的技术路线。在此技术路线中,计量卸荷支撑是必须要攻克的一项核心难题。本文介绍了计量卸荷支撑的概念,并针对计量卸... 通过对空间大口径单体反射镜支撑技术发展现状及发展趋势的调研,总结了当前大口径单体空间反射镜支撑技术中较为成熟的技术路线。在此技术路线中,计量卸荷支撑是必须要攻克的一项核心难题。本文介绍了计量卸荷支撑的概念,并针对计量卸荷支撑研制过程中的关键技术进行了深入的讨论,包括支撑点数量、位置及支撑力大小的确定方法,支撑力执行单元的方案设计以及计量卸荷精度的保证方法等;通过对计量卸荷支撑研制过程中关键技术的总结,期望对我国空间大口径单体反射镜的研制提供借鉴意义。 展开更多
关键词 空间望远镜 大口径单体反射镜 计量卸荷支撑 关键技术
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绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统 被引量:7
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作者 刘华 卢振武 +5 位作者 熊峥 王尧 王鹤 黄剑波 谭向全 孙强 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期1814-1819,共6页
提出了基于数字微镜器件(DMD)的双曝光头总体结构,该结构可同时刻划母尺的周期和非周期两个光栅码道。单曝光头包含曝光光源、调焦光源、DMD和投影镜头四部分,曝光光源由激光器、准直镜组、二维微透镜阵列和场镜组成。本文利用光学软件T... 提出了基于数字微镜器件(DMD)的双曝光头总体结构,该结构可同时刻划母尺的周期和非周期两个光栅码道。单曝光头包含曝光光源、调焦光源、DMD和投影镜头四部分,曝光光源由激光器、准直镜组、二维微透镜阵列和场镜组成。本文利用光学软件TracePro设计该光源,实现了能量的平顶分布,在14mm×10mm的照明面上均匀性达到95%以上。利用光学软件Zemax设计了工作在双波段(曝光光源0.403~0.407μm和调焦光源0.525~0.535μm)的共焦投影镜头,采用了二向色镜和分光棱镜使其能在曝光的同时进行实时调焦,优化后的系统在曝光波段和调焦波段均达到衍射极限,最大畸变为0.009%。与传统的光栅尺刻划技术对比,设计的曝光系统具有工艺简单、制作速度快、精度高等优势,可用于长、超长计量光栅的制作。 展开更多
关键词 绝对式光栅尺 光栅码道 母尺刻划 数字微镜器件 曝光头 计量光栅
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相位恢复测量长焦距镜面(英文) 被引量:4
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作者 丁凌艳 吴宇列 李圣怡 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1431-1437,共7页
针对长焦距光学镜面检测中测量光路长,振动干扰较大,不容易用干涉仪进行面形检测的难题,提出了一种基于相位恢复技术的测量方法.该方法用相干点光源照射被测镜,采集一系列焦点附近的衍射光强图像,然后运用相位恢复算法得到镜面面形误差... 针对长焦距光学镜面检测中测量光路长,振动干扰较大,不容易用干涉仪进行面形检测的难题,提出了一种基于相位恢复技术的测量方法.该方法用相干点光源照射被测镜,采集一系列焦点附近的衍射光强图像,然后运用相位恢复算法得到镜面面形误差分布.利用衍射光学理论建立了测量模型,并用基于Gerchberg-Saxton算法的迭代算法求解模型.然后仿真验证了光场传播模型的可靠性和测量算法的有效性,并用该方法测量了一块曲率半径8700mm,口径145mm的球面镜.通过对光强图像位置进行优化,并选择适当离焦位置的图像,最终恢复出了镜面面形.相位恢复测量的结果与动态干涉仪测量结果基本一致,并且测量装置简单,对环境要求低. 展开更多
关键词 长焦距镜面 面形测量 相位恢复 衍射
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光电瞄具多光轴平行性检测系统的设计与研究 被引量:5
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作者 黄战华 廖可 +1 位作者 朱猛 王铨 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期571-576,共6页
为了精准地测量光电瞄具多光轴的平行性,采用大口径离轴抛物面反射镜平行光管的多光轴检测方法进行了理论分析,并设计了完整的测量系统(包括光学成像系统、控制系统、图像采集与处理系统)。该系统采用离散余弦变换系数作为评价标准,实... 为了精准地测量光电瞄具多光轴的平行性,采用大口径离轴抛物面反射镜平行光管的多光轴检测方法进行了理论分析,并设计了完整的测量系统(包括光学成像系统、控制系统、图像采集与处理系统)。该系统采用离散余弦变换系数作为评价标准,实现了高精度的自动对焦;采用大口径离轴抛物面反射镜满足不同型号瞄具的测量,实现了可见光、近红外和远红外3种光学系统的光轴平行性的自动检测。结合一种光电瞄具成品进行了实际测试,当光轴之间偏差角为0.04mrad~0.08mrad时,相对误差在13%以内,此范围可认为是系统检测角度的下限。结果表明,该系统减小了人为读数等主观原因造成的误差,通用性强、检测效率高,精度满足需求。 展开更多
关键词 测量与计量 平行性检测 大口径离轴 抛物面反射镜 多光轴 自动对焦
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平差理论在大口径光学元件轮廓检测中的应用 被引量:2
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作者 杨飞 刘国军 安其昌 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第10期2965-2969,共5页
为了更好地进行大口径光学元件轮廓测量,以激光跟踪仪作为测量的工具,引入测量平差理论对测量数据进行处理,以提高光学元件毛坯制作、铣磨加工阶段的轮廓测量精度。首先,对拟合误差的公式进行了推导,得出影响拟合精度的因素;之后,对于... 为了更好地进行大口径光学元件轮廓测量,以激光跟踪仪作为测量的工具,引入测量平差理论对测量数据进行处理,以提高光学元件毛坯制作、铣磨加工阶段的轮廓测量精度。首先,对拟合误差的公式进行了推导,得出影响拟合精度的因素;之后,对于大口径元件轮廓测量的具体检测模型提出了提高拟合精度的方法;最后,对于实际的2 m量级口径的Si C主镜进行了实际的测量与拟合,并从F数、拟合残差、结构函数等角度分析了平差结果。所提出的方法对于大口径元件的加工检测具有较好的指导意义。 展开更多
关键词 轮廓测量 大口径光学元件 激光跟踪仪 测量平差理论 结构函数
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含补偿腔的自混合干涉效应研究 被引量:2
13
作者 刘敏 张勇 孙皆宜 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期206-209,共4页
为了增加自混合干涉测量的测量距离、改善干涉信号质量,采用在传统的自混合结构的基础上,在外腔中加入补偿镜的方法,在实验和理论上进行了观察和分析。由实验可知,有补偿腔后,测量距离从原来3镜腔的20cm增加到60cm;含有补偿腔结构的干... 为了增加自混合干涉测量的测量距离、改善干涉信号质量,采用在传统的自混合结构的基础上,在外腔中加入补偿镜的方法,在实验和理论上进行了观察和分析。由实验可知,有补偿腔后,测量距离从原来3镜腔的20cm增加到60cm;含有补偿腔结构的干涉信号强而稳定,明显好于3镜腔结构,而且干涉信号随补偿镜位置和反射率的不同,效果不同。根据腔镜结构,从波的传播理论出发,给出含补偿腔的理论模型,用MATLAB编程对模型进行的数值模拟结果与实验结果吻合得很好。结果表明,通过在自混合干涉系统中加入补偿镜,克服了原来自混合干涉系统的诸多缺点,为自混合干涉测量的实用化提供了有益的参考。 展开更多
关键词 测量与计量 补偿腔模型 自混合干涉 3镜结构 4镜模型
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室内200m虚拟基线测量方法的研究 被引量:2
14
作者 刘红光 蔡青梅 +4 位作者 李青 王喆 李红亮 赵美蓉 郑叶龙 《计量学报》 CSCD 北大核心 2021年第11期1425-1429,共5页
为了解决手持式激光测距仪50 m以上检测基准建立的问题,在50 m高精度导轨上利用3个平面反射镜进行光路折叠,实现4倍光程倍增,搭建了室内200 m基线。并将Leica TS15型全站仪视为检定基准,对基线长度进行标定。最后对Leica DISTOTMD510型... 为了解决手持式激光测距仪50 m以上检测基准建立的问题,在50 m高精度导轨上利用3个平面反射镜进行光路折叠,实现4倍光程倍增,搭建了室内200 m基线。并将Leica TS15型全站仪视为检定基准,对基线长度进行标定。最后对Leica DISTOTMD510型手持式激光测距仪开展了50~200 m测段的示值误差检定实验。实验结果表明:室内基线系统的测量范围可拓宽至200 m,示值误差检定结果的扩展不确定度为2.2 mm(k=2),满足检定规程要求,有利于将长基线压缩至室内有限空间完成。 展开更多
关键词 计量学 虚拟长度基线 手持式激光测距仪 平面镜 全站仪 光程倍增测量法
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冷却镜面凝析湿度计法检测天然气水露点的不确定度评定 被引量:4
15
作者 邹伟 《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第S01期150-153,共4页
对冷却镜面凝析湿度计法测定天然气水露点进行了全面的不确定度分析研究,通过建立数学模型,详细分析了测量不确定度的来源,对测量过程中引入的不确定度分量和合成不确定度进行了评定.结果表明,利用冷却镜面凝析湿度计法测定天然气水露点... 对冷却镜面凝析湿度计法测定天然气水露点进行了全面的不确定度分析研究,通过建立数学模型,详细分析了测量不确定度的来源,对测量过程中引入的不确定度分量和合成不确定度进行了评定.结果表明,利用冷却镜面凝析湿度计法测定天然气水露点,当包含因子k=2,置信概率为95%时的扩展不确定度为0.8℃.该方法具有测量速度快,结果准确度高等特点.建议通过增加检测次数,提升检测人员的熟练程度等手段进一步提高测量结果的准确性和可靠性. 展开更多
关键词 计量学 冷却镜面凝析湿度计法 水露点 不确定度
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无阿贝误差计量型原子力显微镜 被引量:8
16
作者 赵克功 H.J.Buechner 《计量学报》 CSCD 北大核心 2002年第2期87-89,共3页
中国计量科学研究院与德国联邦物理技术研究院、德国伊尔门脑技术大学和耶那蔡司厂合作 ,于 1997年研制成功计量型原子力显微镜。限于当时的技术水平 ,它还存在有不可忽略的阿贝误差 ,特别是在x与y方向的阿贝误差可达 2~ 3nm。所以 ,... 中国计量科学研究院与德国联邦物理技术研究院、德国伊尔门脑技术大学和耶那蔡司厂合作 ,于 1997年研制成功计量型原子力显微镜。限于当时的技术水平 ,它还存在有不可忽略的阿贝误差 ,特别是在x与y方向的阿贝误差可达 2~ 3nm。所以 ,在其测量空间范围内 ,两点间的测量不确定度为 :U =5nm +2× 10 - 4L(L为两点间的距离 )。本文报导 1999年以来在原基础上所作的改进 ,消除了 3个坐标方向上的阿贝误差 ,将测量不确定度提高到 :U =2nm +1× 10 - 4L。 展开更多
关键词 计量型原子力显微镜 阿贝误差 微型光纤传导平面激光干涉仪 测量不确定度
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离轴抛物面镜在温度传感器校准系统中的应用 被引量:2
17
作者 江练勇 郝晓剑 周汉昌 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期42-44,共3页
为了改善温度传感器动态校准系统中的晶体透镜对激光束的聚焦效果,使用离轴90°抛物面镜代替晶体透镜对系统进行了改造,通过几何光学方法,对离轴90°抛物面镜应用于激光聚焦光路时的光轴的角度失准对聚焦光斑造成的影响进行了分... 为了改善温度传感器动态校准系统中的晶体透镜对激光束的聚焦效果,使用离轴90°抛物面镜代替晶体透镜对系统进行了改造,通过几何光学方法,对离轴90°抛物面镜应用于激光聚焦光路时的光轴的角度失准对聚焦光斑造成的影响进行了分析,并利用改进后的系统对CHAL-010型热电偶进行时间常数测试和动态校准实验,得到了CHAL-010型热电偶在温度阶跃为242℃左右时的时间常数值,完成了该热电偶的动态校准。结果表明,采用离轴90°抛物面镜代替温度传感器动态校准系统中的晶体透镜能达到温度传感器动态校准的目的。 展开更多
关键词 测量与计量 传感器动态校准系统 动态校准 离轴抛物面镜 热电偶
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基于光路折叠的室内基线场误差分析方法研究 被引量:1
18
作者 蔡青梅 赵美蓉 +3 位作者 刘红光 郑叶龙 张涵莅 宋乐 《计量学报》 CSCD 北大核心 2021年第9期1142-1148,共7页
为了有效开展长距离光电测距类仪器的室内检定工作,在50 m高精度导轨上利用1组平面反射镜进行光路折叠,搭建了100 m室内基线场。对基线系统的测量误差进行了分析,考虑各项误差的调整精度,将误差分析结果应用到实际光路调整过程中,分析... 为了有效开展长距离光电测距类仪器的室内检定工作,在50 m高精度导轨上利用1组平面反射镜进行光路折叠,搭建了100 m室内基线场。对基线系统的测量误差进行了分析,考虑各项误差的调整精度,将误差分析结果应用到实际光路调整过程中,分析得到对基线长度影响更显著的误差量,并对其进行了控制和调整,提高测量光路的平行性调整精度,最后选择双频激光干涉仪作为长度基准开展验证实验。实验结果表明:通过光路折叠方法可以实现2倍光程倍增,基线系统的精度较高,可进行连续测量,有效地解决了室内基线建立过程中所存在的检测效率低、可重复性差等技术问题。 展开更多
关键词 计量学 大尺寸测量 光路折叠 室内基线场 双频激光干涉仪 平面反射镜 误差分析
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K-B镜面形高精度检测技术研究进展 被引量:4
19
作者 张帅 侯溪 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期660-675,共16页
以新一代同步辐射光源和全相干X射线自由电子激光为代表的先进光源已成为众多学科领域中一种不可或缺的研究工具。先进光源技术不断进步,驱动超精密光学制造快速发展,先进光源中关键聚焦光学元件K-B镜的面形精度是影响光源性能的重要指... 以新一代同步辐射光源和全相干X射线自由电子激光为代表的先进光源已成为众多学科领域中一种不可或缺的研究工具。先进光源技术不断进步,驱动超精密光学制造快速发展,先进光源中关键聚焦光学元件K-B镜的面形精度是影响光源性能的重要指标,要求其在几十纳弧度以下。然而,高精度K-B镜面形检测技术依然存在较大技术挑战,一直是国内外研究热点。本文介绍了反射式轮廓测量技术即长程轮廓仪(LTP)、纳米测量仪(NOM)以及拼接干涉检测技术等典型K-B镜面形检测技术的基本原理,对比分析了其技术特点,综述了国内外K-B镜面形检测技术的研究现状和最新进展,对发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 X射线光学 K-B镜 光学测量 面形检测 拼接干涉
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对基于拼接干涉术的同步辐射镜测量技术的研究 被引量:4
20
作者 黄磊 王添翼 Mourad Idir 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第3期169-177,共9页
随着同步辐射光源和自由电子激光器相关技术的发展和光束质量的提升,对用于转递和聚焦光束能量的X光反射镜的指标要求也逐渐提高。为避免引入额外的波前误差,反射镜面形高度误差均方根值的要求已逼近至亚纳米量级。如此苛刻的面形要求对... 随着同步辐射光源和自由电子激光器相关技术的发展和光束质量的提升,对用于转递和聚焦光束能量的X光反射镜的指标要求也逐渐提高。为避免引入额外的波前误差,反射镜面形高度误差均方根值的要求已逼近至亚纳米量级。如此苛刻的面形要求对X光反射镜的测量工作带来了极大的困难和挑战。除了在各国同步辐射光源得到广泛使用的长程轮廓仪等基于角度测量的轮廓扫描仪器之外,基于激光干涉仪的拼接干涉技术也发展为测量同步辐射镜的一种有效手段。文中主要介绍了近期笔者等为测量X光反射镜而开发的拼接干涉平台。利用这一测量平台,研究了在不同的拼接参数下的多种拼接模式。着重讲述了其中纯软件拼接模式的基本原理和实际测量。用实测结果与不同测量仪器和不同研究机构的结果进行比对,验证了拼接干涉测量用于检测同步辐射镜的有效性,并展示了此拼接平台的测量表现。根据所得的测量数据看来,使用纯软件拼接模式来测量X光平面反射镜时,测量重复性的均方差值可以达到0.1 nm左右;而测量X光双曲柱面镜时(曲率半径的变化范围为50~130 m),测量重复性的均方差值为0.2~0.3 nm。此结果基本满足平面和接近平面(曲率半径大于50 m)的同步辐射镜常规检测和为确定性加工提供面形反馈的需要。 展开更多
关键词 高精度光学测量 X光反射镜测量 同步辐射镜检测 拼接干涉术
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