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X射线光电子能谱技术及其应用 被引量:1
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作者 程斌 《北京化工大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期1-18,共18页
X射线光电子能谱法(XPS)是最重要且使用最广泛的表面分析技术。较为全面地介绍了X射线能谱法,内容涵盖原理、分析方法、应用及技术进展。原理介绍基于理工科大学本科层级的知识,阐述了XPS的科学原理以及仪器原理;分析方法部分概述了分... X射线光电子能谱法(XPS)是最重要且使用最广泛的表面分析技术。较为全面地介绍了X射线能谱法,内容涵盖原理、分析方法、应用及技术进展。原理介绍基于理工科大学本科层级的知识,阐述了XPS的科学原理以及仪器原理;分析方法部分概述了分析的关键步骤及要点;应用部分以热门研究的材料类型分类(催化剂、生物材料、碳材料、高分子材料等)进行介绍,介绍的同时兼顾介绍了X射线光电子能谱法的一些常用技术以及在各种材料中的应用特点。本文旨在帮助该领域的初学者,包括尚未完全熟悉该技术的研究人员、研究生和X射线光电子能谱从业人员,使他们能够全面了解X射线光电子能谱技术。 展开更多
关键词 x射线光电子能谱法(xps) x射线光电子能谱
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X射线光电子能谱荷电校准方法研究进展
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作者 刘殿方 乐韵琳 +3 位作者 陈新 彭辉 冯均利 杨文超 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2024年第1期20-22,26,共4页
X射线光电子能谱(XPS)测试结果通常存在误差,受环境、仪器等影响,测试所得到的样品结合能数值会偏移实际值。常用的C 1s峰校准方法在一些测量情况下存在一定的局限性,甚至获得的图谱会产生偏移或畸变。针对此问题,分析了表面充电原理以... X射线光电子能谱(XPS)测试结果通常存在误差,受环境、仪器等影响,测试所得到的样品结合能数值会偏移实际值。常用的C 1s峰校准方法在一些测量情况下存在一定的局限性,甚至获得的图谱会产生偏移或畸变。针对此问题,分析了表面充电原理以及C 1s峰校准方法的不适用情况,总结了多种荷电校准方法,并讨论了每个方法的应用条件及其优缺点。 展开更多
关键词 x射线光电子能谱 表面分析 荷电校准 畸变
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硬X射线光电子能谱在半导体材料和器件中的应用
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作者 宋华平 杨安丽 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第6期505-513,共9页
与常规X射线光电子能谱(XPS,能量E<2 keV))相比,硬X射线光电子能谱(HAXPES)由于采用较高能量的X射线(E>2 keV),具有更大的探测深度,已经成为研究复杂材料体系的体性质,以及多层薄膜结构和纳米复合结构界面性质的重要分析工具。简... 与常规X射线光电子能谱(XPS,能量E<2 keV))相比,硬X射线光电子能谱(HAXPES)由于采用较高能量的X射线(E>2 keV),具有更大的探测深度,已经成为研究复杂材料体系的体性质,以及多层薄膜结构和纳米复合结构界面性质的重要分析工具。简要论述了HAXPES的主要特点及其发展现状,重点介绍其在半导体材料和器件研究中的典型应用,包含亚表面性质、极性判定、异质结能带结构、掺杂原子空间位置信息、器件层中界面态、介质层厚度评估等方面。随着硬X射线光源技术的不断发展,HAXPES的性能将进一步提高,其应用范围也会快速拓展,这将极大地促进功能材料的发展和应用。 展开更多
关键词 x射线光电子能谱(HAxpES) x射线光电子衍射 半导体材料和器件 能带结构 亚表面性质
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304不锈钢钝化膜的X射线光电子能谱刻蚀研究
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作者 李晓伟 安胜利 +1 位作者 韩沛 范秀风 《热加工工艺》 北大核心 2024年第4期42-45,共4页
通过X射线衍射仪测试了304不锈钢表面钝化膜物相组成物。通过X射线光电子能谱仪中单原子氩离子和团簇离子枪采用不同的电压及不同时间对304不锈钢表面进行刻蚀;分析了电压及时间对304不锈钢表面元素化合态影响。采用深度剖析法检测了钝... 通过X射线衍射仪测试了304不锈钢表面钝化膜物相组成物。通过X射线光电子能谱仪中单原子氩离子和团簇离子枪采用不同的电压及不同时间对304不锈钢表面进行刻蚀;分析了电压及时间对304不锈钢表面元素化合态影响。采用深度剖析法检测了钝化膜垂直于样品表面纵深元素分布。结果表明:不锈钢钝化膜外层为铁氧化物,内层为铬氧化物,钝化膜厚度约为120 nm。 展开更多
关键词 x射线光电子能谱 单粒子氩离子及团簇离子枪 钝化膜 深度剖析
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X射线光电子能谱(XPS)在摩擦学研究中的应用 被引量:3
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作者 丛培红 吴行阳 孙畅 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期97-104,共8页
X射线光电子能谱(XPS)是最常用的表面分析技术之一,在材料的摩擦化学、摩擦和磨损机理以及材料失效等研究方面发挥着重要作用.本文综述了XPS的基本原理、设备构成、分析特点及在润滑油添加剂的吸附与反应、聚合物填料、气相润滑和离子... X射线光电子能谱(XPS)是最常用的表面分析技术之一,在材料的摩擦化学、摩擦和磨损机理以及材料失效等研究方面发挥着重要作用.本文综述了XPS的基本原理、设备构成、分析特点及在润滑油添加剂的吸附与反应、聚合物填料、气相润滑和离子液体等摩擦化学研究中的应用,希望为摩擦学者在表面分析方法方面提供一些新的启示. 展开更多
关键词 x射线光电子能谱(xps) 表面分析 新生面 摩擦化学
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X射线光电子能谱(XPS)在变性淀粉表面基团分布研究中的应用 被引量:5
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作者 尹诗衡 黄强 《粮食与饲料工业》 CAS 北大核心 2007年第6期28-29,32,共3页
详述了X射线光电子能谱(XPS)工作的基本原理,测定变性淀粉基团在淀粉颗粒表面分布的样品预处理方法,以及在酯化、醚化、接枝共聚改性淀粉基团分布分析中的应用,并对XPS在变性淀粉基团分布分析前景进行了展望。
关键词 变性淀粉 x射线光电子能谱(xps) 取代基团
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二氧化硅吸附铝离子的X射线光电子能谱(XPS)表征 被引量:8
7
作者 杨杰文 许良珠 +1 位作者 蒋新 徐仁扣 《光谱实验室》 CAS CSCD 2005年第3期666-668,共3页
用X射线光电子能谱技术研究了不同pH条件下二氧化硅对铝离子的吸附作用。在pH分别为3.74、4.25和4.88条件下,吸附在二氧化硅表面的铝离子的Al2p电子结合能依次为74.30、74.90、75.10eV。根据Al3+在水溶液中的一级水解常数pK1=4.99,认为... 用X射线光电子能谱技术研究了不同pH条件下二氧化硅对铝离子的吸附作用。在pH分别为3.74、4.25和4.88条件下,吸附在二氧化硅表面的铝离子的Al2p电子结合能依次为74.30、74.90、75.10eV。根据Al3+在水溶液中的一级水解常数pK1=4.99,认为在pH=3.74条件下,吸附在二氧化硅表面的铝离子的形态为Al3+,而在其余两种pH条件下表面铝离子的形态为Al(OH)2+。 展开更多
关键词 铝离子 吸附 x射线光电子能谱
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表面光电子能谱(XPS)及其在木材科学与技术领域的应用 被引量:24
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作者 杜官本 《木材工业》 北大核心 1999年第3期17-20,29,共5页
表面光电子能谱分析是固体木材及纤维表面化学组成分析最有效及最灵敏的工具之一。本文简要介绍表面光电子能谱的基本原理、分析方法、木材表面化学组成基本特征以及表面光电子能谱在木材科学与技术领域的应用。
关键词 表面光电子能谱 木材科学 xps 木材学 表面化学
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X射线光电子能谱仪应用于本科实验教学的实践 被引量:1
9
作者 赵颖 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2023年第10期211-215,共5页
X射线光电子能谱(XPS)是先进的表面分析技术,将其应用于本科实验教学中,有助于拓宽学生的专业视野,提升其科研素养。在开展实验教学过程中,通过精选实验内容,优化实验教学流程,使得学生有效掌握XPS的工作原理及知识要点;以学生为中心灵... X射线光电子能谱(XPS)是先进的表面分析技术,将其应用于本科实验教学中,有助于拓宽学生的专业视野,提升其科研素养。在开展实验教学过程中,通过精选实验内容,优化实验教学流程,使得学生有效掌握XPS的工作原理及知识要点;以学生为中心灵活调整教学方式,引导学生转换角色,激发其内在学习动力,从而增强分析问题和解决问题的能力。 展开更多
关键词 x射线光电子能谱 实验教学 教学流程 角色转换
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X射线光电子能谱(XPS) 被引量:14
10
作者 俞宏坤 《上海计量测试》 2003年第4期45-47,共3页
在对许多材料的研究和应用中,了解其表面特性是很重要的.而要获得材料的表面特性,就需要一些特殊的仪器,对各种材料从成分和结构上进行表面表征.其中,X射线光电子能谱(XPS)由于其对材料表面化学特性的高度识别能力,成为材料表面分析的... 在对许多材料的研究和应用中,了解其表面特性是很重要的.而要获得材料的表面特性,就需要一些特殊的仪器,对各种材料从成分和结构上进行表面表征.其中,X射线光电子能谱(XPS)由于其对材料表面化学特性的高度识别能力,成为材料表面分析的一种重要技术手段. 展开更多
关键词 x射线光电子能谱 xps 表面特性 表面分析 光电效应 能量分布
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X射线光电子能谱(XPS)中的“鬼线”
11
作者 陈红 赵纯培 +1 位作者 祝晓红 左长明 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期241-243,共3页
作者论述了在X射线光电子能谱(XPS)中“鬼线”产生的机制,“鬼线”的特征及其鉴别方法;提出了在XPS分析中减少或克服“鬼线”干扰的相应措施。
关键词 x射线 光电子能谱 阳极靶 xps 鬼线
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贵州岩溶地区红土中方解石表面化学的X射线光电子谱(XPS)研究 被引量:1
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作者 朱立军 《贵州工学院学报》 1996年第2期26-29,共4页
应用X射线光电子谱(XPS)技术,研究了贵州岩溶地区红土中方解石及氧化铁矿物表面化学特征及吸附机理。方解石及氧化铁矿物表面XPS图及碳元素结合能区域的高分辨XPS分析表明,方解石及氧化铁矿物表面和整体之间在化学成分、... 应用X射线光电子谱(XPS)技术,研究了贵州岩溶地区红土中方解石及氧化铁矿物表面化学特征及吸附机理。方解石及氧化铁矿物表面XPS图及碳元素结合能区域的高分辨XPS分析表明,方解石及氧化铁矿物表面和整体之间在化学成分、状态和结构方面存在明显差异。矿物表面的这种非均匀性特征,是矿物表面化学反应的重要动力学起因。方解石及氧化铁矿物等地表矿物表面对元素的选择性吸附和解吸作用的表面化学反应是造成岩溶环境中许多元素迁移、富集及污染的重要机理。 展开更多
关键词 方解石 表面化学 x射线光电子 贵州
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X射线光电子能谱在镁合金研究中的应用 被引量:1
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作者 乐韵琳 冯均利 +3 位作者 庞兴志 佘加 杨文超 湛永钟 《中国无机分析化学》 CAS 北大核心 2023年第10期1065-1076,共12页
X射线光电子能谱技术作为一种十分有效且应用广泛的表面分析技术,在镁合金领域尤其是解决其表面腐蚀、氧化等问题上具有独特的优势。介绍了近年来X射线光电子能谱在镁合金研究中的应用,阐述了X射线光电子能谱在镁合金的元素组成与含量... X射线光电子能谱技术作为一种十分有效且应用广泛的表面分析技术,在镁合金领域尤其是解决其表面腐蚀、氧化等问题上具有独特的优势。介绍了近年来X射线光电子能谱在镁合金研究中的应用,阐述了X射线光电子能谱在镁合金的元素组成与含量、化学态分析及关键组分分析中的应用,从而表明其在镁合金材料表面性质分析及腐蚀、磨损机理研究方面的重要作用,并就其应用前景提出了展望。 展开更多
关键词 x射线光电子能谱(xps) 镁合金 表面分析 表征 涂层分析
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X射线光电子能谱仪的规范化管理与维护 被引量:1
14
作者 陈英军 吴昊宬 夏炎 《实验室科学》 2023年第5期174-177,共4页
X射线光电子能谱仪(XPS)是进行表面分析的大型精密仪器,可表征材料表面元素种类、化学态和相对含量。为了保障仪器的良好运行,提高开放共享,以及保证所测试数据的可靠性,XPS日常应该科学规范化管理。资质认定管理体系中对设备管理的要求... X射线光电子能谱仪(XPS)是进行表面分析的大型精密仪器,可表征材料表面元素种类、化学态和相对含量。为了保障仪器的良好运行,提高开放共享,以及保证所测试数据的可靠性,XPS日常应该科学规范化管理。资质认定管理体系中对设备管理的要求,使得XPS的管理有章可循。此外,XPS结构复杂,又是超高真空仪器,要正常运转,需要精心维护其真空系统、冷却系统和气路系统等。 展开更多
关键词 x射线光电子能谱仪(xps) 规范化管理 资质认定 维护
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X线光电子能谱法(XPS)对环渤海地区尿路结石成分的分析 被引量:1
15
作者 赵华章 吴非 《中国医学工程》 2015年第8期153-153,共1页
目的通过X线光电子能谱法(XPS)测定环渤海地区尿路结石中的元素组成,并分析标本中的元素和价态分布,确定结石成分,期望能够在尿石诊断、治疗和预防方面提供参考依据。方法回顾性分析1997年9月-2012年6月期间环渤海地区尿路结石样本1289... 目的通过X线光电子能谱法(XPS)测定环渤海地区尿路结石中的元素组成,并分析标本中的元素和价态分布,确定结石成分,期望能够在尿石诊断、治疗和预防方面提供参考依据。方法回顾性分析1997年9月-2012年6月期间环渤海地区尿路结石样本1289例,对其进行光电子能谱检测。结果除2例成分不明外,1287例中含钙结石1175例(91.3%),含草酸钙结石1102例(85.6%),纯草酸钙结石325例(25.3%),含碳酸磷灰石结石800例(62.2%),含六水磷酸镁铵结石56例(4.4%),鸟粪石49例(3.8%),无水尿酸结石107例(8.3%),含尿酸及尿酸盐成分结石163例(12.7%)。结论环渤海地区结石成分以混合态的草酸钙和碳酸磷灰石为主;尿酸及尿酸盐结石发病率高于国内水平,考虑与多食或生食海产品或与肥胖有关,也可能与局部海水倒灌所致饮用水中氯离子增高有关。 展开更多
关键词 x线光电子能谱 尿路结石 成分分析 环渤海地区
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月岩(70017—291)的X光电子能谱(XPS)初步研究 被引量:1
16
作者 陈德玉 张永福 +1 位作者 江绍猷 吕国栋 《地球化学》 CAS 1980年第4期428-432,共5页
Using X-ray photoemission spectroscopy (XPS), the Preliminary results on the lunar basalt sample (70017-291)are shown in the paper. Major elements (O, Si,Al, Fe, Ca, Mg, Ti, etc.) of the lunar sample are similar to th... Using X-ray photoemission spectroscopy (XPS), the Preliminary results on the lunar basalt sample (70017-291)are shown in the paper. Major elements (O, Si,Al, Fe, Ca, Mg, Ti, etc.) of the lunar sample are similar to that of the Jilin meteorite and the Allende meteorite. The valence of iron in the sample has also been studied in detail. The authors suggest that Fe^++ may be differentiated from Fe^+++ in the XPS spectra in terms of the satellite lines of Fe(2p3/2). 展开更多
关键词 月球探测 岩石 中子活化分析 微量元素 x光电子能谱
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正负压一体式无空气X射线光电子能谱原位转移仓的开发及研制
17
作者 章小余 赵志娟 +1 位作者 袁震 刘芬 《分析测试技术与仪器》 CAS 2023年第1期30-36,共7页
针对空气敏感材料的表面分析,为了获得更加真实的表面组成与结构信息,需要提供一个可以保护样品从制备完成到分析表征过程中不接触大气环境的装置.通过使用O圈密封和单向密封柱,提出一种简便且有效的设计概念,自主研制了正负压一体式无... 针对空气敏感材料的表面分析,为了获得更加真实的表面组成与结构信息,需要提供一个可以保护样品从制备完成到分析表征过程中不接触大气环境的装置.通过使用O圈密封和单向密封柱,提出一种简便且有效的设计概念,自主研制了正负压一体式无空气X射线光电子能谱(XPS)原位转移仓,用于空气敏感材料的XPS测试,利用单向密封柱实现不同工作需求下正负压两种模式的任意切换.通过对空气敏感的金属Li片和CuCl粉末进行XPS分析表明,采用XPS原位转移仓正压和负压模式均可有效避免样品表面接触空气,保证测试结果准确可靠,而且采用正压密封方式转移样品可以提供更长的密封时效性.研制的原位转移仓具有设计小巧、操作简便、成本低、密封效果好的特点,适合给有需求的用户开放使用. 展开更多
关键词 空气敏感 x射线光电子能谱 原位转移 正负压一体式
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基于X射线光电子能谱的绝缘栅双极型晶体管失效分析
18
作者 章小余 赵志娟 +2 位作者 刘芬 徐鹏 屈宝龙 《分析测试技术与仪器》 CAS 2023年第4期352-356,共5页
绝缘栅双极晶体管(IGBT)作为功率变流器的核心器件,其稳定状态在一定程度上决定了整个功率变流器的可靠性.国内某公司生产的一款IGBT模块在使用中出现过电压应力失效而被击穿,将其拆封后发现模块内部存在黑色枝状物,采用X射线光电子能谱... 绝缘栅双极晶体管(IGBT)作为功率变流器的核心器件,其稳定状态在一定程度上决定了整个功率变流器的可靠性.国内某公司生产的一款IGBT模块在使用中出现过电压应力失效而被击穿,将其拆封后发现模块内部存在黑色枝状物,采用X射线光电子能谱法(XPS)对其进行失效分析,发现黑色枝状物的组成为金属硫化物及硫酸盐.通过元素定性、定量与化学态分析为模块实际应用中的失效机制提供了科学指导.进一步结合XPS数据结果详细分析了可能的硫物种污染来源,并针对器件封装材料和使用环境提出了改进和预防措施. 展开更多
关键词 x射线光电子能谱 失效分析 绝缘栅双极晶体管 硫化
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结合高分辨率X射线光电子能谱和拉曼散射研究Ge_(x)Ga_(8)S_(92-x)玻璃结构 被引量:1
19
作者 许思维 王训四 沈祥 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期238-245,共8页
本文在固定Ga原子含量为8%的情况下,结合高分辨率X射线光电子能谱和拉曼散射光谱对硫系玻璃Ge_(x)Ga_(8)S_(92-x)(x=24%,26.67%,29.6%,32%和36%)的结构进行了研究.通过分析玻璃结构中各单元结构的演变情况,发现玻璃内部网络结构主要为S... 本文在固定Ga原子含量为8%的情况下,结合高分辨率X射线光电子能谱和拉曼散射光谱对硫系玻璃Ge_(x)Ga_(8)S_(92-x)(x=24%,26.67%,29.6%,32%和36%)的结构进行了研究.通过分析玻璃结构中各单元结构的演变情况,发现玻璃内部网络结构主要为S原子桥接GeS_(4)和GaS_(4)四面体结构.随着Ge含量的逐渐增大,S链状或环状结构单元迅速减少,并消失于Ge_(26.67)Ga_(8)S_(65.33)玻璃组分中;而类乙烷结构S_(3)Ge-GeS_(3)中的Ge—Ge同极键和S_(3)Ge/Ga-Ga/GeS_(3)结构中的M—M(Ge—Ge,Ga—Ga或Ge—Ga)同极键同时出现于Ge_(29.6)Ga_(8)S_(62.4)玻璃中,并且其结构数量随着Ge含量的增大而逐渐增加.由此可以判定,首先,在硫系玻璃Ge_(x)Ga_(8)S_(92-x)结构中Ge和Ga原子均主要以4配位的形式出现,而S原子则主要以2配位的形式出现.其次,M—M键的存在导致纳米相分离,玻璃网络结构的有序化程度降低. 展开更多
关键词 硫系玻璃 结构 x射线光电子能谱 拉曼散射
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XPS光电子峰和俄歇电子峰峰位表 被引量:53
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作者 刘芬 赵志娟 +1 位作者 邱丽美 赵良仲 《分析测试技术与仪器》 CAS 2009年第1期1-17,共17页
在长期从事XPS分析测试的经验基础上,搜集了有关文献中的大量数据,编制了XPS光电子峰和俄歇电子峰峰位表,用于正确识别各种样品XPS谱图中的电子峰,达到快速、正确分析各种样品元素组成和化学组成的目的.本峰位表对于从事XPS测试的分析... 在长期从事XPS分析测试的经验基础上,搜集了有关文献中的大量数据,编制了XPS光电子峰和俄歇电子峰峰位表,用于正确识别各种样品XPS谱图中的电子峰,达到快速、正确分析各种样品元素组成和化学组成的目的.本峰位表对于从事XPS测试的分析人员和应用XPS的科技人员具有很好的实用价值. 展开更多
关键词 x射线光电子能谱 元素组成分析 化学态分析
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