Xbar-R控制图自适应采样间隔模型研究

从Xbar-R控制图的假设检验问题出发,研究了t时刻样本均值(Xbar)和极差(R)处于控制限内不同位置时,Xbar-R控制图假设检验的第二类错误(β风险)问题。以此为基础,分析了t时刻样本均值与过程均值(μ)偏移量和过程极差偏移量对β风险的影响,据此提出了根据偏移量确定t时刻采样间隔的模型,同时,研究了在给定平均步长(ARL)的条件下,确定采样间隔的模型。研究结果表明,可以通过降低采样间隔来减少由于漏判而带来的损失。

超大带宽高频XBAR谐振器研究

随着第五代移动通信(5G)时代的到来,高频、大带宽的谐振器成为通信行业的迫切需求。该文设计制备了一款可实现高频超大带宽的横向激发体声波谐振器(XBAR)。该谐振器A1模式的谐振频率为5.81 GHz,机电耦合系数可达39.6%,Q-3 dB为248;A3模式的谐振频率高达17.04 GHz,机电耦合系数为7.0%。该谐振器A1和A3模式的频率温度漂移系数(TCF)分别为-72.6×10^(-6)/℃和-38.5×10^(-6)/℃。此外,该文还提出了一种新型叉指电极(IDT)结构,该结构可以抑制寄生模式,提升谐振器性能。

用于射频滤波器的LN单晶薄膜XBAR的性能研究

基于铌酸锂(LN)薄膜的横向激发体声波谐振器(XBAR)能够兼具大机电耦合系数(K_(2))和高谐振频率(f)特性,有望满足5G应用的频段要求。然而,常规LN薄膜单层XBAR结构的温度稳定性较差,频率温度系数(TCF)较低。该文提出一种具有SiO_(2)温度补偿层的SiO_(2)/LN双层结构XBAR,并建立了精确分析层状结构XBAR的有限元模型。理论分析表明,该双层结构XBAR上激励的主模式是一阶反对称(A1)兰姆波。通过合理优化结构参数配置,能够获得高谐振频率(f~4.75 GHz)和大机电耦合系数(K^(2)~8%),同时其温度稳定性也得到显著改善(TCF~-36.1×10^(-6)/℃),相较于单层XBAR结构提高了近70×10^(-6)/℃,这为研制温补型高频、大带宽声学滤波器提供了理论基础。

高Q值横向激发体声波谐振器的设计与制备

随着5G移动通信时代的发展,射频前端(RF front-ends)的滤波和信号处理迫切需要高频大带宽的声学谐振器。横向激发体声波谐振器(XBAR)具有超高的工作频率和超大的机电耦合系数(k^(2)),但其品质因数(Q)值不高,阻碍了其在射频前端中的应用。该文提出了一种基于ZY切铌酸锂(LiNbO 3)的XBAR谐振器,通过有限元(FEM)仿真对谐振器进行了优化设计,并在微机电系统(MEMS)工艺下对谐振器进行加工。该文所制备的横向激发体声波谐振器A 1模式的谐振频率为4.72 GHz,k 2=26.9%,Q_(3) dB为384,温度频率漂移系数为-60.5×10^(-6)/℃。A_(3)模式的谐振频率为13.5 GHz,k^(2)=4.4%。

C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备

针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR)的结构设计、参数优化和制备方法,并进行了工艺验证。通过剥离和刻蚀等步骤制备了谐振频率4.464 GHz、品质因数3039、品质因数与频率之积(f×Q)达到1.56×10^(13)GHz、面积小于0.12 mm^(2)的低杂波XBAR谐振器,并仿真分析了其用于射频滤波器的可行性。该研究为进一步研制多频率、高集成的小型化XBAR滤波器组件提供了有效的设计技术和工艺技术支撑。

压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望

兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射频前端组件的有效解决方案之一,能够满足未来通信设备多频率及集成化的发展要求,其相关研究已成为微声器件领域的热点。该文简要介绍了兰姆波的基本原理,综述了近年来基于氮化铝(AlN)薄膜和铌酸锂薄膜(LNOI)的压电MEMS兰姆波器件研究取得的最新成果,并讨论了压电MEMS兰姆波器件的发展趋势。

基于KM3x的低功耗红外通信设计

针对目前红外无线通信距离短、功耗高、模块设计复杂等问题,提出了一种低功耗红外通信设计.采用XBAR模块、PWM调制技术及低功耗编程的软件设计,有效精简了电路,降低了功耗和成本,提高了可靠性,可更有效地构建红外无线通信网络.实验结果表明:系统在休眠时功耗为0.5 m W,正常工作时也仅为发射管工作功率的1/3左右;模块在自然光等环境中零误码率通信距离达到25 m,能满足便携式设备、医疗电子、水下通信、工业设备网络等诸多领域的应用需求.

测量系统分析(MSA)及其软件设计

有效地实施测量系统分析是获得高质量的测量数据的关键。介绍了MSA的基本内容及其软件设计,给出了MSA软件的程序流程结构,简要介绍了软件的各功能模块。使用Visual Basic和Visual C++混合编程来实现MSA软件的设计,最后给出了采用均值-极差法和方差分析法进行R&R评定的应用示例和线性分析示例。

基于铌酸锂薄膜的5G谐振器和滤波器

随着第五代(5G)通信技术在世界上的快速商业化,市场对5G频段的射频(RF)滤波器需求急剧增长。基于压电薄膜的声学谐振器作为实现高性能射频滤波元件的有效解决方案之一,具有高性能、低成本、器件尺寸小的优点,因此备受关注。给出了常见压电材料的材料性质,并分析了氮化铝(AlN)和铌酸锂(LiNbO_(3))薄膜在声学滤波技术中备受关注的原因;简要介绍了不同声学谐振器结构的原理、结构和关键参数,以及构成滤波器的拓扑;介绍了2种有望应用于5G频段的基于铌酸锂薄膜谐振器/滤波器的相关技术,着重突出了横向激发体声波谐振器(XBAR)的原理、设计及其在5G Sub-6GHz乃至毫米波频段滤波器中的应用。

数字艺术盛宴——2003SINOGRAPH作品大观

随着计算机科技的迅速发展和艺术创作观念的更新，数码艺术作为信息时代的一种新的艺术形式正逐步走向成熟。电脑绘画、电脑设计、卡通动漫、网页设计、3D动画等表现手段为新艺术和新媒体提供了广阔的发展空间，对国际艺术界、文化界、娱乐业和传媒业产生着愈来愈大的影响。

SPC研究及其在芯片制造工艺中的应用

统计过程控制(SPC)技术是集生产技术与科学管理于一体的现代工艺质量管理技术。在企业生产过程中,SPC是生产过程控制的有效手段和工具。SPC作为一种过程控制方法,运用数理统计概率论的原理,应用统计方法对过程中的各个阶段进行监控,可及时发现生产过程中的异常情况。