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Y_(2)O_(3)含量对TC4表面WC增强钛基激光熔覆层组织与摩擦学性能的影响
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作者 操慧珺 张祺雨 +2 位作者 张天刚 甄灏 张志强 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第19期126-140,共15页
目的增加航空TC_(4)合金的安全服役寿命。方法采用同轴送粉激光熔覆技术在其表面制备了TC_(4)+Ni-MoS_(2)+WC+xY_(2)O_(3)(x=0%、1%、2%、3%、4%,质量分数)耐磨复合涂层,利用着色渗透探伤、XRD、SEM、EDS、EBSD和TEM等多种检测手段和设... 目的增加航空TC_(4)合金的安全服役寿命。方法采用同轴送粉激光熔覆技术在其表面制备了TC_(4)+Ni-MoS_(2)+WC+xY_(2)O_(3)(x=0%、1%、2%、3%、4%,质量分数)耐磨复合涂层,利用着色渗透探伤、XRD、SEM、EDS、EBSD和TEM等多种检测手段和设备,分析了Y_(2)O_(3)添加对涂层组织与摩擦学性能的影响规律。结果3%Y_(2)O_(3)涂层的成形质量最优,所有涂层生成相相同,主要由TiC、Ti_(2)Ni、Ti_(2)S、基体β-Ti以及未熔WC组成。Y_(2)O_(3)与TiC、Ti_(2)S、Ti_(2)Ni之间形成了共格依附生长关系,所有涂层中均有效合成了TiC-Ti_(2)S、TiC-Ti_(2)Ni和Ti_(2)S-Ti_(2)Ni共格复合结构相。随着Y_(2)O_(3)含量增大,基体显露面积增加,其余物相逐步细化、团聚并沿晶界连续生长。所有涂层的显微硬度均高于TC_(4)基材,大小与Y_(2)O_(3)含量呈负相关变化。所有涂层的摩擦因数均高于基材,磨损率均低于基材,摩擦因数和磨损率随着Y_(2)O_(3)含量增加,出现了先降低后升高的变化规律,其中3%Y_(2)O_(3)涂层的摩擦因数最低(μ=0.4813),耐磨性(3.55×10^(4)mm^(3)/(N·m))和磨损面质量(Ra=21.24μm)最优。结论适量Y_(2)O_(3)有助于改善涂层的成形质量,Y_(2)O_(3)添加并未影响涂层物相种类,且可作为异质形核基底细化相互依附生长的TiC-Ti_(2)S-Ti_(2)Ni共格结构相,除基体相外,Y_(2)O_(3)易吸引其余物相在涂层晶界处钉扎;Y_(2)O_(3)含量增加不能增大涂层显微硬度,所有涂层均不具备减摩性能,但耐磨性均优于TC_(4)基材,适量Y_(2)O_(3)添加可使涂层综合摩擦学性能达到最优。 展开更多
关键词 激光熔覆 TC4 y2o3 微观组织 细化机理 摩擦学性能
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Y_2O_3-SnO_2常温气敏薄膜的Sol-Gel制备及性能研究 被引量:5
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作者 方国家 刘祖黎 +3 位作者 吉向东 王汉忠 黄宜军 姚凯伦 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期69-74,共6页
以无机盐SnCl2·2H2O,Y(NO3)3·6H2O为原料,无水乙醇为溶剂,采用溶胶-凝胶工艺制备了Y2O3掺杂的SnO2薄膜.采用差热-失重分析研究了Y2O3掺杂的SnO2干凝胶粉末的热分解、晶化过程.研... 以无机盐SnCl2·2H2O,Y(NO3)3·6H2O为原料,无水乙醇为溶剂,采用溶胶-凝胶工艺制备了Y2O3掺杂的SnO2薄膜.采用差热-失重分析研究了Y2O3掺杂的SnO2干凝胶粉末的热分解、晶化过程.研究了Y2O3-SnO2薄膜的电学和气敏性能.从实验中得到了Y2O3掺杂份量对SnO2薄膜电学及气敏性能的影响.实验表明Y2O3掺杂的SnO2薄膜在常温下对NOx具有较好的灵敏度和选择性,并具有较好的响应恢复性能;在常温下对H2S气体也具有一定的灵敏度. 展开更多
关键词 sol-gel工艺 y2o3-sno2薄膜 制备 气敏元件
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溶胶-凝胶法制备的Y_2O_3薄膜的光波导性质研究 被引量:10
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作者 郭海 张慰萍 +3 位作者 楼立人 余申伟 董宁 MugnierJ 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第6期511-514,共4页
用醋酸钇溶解于甲氧基乙醇的溶胶 凝胶法制备了Y2 O3光波导薄膜。通过二乙烯三胺的络合作用 ,获得了均匀和稳定的前驱液 ,并用浸渍提拉法得到了薄膜。差热分析、红外吸收光谱被用来表征Y2 O3凝胶和粉末。用XRD、扫描电子显微镜、m线法... 用醋酸钇溶解于甲氧基乙醇的溶胶 凝胶法制备了Y2 O3光波导薄膜。通过二乙烯三胺的络合作用 ,获得了均匀和稳定的前驱液 ,并用浸渍提拉法得到了薄膜。差热分析、红外吸收光谱被用来表征Y2 O3凝胶和粉末。用XRD、扫描电子显微镜、m线法和波导荧光光谱法研究了Y2 O3光波导薄膜的结构和光波导性质。结果表明 ,Y2 O3薄膜对于光活性掺杂是一种很好的基质材料 ,预示Y2 O3薄膜在光电子方面具有巨大的应用前景。 展开更多
关键词 稀土 溶胶-凝胶法 y2o3 光波导薄膜 氧化钇 制备 光波导性质 掺杂
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Y_2O_3稳定ZrO_2薄膜的结构和光学特性 被引量:4
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作者 吴师岗 张红鹰 +3 位作者 夏志林 田光磊 邵建达 范正修 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1092-1096,共5页
用电子束蒸发法制备出四种不同Y2O3含量的Y2O3稳定ZrO2(YSZ)薄膜,用X射线衍射和透射光谱测定薄膜的结构和光学性能.结果表明:随着Y2O3含量的增加,ZrO2薄膜从单斜相向高温相(四方相和立方相)转变,获得了结构稳定的YSZ薄膜;YSZ薄膜的晶粒... 用电子束蒸发法制备出四种不同Y2O3含量的Y2O3稳定ZrO2(YSZ)薄膜,用X射线衍射和透射光谱测定薄膜的结构和光学性能.结果表明:随着Y2O3含量的增加,ZrO2薄膜从单斜相向高温相(四方相和立方相)转变,获得了结构稳定的YSZ薄膜;YSZ薄膜的晶粒尺寸都比ZrO2薄膜的大,但随着Y2O3加入量的增加,晶粒尺寸有减小的趋势,薄膜表面也趋向光滑平整.所有YSZ薄膜的透射谱线都与ZrO2薄膜相似,在可见光和红外光区都有较高的透过率.Y2O3的加入还可以改变薄膜的折射率,在一定范围内可得到所需的任意折射率. 展开更多
关键词 ySZ薄膜 y2o3含量 结构 光性
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基于YBa_2Cu_3O_7薄膜的超导故障限流器设计与试验分析 被引量:7
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作者 王晨 张晓锋 +2 位作者 庄劲武 许瀚 杨锋 《电力自动化设备》 EI CSCD 北大核心 2008年第4期103-107,共5页
针对直流电力系统短路电流分断困难的问题,提出了基于YBa2Cu3O7薄膜的电阻型超导故障限流器(SFCL)保护方案,设计了300V/200A的SFCL模型机。试验分析了不同的电源电压、负载电感和负载电阻等系统参数对薄膜限流效果及失超特性的影响。试... 针对直流电力系统短路电流分断困难的问题,提出了基于YBa2Cu3O7薄膜的电阻型超导故障限流器(SFCL)保护方案,设计了300V/200A的SFCL模型机。试验分析了不同的电源电压、负载电感和负载电阻等系统参数对薄膜限流效果及失超特性的影响。试验表明,YBa2Cu3O7薄膜能在短路电流到达临界电流Ic后准确动作,并在0.1ms时间里将短路电流峰值限制在2Ic以内。随着电源电压的增加,薄膜的失超传播速度和失超电阻值迅速增加。推导出限流器重要指标Umax、Imax与线路参数(L、R、Ue)、材料特性(Ic)的数值关系。 展开更多
关键词 yBa2Cu3o7薄膜 超导故障限流器 直流电力系统 短路
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Y_2O_3薄膜处理对3Cr25Ni7N合金的抗高温氧化性能的影响 被引量:5
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作者 马静 何业东 +1 位作者 王俊 孙宝德 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期765-768,共4页
采用电沉积-热解法在3Cr25Ni7N合金表面制备了Y2O3薄膜,并研究了薄膜处理对合金在1000℃空气中的抗高温氧化性能的影响。氧化动力学曲线、SEM及XRD分析结果表明,Y2O3薄膜处理使合金表面氧化膜以尖晶石结构为主,氧化膜致密,有效地抑制了C... 采用电沉积-热解法在3Cr25Ni7N合金表面制备了Y2O3薄膜,并研究了薄膜处理对合金在1000℃空气中的抗高温氧化性能的影响。氧化动力学曲线、SEM及XRD分析结果表明,Y2O3薄膜处理使合金表面氧化膜以尖晶石结构为主,氧化膜致密,有效地抑制了Cr2O3的挥发反应,且氧化膜与基体的附着性好,因此合金在高温下的抗氧化性能得到提高,这与氧化钇薄膜在较低温度下抗高温氧化性能提高的机制是不同的。在不同温度下,Y2O3薄膜处理均可以有效提高合金的抗高温氧化性能。 展开更多
关键词 y2o3薄膜 抗高温氧化 3Cr25Ni7N合金 电沉积-热解法 稀土
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1Cr13合金沉积Y_2O_3薄膜后的高温氧化行为 被引量:4
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作者 马静 何业东 +1 位作者 王俊 孙宝德 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2008年第7期21-22,44,共3页
为了研究Y2O3薄膜处理对1Cr13合金的高温氧化行为的影响,采用电沉积-热解法在1Cr13合金表面制备了Y2O3薄膜,并研究了薄膜处理后合金在800℃空气中的氧化动力学曲线,并进行了SEM及XRD分析。经100h循环氧化后沉积薄膜试样表面生成了晶体... 为了研究Y2O3薄膜处理对1Cr13合金的高温氧化行为的影响,采用电沉积-热解法在1Cr13合金表面制备了Y2O3薄膜,并研究了薄膜处理后合金在800℃空气中的氧化动力学曲线,并进行了SEM及XRD分析。经100h循环氧化后沉积薄膜试样表面生成了晶体状的氧化铬,氧化增重和氧化膜剥落量显著下降,分别为空白试样的0.39和0.11。沉积薄膜的作用在于在氧化初期为氧化膜提供了优先形核的位置,改变了氧化铬中的传输机制和应力状态,促进了合金的选择氧化,生成了保护性的氧化膜。因此,Y2O3薄膜处理能显著提高1Cr13合金的抗高温氧化性能。 展开更多
关键词 y2o3薄膜 高温氧化 1Crl3合金 选择氧化
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立方Y_2O_3薄膜结构、力学及光学性能的研究 被引量:3
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作者 王猛 李成明 +4 位作者 朱瑞华 刘金龙 陈良贤 魏俊俊 黑立富 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期25-30,共6页
采用射频磁控溅射法在本征(100)Si片上和CVD金刚石膜上制备了立方(222)择优取向的Y2O3薄膜,应用AFM观察薄膜的三维形貌表明薄膜表面晶粒致密,缺陷较少,表面粗糙度为8.7nm;TEM表征薄膜微观结构,表明薄膜为柱状晶结构,柱状晶宽... 采用射频磁控溅射法在本征(100)Si片上和CVD金刚石膜上制备了立方(222)择优取向的Y2O3薄膜,应用AFM观察薄膜的三维形貌表明薄膜表面晶粒致密,缺陷较少,表面粗糙度为8.7nm;TEM表征薄膜微观结构,表明薄膜为柱状晶结构,柱状晶宽度10~20nm,而且晶界明显,部分较大晶粒中存在些许位错缺陷;纳米力学探针和划痕仪表征薄膜的力学性能,表明薄膜硬度为20.73GPa,弹性模量为227.5GPa,可作为金刚石膜的抗氧化保护膜,并且与金刚石膜的结合较好,结合力约为5N;FTIR对薄膜的光学性能进行分析,表明双面立方Y20,薄膜对金刚石膜的最大增透为23%,基本符合Y2O3的理论增透效果。 展开更多
关键词 y2o3薄膜 射频磁控 缺陷
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Y_2O_3和Nd_2O_3介孔薄膜的制备与表征 被引量:2
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作者 王彤文 刘玲 +4 位作者 刘伟平 马子鹤 杨智 段爱红 阮琼 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期2026-2029,共4页
以聚乙烯合丁烯-嵌-聚氧乙烯嵌段共聚物(PHB-PEO)作模板,采用蒸发诱导自组装方法,分别制备了Y2O3和Nd2O3介孔薄膜.用小角、广角X射线衍射和透射电子显微镜对薄膜样品在不同的热处理阶段进行了表征.结果表明,所制备的Y2O3和Nd2O3薄膜样... 以聚乙烯合丁烯-嵌-聚氧乙烯嵌段共聚物(PHB-PEO)作模板,采用蒸发诱导自组装方法,分别制备了Y2O3和Nd2O3介孔薄膜.用小角、广角X射线衍射和透射电子显微镜对薄膜样品在不同的热处理阶段进行了表征.结果表明,所制备的Y2O3和Nd2O3薄膜样品呈现一种大孔径(平均孔径分别约为11.5和12.5nm)、有序的立方扭曲球形孔排列、稳定于450℃并具有部分晶态孔壁结构的介孔薄膜材料. 展开更多
关键词 y2o3 ND2o3 介孔薄膜 嵌段共聚物模板 蒸发诱导自组装
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Y_2O_3溶胶复合薄膜的抗近红外/紫外性能研究 被引量:4
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作者 朱超 官文超 +1 位作者 曹远美 龙华 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期21-23,共3页
以表面具有螫合官能团的高分子材料Poly(BA-co-GMA-IDA)为高分子液体模板,制备了Y2O3功能性溶胶复合薄膜。测试结果显示,Y2O3功能性混和溶胶薄膜具有优异的抗近红外/紫外性能,其薄膜对320nm以下的中短紫外光阻隔率〉97%(300nm... 以表面具有螫合官能团的高分子材料Poly(BA-co-GMA-IDA)为高分子液体模板,制备了Y2O3功能性溶胶复合薄膜。测试结果显示,Y2O3功能性混和溶胶薄膜具有优异的抗近红外/紫外性能,其薄膜对320nm以下的中短紫外光阻隔率〉97%(300nm以后可完全隔绝紫外),对320-380nm的长波紫外线的阻隔率也〉60%;近红外阻隔率可以达到70%以上。以高分子模板制备复合薄膜的抗近红外/紫外性能明显优于未用高分子模板制备的同类型薄膜。 展开更多
关键词 y2o3溶胶复合薄膜 抗近红外/紫外性能 无皂乳液聚合 高分子模板
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金刚石自支撑膜衬底生长立方Y_2O_3薄膜的性能 被引量:2
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作者 王猛 李成明 +5 位作者 陈良贤 刘金龙 郭建超 魏俊俊 黑立富 吕反修 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期177-181,共5页
采用射频磁控溅射法在抛光的CVD金刚石膜上制备了立方(222)择优取向的Y2O3薄膜,利用XRD,纳米力学探针,划痕仪,FTIR和TEM等手段研究了退火对Y2O3薄膜的结构、力学性能和红外透过率的影响及Y2O3的微观结构。结果表明:通过退火Y2O3薄膜的... 采用射频磁控溅射法在抛光的CVD金刚石膜上制备了立方(222)择优取向的Y2O3薄膜,利用XRD,纳米力学探针,划痕仪,FTIR和TEM等手段研究了退火对Y2O3薄膜的结构、力学性能和红外透过率的影响及Y2O3的微观结构。结果表明:通过退火Y2O3薄膜的结晶程度增加,退火后的择优取向仍为立方相(222)晶面结构;薄膜的硬度降低而弹性模量升高,薄膜与金刚石的结合力增加;薄膜的红外透过率略有降低;薄膜为柱状晶结构并存在大量非晶态。 展开更多
关键词 CVD金刚石 y2o3 退火 力学性能 红外透过
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室温下锰掺杂Y(OH)_(3)/Fe_(2)O_(3)复合材料对甲醛气体传感特性的研究
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作者 阿尔孜古・许克尔 李锦 《新疆大学学报(自然科学版)(中英文)》 CAS 2023年第1期61-68,共8页
采用水热法合成了一种锰掺杂Y(OH)_(3)/Fe_(2)O_(3)的高性能甲醛传感器.通过XRD、SEM、EDS和XPS分析了锰掺杂Y(OH)_(3)/Fe_(2)O_(3)复合材料的结构、形貌以及组成成分.通过表征结果发现,锰元素掺杂Y(OH)_(3)/Fe_(2)O_(3)使得Y(OH)_(3)/F... 采用水热法合成了一种锰掺杂Y(OH)_(3)/Fe_(2)O_(3)的高性能甲醛传感器.通过XRD、SEM、EDS和XPS分析了锰掺杂Y(OH)_(3)/Fe_(2)O_(3)复合材料的结构、形貌以及组成成分.通过表征结果发现,锰元素掺杂Y(OH)_(3)/Fe_(2)O_(3)使得Y(OH)_(3)/Fe_(2)O_(3)颗粒分布更加均匀,表面氧空位缺陷增多,有可能提供更多的活性位点来吸附甲醛气体,增强了锰掺杂Y(OH)_(3)/Fe_(2)O_(3)的气敏性能.气敏测试结果表明:基于锰掺杂Y(OH)_(3)/Fe_(2)O_(3)复合材料的甲醛传感器相比Y(OH)_(3)/Fe_(2)O_(3)不仅具有高灵敏度和良好的选择性,而且能够在室温下表现出快速的响应和恢复特性.最后讨论了锰掺杂Y(OH)_(3)/Fe_(2)O_(3)对甲醛气敏性增强的传感机制,进一步说明基于锰掺杂Y(OH)_(3)/Fe_(2)O_(3)复合材料的甲醛传感器在实际应用中的潜在价值. 展开更多
关键词 锰掺杂y(oH)3/Fe2o3 室温 快速响应 气敏传感性能
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溶胶-凝胶法制备YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜的研究 被引量:2
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作者 陈源清 赵高扬 +2 位作者 薛人中 严复学 李颖 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1423-1425,1428,共4页
传统的TFA-MOD法制备YBa2Cu3O7-x薄膜,采用Y、Ba、Cu 3种金属的三氟醋酸盐(TFA)为先驱体,在热分解时,会产生大量的HF气体,即使通过将近20h的缓慢升温过程来对薄膜进行热分解,也难以获得较为光洁的表面,从而无法实现厚膜的制备。本文提... 传统的TFA-MOD法制备YBa2Cu3O7-x薄膜,采用Y、Ba、Cu 3种金属的三氟醋酸盐(TFA)为先驱体,在热分解时,会产生大量的HF气体,即使通过将近20h的缓慢升温过程来对薄膜进行热分解,也难以获得较为光洁的表面,从而无法实现厚膜的制备。本文提出了一种新的含氟溶胶-凝胶工艺,通过减少溶胶中F的含量,并利用二乙醇胺做修饰剂,缩短了热分解时间,提高了薄膜的表面光洁度。利用该方法在(010)LaAlO3衬底上制备了具有良好c轴取向,临界转变温度为89K的YBCO超导薄膜。 展开更多
关键词 yBA2CU3o7-X TFA 薄膜
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Y2O3薄膜的制备以及抗划伤性能和摩擦学性能研究 被引量:2
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作者 杨生荣 王金清 刘晓红 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2004年第07B期97-99,共3页
采用自组装成膜技术制备Y2O3薄膜。利用XPS、XRD和AFM分析表征了薄膜的组成和结构。结果发现淀积在基片上的Y2O3薄膜比较致密、均匀且牢固性好。摩擦磨损实验表明:利用该方法制备的Y2O3薄膜经600℃烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度... 采用自组装成膜技术制备Y2O3薄膜。利用XPS、XRD和AFM分析表征了薄膜的组成和结构。结果发现淀积在基片上的Y2O3薄膜比较致密、均匀且牢固性好。摩擦磨损实验表明:利用该方法制备的Y2O3薄膜经600℃烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层。 展开更多
关键词 自组装薄膜 y2o3薄膜 抗划伤性能 摩擦学性能
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磁控溅射法制备YBa_2Cu_3O_(7-x)双面超导薄膜 被引量:2
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作者 王小平 刘援 +4 位作者 王霈文 冯稷 林晨光 华志强 张朝兴 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期470-473,共4页
采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量YBa2 Cu3O7-x双面超导薄膜。使用衬底为 (0 0 1)LaAlO3和 (0 0 1)YSZ。双面超导薄膜零电阻温度TC=89~ 91K ,临界电流密度JC≥ 10 6A/cm2 (77K ,零场下 ) ,微波表面电阻RS&l... 采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量YBa2 Cu3O7-x双面超导薄膜。使用衬底为 (0 0 1)LaAlO3和 (0 0 1)YSZ。双面超导薄膜零电阻温度TC=89~ 91K ,临界电流密度JC≥ 10 6A/cm2 (77K ,零场下 ) ,微波表面电阻RS<1mΩ(77K ,10GHz)。对不同氧氩比下制备的双面膜进行了性能的比较。当O2 ∶Ar =1∶2 .5 ,衬底温度在80 0℃时 ,制备出了高质量的双面超导薄膜。同时对双面超导薄膜进行了微结构分析。用制备的 2 5mm× 2 0mm双面膜研制成功中频滤波器 ,中心频率为 1 0 6GHz时 ,插损为 0 6 7dB。 展开更多
关键词 磁控溅射 双面超导薄膜 yBA2CU3o7-X
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退火处理对Y_2O_3薄膜结构和光学性能的影响 被引量:1
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作者 闫锋 刘正堂 +1 位作者 刘文婷 刘其军 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第16期12-14,28,共4页
采用射频磁控溅射法以Y2O3陶瓷为靶材在单晶Si(111)和石英表面制备了Y2O3薄膜。利用X射线衍射(XRD)仪、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见(UV-VIS)光谱仪和傅立叶变换红外(FTIR)光谱仪对真空退火前后Y2O3薄膜的结构和光学性质进行了分析... 采用射频磁控溅射法以Y2O3陶瓷为靶材在单晶Si(111)和石英表面制备了Y2O3薄膜。利用X射线衍射(XRD)仪、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见(UV-VIS)光谱仪和傅立叶变换红外(FTIR)光谱仪对真空退火前后Y2O3薄膜的结构和光学性质进行了分析研究。结构研究表明,在200℃条件下制备的Y2O3薄膜为非晶态,经600℃退火后出现单斜相,经800℃退火后薄膜完全转化为立方多晶,同时得到了不同晶面的晶粒尺寸;沉积态的Y2O3薄膜由球状颗粒排列组成,经800℃真空退火后薄膜为柱状晶。光学性质研究发现,真空退火后Y2O3薄膜的红外透过率显著下降;使用Tauc作图法得到不同结晶条件下的光学带隙,发现薄膜的光学带隙与结晶条件有关,并且退火后薄膜的光学带隙明显减小。 展开更多
关键词 y2o3薄膜 晶体结构 退火处理 透过率 光学带隙
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Y_1Ba_2Cu_3O_(7-x)半导体薄膜的红外热辐射响应研究 被引量:1
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作者 李然 刘桂霞 +1 位作者 李冰冰 孙强 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2003年第3期259-263,共5页
采用直流磁控溅射后退火法制备了Y1Ba2Cu3O7-x/Si和Y1Ba2Cu3O7-x/ZrO2/SiO2两种半导体薄膜,对该薄膜进行了红外热辐射响应特性研究。采用X射线衍射、电阻温度系数法、喇曼散射表征手段对薄膜的显微结构进行了详细分析。结果表明,有过渡... 采用直流磁控溅射后退火法制备了Y1Ba2Cu3O7-x/Si和Y1Ba2Cu3O7-x/ZrO2/SiO2两种半导体薄膜,对该薄膜进行了红外热辐射响应特性研究。采用X射线衍射、电阻温度系数法、喇曼散射表征手段对薄膜的显微结构进行了详细分析。结果表明,有过渡层的Y1Ba2Cu3O7-x半导体薄膜均匀性好,信噪比高,在红外波段和亚毫米波段甚至毫米波段都有良好的热辐射响应,适于制做非制冷探测器的敏感元。 展开更多
关键词 y1Ba2Cu3o7-x 半导体薄膜 热辐射
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化学溶液沉积法制备YBa_2Cu_3O_7超导薄膜 被引量:1
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作者 文自立 曹光旱 +3 位作者 许祝安 张年生 沙键 焦正宽 《浙江大学学报(理学版)》 CAS CSCD 2003年第3期268-270,共3页
用钇、钡、铜的环烷酸盐溶液为原料,采用化学溶液沉积法在LaAlO3(001)衬底上制备了YBa2Cu3O7超导薄膜.X射线衍射分析表明薄膜主要沿[001]方向外延生长.原子力显微研究显示晶粒排列严密、整齐有序,表面也较为平整.电阻测量显示该薄膜的... 用钇、钡、铜的环烷酸盐溶液为原料,采用化学溶液沉积法在LaAlO3(001)衬底上制备了YBa2Cu3O7超导薄膜.X射线衍射分析表明薄膜主要沿[001]方向外延生长.原子力显微研究显示晶粒排列严密、整齐有序,表面也较为平整.电阻测量显示该薄膜的超导起始转变温度为87K.本方法有望应用于大面积高温超导薄膜及带材的制备. 展开更多
关键词 yBa2Cu3o7超导薄膜 化学溶液沉积法 制备方法 薄膜结构 超导起始转变温度 高温超导薄膜
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射频磁控反应溅射法制备Y_2O_3薄膜的工艺研究 被引量:1
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作者 闫锋 刘正堂 +1 位作者 谭婷婷 李强 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2006年第11期1362-1364,共3页
采用射频磁控反应溅射法制备氧化钇(Y2O3)薄膜。系统研究了工艺参数对Y2O3薄膜沉积速率的影响规律,使用X射线光电子能谱仪(XPS)分析表征了薄膜的成分。结果表明,Y2O3薄膜的沉积速率随射频功率的增大而增大,在合适的溅射压强下沉积速率... 采用射频磁控反应溅射法制备氧化钇(Y2O3)薄膜。系统研究了工艺参数对Y2O3薄膜沉积速率的影响规律,使用X射线光电子能谱仪(XPS)分析表征了薄膜的成分。结果表明,Y2O3薄膜的沉积速率随射频功率的增大而增大,在合适的溅射压强下沉积速率呈现极大值,O2/Ar气体流量比和衬底温度的影响不明显,对此从理论上进行了解释。制备的薄膜中Y和O元素的原子浓度基本符合Y2O3的化学计量比。 展开更多
关键词 射频磁控反应溅射 y2o3薄膜 沉积速率
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Y_2O_3薄膜热应力分布的有限元模拟 被引量:3
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作者 刘其军 刘正堂 +1 位作者 唐斌 闫锋 《中山大学研究生学刊(自然科学与医学版)》 2009年第1期72-77,共6页
对采用射频磁控溅射法制备的Y_2O_3红外光学薄膜的热应力进行了分析,随着沉积温度的升高,薄膜内热应力变大;并通过计算机对热应力分布进行了模拟,剪切力随沉积温度升高而变大,且在薄膜边缘处具有极大值。
关键词 热应力 y2o3 有限元
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