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硫氰酸盐吸光光度法与XRF光谱分析法钼矿石品位检测的对比分析
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作者 徐森民 《科技创新导报》 2012年第22期17-17,共1页
本文根据河南省三道庄钼矿实际情况,通过对硫氰酸盐吸光光度法检测钼元素品位进行介绍和美国热电公司(Thermo Fisher)生产的Quant’X型XRF荧光能谱仪为例对XRF光谱法检测钼元素品位进行介绍,根据生产实例加以比较分析,为矿山生产化验提... 本文根据河南省三道庄钼矿实际情况,通过对硫氰酸盐吸光光度法检测钼元素品位进行介绍和美国热电公司(Thermo Fisher)生产的Quant’X型XRF荧光能谱仪为例对XRF光谱法检测钼元素品位进行介绍,根据生产实例加以比较分析,为矿山生产化验提供快速、可靠的技术依据。 展开更多
关键词 硫氰酸盐吸光光度 xrf光谱分析法 钼矿石品位检测 对比分析
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真空烤盘炉研制及石墨盘清洁效果检测方法
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作者 马昊鹏 张革 +3 位作者 邓蕊 杜程 陈世斌 谢力 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第4期353-357,共5页
在金属有机化学气相沉积(MOCVD)外延生长过程中作为衬底片承载器的石墨盘表面不可避免地会附着GaN、AlN等残留沉积物,其会导致外延生长异常甚至失败,因此石墨盘表面清洁十分重要。介绍了所研制真空烤盘炉的结构、功能以及烤盘工艺,并提... 在金属有机化学气相沉积(MOCVD)外延生长过程中作为衬底片承载器的石墨盘表面不可避免地会附着GaN、AlN等残留沉积物,其会导致外延生长异常甚至失败,因此石墨盘表面清洁十分重要。介绍了所研制真空烤盘炉的结构、功能以及烤盘工艺,并提出一种利用X射线荧光(XRF)光谱分析法量化盘面清洁效果的方法。以单片6英寸(1英寸≈2.54 cm)衬底片的石墨盘为例,利用XRF光谱分析方法对石墨盘清洁前后的盘面元素组成进行测试,结果显示XRF光谱分析法可准确且稳定地表征石墨盘清洁效果,并且该真空烤盘炉可几乎完全清除石墨盘表面Ga的化合物,为石墨烤盘工艺和行业制定石墨盘清洁的合格标准提供参考。 展开更多
关键词 真空烤盘炉 石墨盘 清洁效果 X射线荧光(xrf)光谱分析 GaN ALN
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