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基于类金刚石沉积的短脉宽XeCl激光设计及脉宽分析 被引量:1
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作者 任韧 陈长乐 +6 位作者 徐进 金克新 王永仓 王跃龙 汪世林 宋宙模 袁孝 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期601-605,共5页
在气体配比HCl:Xe:He=0.12%:1%:98.88%实现了大功率短脉冲XeCl准分子激光器,以纳米异质结构、微观量子阱、表面微小尺度薄膜沉积,镀制金刚石薄膜、半导体薄膜、巨磁薄膜,及外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研... 在气体配比HCl:Xe:He=0.12%:1%:98.88%实现了大功率短脉冲XeCl准分子激光器,以纳米异质结构、微观量子阱、表面微小尺度薄膜沉积,镀制金刚石薄膜、半导体薄膜、巨磁薄膜,及外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,设计了高能量、短脉宽脉冲放电激励的XeCl准分子激光器新型结构,完成了脉冲波形测试。试验结果表明:激光脉宽最短13ns,单脉冲能量450mJ,矩形光斑大小2cm×1cm,束散角3mrad,最高重复频率5 Hz。验证了激光器结构、动力学速率方程、总结出了饱和增益、脉宽规律。产生的短脉宽激光热融蚀效应小,类金钢石材料对基底形成了良好的等离子溅射羽辉。 展开更多
关键词 激光技术 xecl激光 纳秒放电 脉冲激光沉积技术 预电离 辉光放电
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相位共轭腔XeCl激光输出自聚焦的观察 被引量:1
2
作者 姚永邦 《量子电子学》 CSCD 1994年第4期261-263,共3页
采用布里渊镜构成XeCl激光腔,移动泵浦光束焦点使其置于布里渊液体介质底部液─固界面上某一合适的位置,可观察到输出的XeCl激光在远场有自聚焦现象。
关键词 共轭腔 激光输出自聚焦 非线性光学 xecl激光
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脉冲XeCl激光与K9光学玻璃相互作用中反射光波形的测量与分析
3
作者 谢永杰 赵学庆 +3 位作者 王立君 刘晶儒 易爱平 王龙华 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期71-73,共3页
选用 K9光学玻璃作为靶材料 ,在不同环境气压条件下利用高功率 Xe Cl准分子激光进行了打靶实验 ,测量得到了不同气压条件下靶面的反射光波形。分析反射光波形表明 ,气压对
关键词 高功率准分子激光 激光物质 相互作用 反射激光波形 等离子体 脉冲xecl激光 靶材料 测量 K9光学玻璃
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多脉冲序列的相位复共轭XeCl激光腔
4
作者 姚永邦 《量子电子学》 CSCD 1994年第2期92-93,共2页
多脉冲序列的相位复共轭XeCl激光腔姚永邦(中国科学院安徽光机所激光光谱学开放实验室,合肥230031)自1982年M.C.Gower第一次报导KrF准分子激光相位复共轭腔以来,人们为了改善准分子激光的光束质量、提高... 多脉冲序列的相位复共轭XeCl激光腔姚永邦(中国科学院安徽光机所激光光谱学开放实验室,合肥230031)自1982年M.C.Gower第一次报导KrF准分子激光相位复共轭腔以来,人们为了改善准分子激光的光束质量、提高亮度、压缩脉度和拉长脉宽以满足不同... 展开更多
关键词 多脉冲序列 相位复共轭 xecl激光
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短脉冲XeCl激光动力学模型及辉光抽运设计 被引量:4
5
作者 任韧 陈长乐 +5 位作者 朱世华 徐进 金克新 王永仓 袁孝 宋宙模 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期434-437,448,共5页
以薄膜沉积、外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的 ,研究了XeCl动力学模型及辉光实现。采用辉光脉冲放电方法 ,实现了激光输出 ,根据动力学方程、XeCl激光四能级模型 ,计算了Xe Cl反应速率及密度。结果表... 以薄膜沉积、外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的 ,研究了XeCl动力学模型及辉光实现。采用辉光脉冲放电方法 ,实现了激光输出 ,根据动力学方程、XeCl激光四能级模型 ,计算了Xe Cl反应速率及密度。结果表明 ,辉光放电稳定 ,激光脉宽短 ,功率高 ,辉光放电体积大 ,激光脉宽 18ns,单脉冲能量4 5 0mJ ,矩形光斑 2cm× 1cm ,束散角 3mrad。动力学分析和系统模型成立 。 展开更多
关键词 xecl准分子激光 纳秒放电 脉冲激光沉积技术 辉光放电
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振荡能量为200J的XeCl激光器
6
作者 Ив.,Н Ло.,В 《强激光技术进展》 1999年第2期48-48,F004,共2页
对两束相向电子束,孔径为25×25cm XeCl激光器的参数进行了计算和实验测量。在总压力为2.5atm时,对于最佳组份配比为Ar:Xe:HCl=700:10:1,脉宽为250ns的振荡脉冲在半高处的能量为200... 对两束相向电子束,孔径为25×25cm XeCl激光器的参数进行了计算和实验测量。在总压力为2.5atm时,对于最佳组份配比为Ar:Xe:HCl=700:10:1,脉宽为250ns的振荡脉冲在半高处的能量为200J,弱信号增益系数g0=0.065cm^-1,非饱和吸收系数α0=0.015cm^-1。相对于进入激活体积的激光效率为3.0%。 展开更多
关键词 准分子激光 xecl激光 振荡能量
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高功率XeCl准分子激光系统前端平滑实验 被引量:6
7
作者 薛全喜 赵学庆 +2 位作者 华恒祺 郑国鑫 张永生 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期332-339,共8页
为得到物面光强分布均匀、能量尽量大的部分相干XeCl准分子激光前端种子光,采用放大自发辐射(ASE)法和散射法开展了前端平滑实验研究。首先,基于一台窄脉冲XeCl准分子激光器,研究了种子光的物面光斑均匀性、能量和发散角随光束口径及... 为得到物面光强分布均匀、能量尽量大的部分相干XeCl准分子激光前端种子光,采用放大自发辐射(ASE)法和散射法开展了前端平滑实验研究。首先,基于一台窄脉冲XeCl准分子激光器,研究了种子光的物面光斑均匀性、能量和发散角随光束口径及物面位置的变化规律。然后,分析了影响种子光参数的因素。最后,进行了验证实验。实验结果显示:ASE法种子光物面光斑不均匀性最小为2.01%,能量为微焦量级,但发散角在水平和竖直方向有较大差别;散射法种子光物面光斑不均匀性最小为1.54%,能量为百纳焦量级,发散角为5.5 mrad,衍射极限倍数处于1437可调。前端泵浦腔尺寸和入射激光能量、散射板上光斑大小、收集透镜焦距分别是影响两种种子光参数的重要因素。经初级放大器放大后,光束物面光斑不均匀性为2.04%,能量达到8.0 mJ,满足高功率XeCl准分子激光角多路系统建设需求。 展开更多
关键词 准分子激光 xecl激光 光束平滑 均匀性 放大自发辐射 散射
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受激布里渊散射相位共轭镜产生高质量短脉冲XeCl激光 被引量:3
8
作者 周卫东 余吟山 +3 位作者 洪玲 季明 高晓明 张为俊 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第7期845-850,共6页
利用受激布里渊散射(SBS)相位共轭镜改善XeCl激光光束质量和压缩脉冲宽度,给出了脉宽与泵浦能量、焦点位置的关系。光脉冲宽度从50ns压缩到17ns,光束发散角也减小到原来的1/3,散射光功率密度也较泵浦光得到了提高。
关键词 相位共轭镜 xecl激光 光束质量 脉冲压缩
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放电泵浦XeCl激光的理论模型 被引量:1
9
作者 楼祺洪 Sunbai Zhu Jianbai Zhu 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第11期641-649,共9页
本文对传输线作电源的自持放电XeCl激光进行动力学分析,给出电子能量分布玻尔兹曼方程、能量平衡方程、电子线路方程及激光振荡方程的数值解,并与实验结果作了比较。
关键词 xecl激光 玻尔兹曼方程 电子泵浦
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电子束泵浦XeCl准分子激光器及应用 被引量:3
10
作者 黄超 赵学庆 +3 位作者 易爱平 林鹏 薛全喜 肖伟伟 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期62-66,共5页
为了获得高能紫外激光输出,开展了电子束泵浦XeCl准分子激光技术研究。详细介绍了四向电子束泵浦准分子激光装置的工作原理和结构特征,简述Marx发生器的放电电压、放电电流,激光气室中的沉积能量,激光脉冲能量、脉宽等参数的测量方法;... 为了获得高能紫外激光输出,开展了电子束泵浦XeCl准分子激光技术研究。详细介绍了四向电子束泵浦准分子激光装置的工作原理和结构特征,简述Marx发生器的放电电压、放电电流,激光气室中的沉积能量,激光脉冲能量、脉宽等参数的测量方法;研究了电子束泵浦XeCl准分子激光输出特性,得到了激光脉冲能量随激光气室内混合气体气压变化的规律,当激光器的充电电压为81kV时,获得了能量100J、脉宽200ns的XeCl准分子激光输出,其本征效率约为3.2%。并且开展了XeCl准分子激光辐照涂层材料力学特性研究,采用微型红外通光冲量探头测量不同条件下激光辐照涂层材料的冲量耦合系数,在常压空气环境中的冲量耦合系数约为8.32×10-5 N·W-1。 展开更多
关键词 xecl准分子激光 电子束泵浦 MARX发生器 本征效率 冲量耦合系数
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XeCl准分子激光辐照生物大分子对其结构影响初步研究——Ⅰ308nm紫外激光辐照小牛胸腺 DNA的电镜观察与分析 被引量:4
11
作者 黄汝多 葛继志 +5 位作者 李振华 朱峰 陈涛 智小勇 陈永荣 殷宣民 《激光生物学报》 CAS CSCD 2002年第6期423-426,共4页
XeCl308nm紫外激光(单脉冲输出能量33.4mJ,脉冲频率2次/秒,辐照时间45秒,光斑6×3mm,透镜焦距300mm)辐照330mm处小牛胸腺DNA(固体)。用扫描电子显微镜和透射电子显微镜可以观察到DNA受照射后有断裂、分叉、扭曲、聚集和交联等现象,... XeCl308nm紫外激光(单脉冲输出能量33.4mJ,脉冲频率2次/秒,辐照时间45秒,光斑6×3mm,透镜焦距300mm)辐照330mm处小牛胸腺DNA(固体)。用扫描电子显微镜和透射电子显微镜可以观察到DNA受照射后有断裂、分叉、扭曲、聚集和交联等现象,影响生物大分子的初级结构和高级结构的变化。在我们的实验条件下是以影响DNA构象变化为主。 展开更多
关键词 xecl准分子激光 辐照 生物大分子 结构影响 紫外激光 小牛胸腺 DNA 电镜观察
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用于薄膜沉积的XeCl激基激光器研制 被引量:5
12
作者 任韧 陈长乐 +5 位作者 金克新 王跃龙 汪世林 王永仓 宋宙模 袁孝 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期1097-1100,共4页
以镀制半导体薄膜、巨磁薄膜、金刚石及其它薄膜 ,外延生长及后续的光刻 ,激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的 ,设计、研制了脉冲放电激励的XeCl激基激光器 试验结果表明 :激光脉宽 1 8ns,单脉冲能量 1 5 0mJ ,矩形光斑大小 2cm... 以镀制半导体薄膜、巨磁薄膜、金刚石及其它薄膜 ,外延生长及后续的光刻 ,激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的 ,设计、研制了脉冲放电激励的XeCl激基激光器 试验结果表明 :激光脉宽 1 8ns,单脉冲能量 1 5 0mJ ,矩形光斑大小 2cm× 1cm ,束散角 3mrad ,最高重复频率 5HZ 与同类激光器相比 ,具有结构简单、造价低廉。 展开更多
关键词 薄膜沉积 xecl激基激光 研制 xecl准分子 预电离 辉光放电 纳秒放电 激光参量 氯化氙
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XeCl准分子激光器激励电路设计与优化(英文) 被引量:3
13
作者 李潭 陈长乐 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2005年第5期617-621,630,共6页
XeCl准分子激光器激励电路性能对激光器的输出特性有着很大的影响,为了提升激光器的输出特性,我实验室自制的XeCl准分子激光器创新性地采用了火花开关控制电路,对瞬时大电流进行控制,取得了满意的效果。从激光器电路部分的设计入手,研究... XeCl准分子激光器激励电路性能对激光器的输出特性有着很大的影响,为了提升激光器的输出特性,我实验室自制的XeCl准分子激光器创新性地采用了火花开关控制电路,对瞬时大电流进行控制,取得了满意的效果。从激光器电路部分的设计入手,研究了XeCl准分子激光器的电路结构,确定了激光器的电路参数。针对激光器在实验过程中出现的问题,采用了过流保护、光耦合器隔离、电磁屏蔽等措施,优化了激光器的性能。实测数据表明采用的设计及改进措施使激光器激励电路工作稳定,激光器输出达到设计要求。为提高XeCl准分子激光器的输出特性提供了参考。 展开更多
关键词 xecl准分子激光 优化 火花开关 ROGOWSKI线圈
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XeCl准分子紫外激光辐照生物大分子BSA(V)对其蛋白质结构的影响 被引量:8
14
作者 黄汝多 查向栋 +6 位作者 李振华 朱峰 陈涛 智小勇 陈永荣 殷宝龙 胡能书 《激光生物学报》 CAS CSCD 2007年第4期379-389,共11页
XeCl(308 nm)准分子紫外激光(单脉冲输出能量25 mJ,33.3 mJ^34.4 mJ,脉冲频率每秒两次,光斑15 mm×7 mm或4.5 mm×0.5 mm,透镜焦距300 mm),辐照小牛血清白蛋白[bovine serum albumin fraction V,BSA(V)]固体或溶液样品的时间分... XeCl(308 nm)准分子紫外激光(单脉冲输出能量25 mJ,33.3 mJ^34.4 mJ,脉冲频率每秒两次,光斑15 mm×7 mm或4.5 mm×0.5 mm,透镜焦距300 mm),辐照小牛血清白蛋白[bovine serum albumin fraction V,BSA(V)]固体或溶液样品的时间分别为15 s、30 s、45 s或60 s;样品距激光光源的距离分别为:150 mm、250mm、290 mm、340 mm。改变激光参量辐照BSA(V)样品和其对照,用光谱法测试其FT-IR(IR)、Vis-UV(UV)、FR光谱,并比较分析。受辐照后的BSA(V)与主链构象相关的酰胺平面的特征FT-IR谱线,特别是与蛋白质二级结构敏感的酰胺面Ⅰ,1 652 cm-1;与α-螺旋结构相关的FT-IR 1 140 cm-1~500 cm-1;及与蛋白质侧链氨基酸残基Tyr、Phe、Trp相关的特征峰UV277.6 nm、UV216 nm和FR 340 nm、FR 680 nm的峰强度(T%或OD%或Q%)和它们的峰位(cm-1或nm)均受激光辐照的影响,其影响程度与使用的XeCl激光参量的改变有一定的敏感性和相关性。实验结果与讨论对认识激光生物学效应的分子机理、探索建立激光-生物学效应的关系参数,以便进一步发现新的有效的激光生物学效应,发现和认识潜在(后继)的正、负面的激光生物学效应,进而加以调控有一定的理论与实用参考价值。 展开更多
关键词 xecl(308nm)激光 辐照生物大分子 小牛血清白蛋白[BSA(V)] 蛋白质结构变化 激光-生物学效应关系参数
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脉冲放电时间对XeCl准分子激光输出的影响 被引量:2
15
作者 楼祺洪 《激光杂志》 CAS 1986年第4期195-199,共5页
本文研究了脉冲放电时间对X光预电离XeCl脉冲雪崩放电激光器激光和荧光特性的影响。结果表明限止放电型XeCl准分子激光脉冲持续时间的因素是HCl在放电过程中分解产生的H对XeCl(B)态的猝灭效应。
关键词 xecl准分子激光 脉冲持续时间 激光输出 放电时间 放电激光 荧光特性 猝灭效应 放电过程 预电离 HCl
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电子束泵浦XeCl准分子激光器输出特性
16
作者 黄超 易爱平 +2 位作者 钱航 安晓霞 李高鹏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第10期61-66,共6页
为了确保窄脉宽XeCl准分子激光系统获得高峰值功率紫外激光脉冲,实验研究了紧凑型四向电子束泵浦XeCl准分子激光器的输出特性。通过调节激光腔室气体介质的总气压和气体摩尔比、激光器的充电电压、二极管阳极钛箔厚度等参数,发现了激光... 为了确保窄脉宽XeCl准分子激光系统获得高峰值功率紫外激光脉冲,实验研究了紧凑型四向电子束泵浦XeCl准分子激光器的输出特性。通过调节激光腔室气体介质的总气压和气体摩尔比、激光器的充电电压、二极管阳极钛箔厚度等参数,发现了激光能量随以上条件的变化规律,分析得到了激光器运行的最佳条件。在最佳条件下XeCl准分子激光器的脉冲能量大于100 J、脉宽约200 ns,电光效率约为5.81‰。另外,通过改变激光器内部Marx发生器的开关气压,研究了紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器输出激光脉冲的延迟抖动特性,发现激光脉冲的延迟抖动可优于20 ns。研究结果表明:紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器可实现脉冲抖动小于20 ns、103 J的高能紫外激光输出,可满足窄脉宽XeCl准分子激光系统运行的需要。 展开更多
关键词 xecl准分子激光 电子束泵浦 MARX发生器 电光效率 脉冲抖动
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XeCl准分子激光器泵浦电参数的优化设计
17
作者 宁日波 徐志洁 徐送宁 《沈阳理工大学学报》 CAS 2006年第1期18-21,共4页
利用理论模拟方法计算XeC l准分子激光器的激光输出特性,用正交设计方法选择激光器的泵浦电源参数,通过优化分析寻找到了几种可行的最佳泵浦电源参数组合.
关键词 xecl准分子激光 模拟计算 泵浦参数 正交试验
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XeCl激光能量、时间和空间特性的控制
18
作者 白光 《国外激光》 CSCD 1992年第10期18-24,共7页
引言目前准分子激光器研制方面的进展,开创了它们在微电子学、医学、大气污染遥测、光学和等离子体诊断等各种科技领域应用的广泛可能性。但是每种应用都对它们的以下参数提出具体要求:辐射能量与脉宽、发散度和输出光束截面内的功率分... 引言目前准分子激光器研制方面的进展,开创了它们在微电子学、医学、大气污染遥测、光学和等离子体诊断等各种科技领域应用的广泛可能性。但是每种应用都对它们的以下参数提出具体要求:辐射能量与脉宽、发散度和输出光束截面内的功率分布。到目前为止,文献中没有讨论上述参数与激光器形式和结构以及谐振腔类型的相互关系。本工作研究了,和型七种激光器的λ=308nm辐射特性;表明了激光器形式、结构和谐振腔类的型对辐射的能量、时间和空间特性的影响。 展开更多
关键词 xecl激光 能量 时间 空间 控制
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模式有效同步状态宽脉冲XeCl激光器
19
作者 张粹伟 《国外激光》 CSCD 1991年第8期16-17,共2页
脉宽200ns的准分子激光器通过光纤导向可为外科手术、光刻表面处理、半导体退火等用途传输≥100mJ的能量,还适用于皮秒和亚皮秒紫外脉冲的放大。准分子激光窄脉冲(10~50ns)至今尚未直接用于超短脉冲振荡,但XeCl激光器模式同步状态可能... 脉宽200ns的准分子激光器通过光纤导向可为外科手术、光刻表面处理、半导体退火等用途传输≥100mJ的能量,还适用于皮秒和亚皮秒紫外脉冲的放大。准分子激光窄脉冲(10~50ns)至今尚未直接用于超短脉冲振荡,但XeCl激光器模式同步状态可能获得τ≈300ps的脉冲序列。脉宽按τ~τ_(振荡)^(-1/2)缩短。因此,采用非线性光学的脉冲压缩可建立皮秒脉冲的准分子振荡。 展开更多
关键词 xecl激光 激光 宽脉冲
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辐射能量~1J脉宽100~300ns的小型放电XeCl激光器
20
作者 白光 晴天 《国外激光》 CSCD 1994年第4期13-14,共2页
辐射能量~1J脉宽100~300ns的小型放电XeCl激光器1.目前惰性气体卤化物准分子激光器’‘”‘广泛用于科学技术的各个领域,使用可变和(或)较长脉宽的激光器能使解决众多问题变得容易。然而工业准分子激光器的辐射能... 辐射能量~1J脉宽100~300ns的小型放电XeCl激光器1.目前惰性气体卤化物准分子激光器’‘”‘广泛用于科学技术的各个领域,使用可变和(或)较长脉宽的激光器能使解决众多问题变得容易。然而工业准分子激光器的辐射能量(至0.3J)和脉宽(至100u... 展开更多
关键词 准分子激光 惰性气体 xecl激光
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