基于XL-80激光干涉仪的直线度误差测量研究

为了提高数控机床的位置精度,通常会检测数控机床导轨的直线度误差。但在检测数控机床导轨的直线度误差时,时常会限制测量范围和精度误差。通过Reinshaw XL-80激光干涉仪可以实现对数控机床导轨的水平和垂直2个方位上的直线度测量。以THWLBTF-3型加工中心为试验平台,采用了Reinshaw XL-80激光干涉仪,通过非接触和在线测量加工中心X轴的直线度误差;通过软件测得试验数据,绘制出最小二乘法曲线图和端点拟合法曲线图,结果表明:加工中心直线度误差的大小是影响数控机床加工精度的重要因素之一。

XL-80全新轻型激光干涉仪测量系统

Renishaw推出的新型XL-80激光干涉仪提供4m／s最大的测量速度和50kHz记录速率，系统准确性可达到±0．5×10^-6（线性模式）和1nm的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。

基于激光干涉仪的直线度误差测量

机床导轨直线度误差的测量方法有很多种,其中最常用的是水平仪法、自准直仪法和平尺法。主要介绍的是用激光干涉仪测量直线度误差的方法、原理及误差分析,并提出为减少测量误差在测量过程中应注意的几个问题。