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退火氧压对YBa2Cu3O7-x薄膜中的激光感生热电电压效应的影响 被引量:3
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作者 熊飞 张辉 +2 位作者 李洪山 张鹏翔 蒋最敏 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期5237-5243,共7页
测量了在不同氧压下退火生长的YBa2Cu3O7-x(YBCO)薄膜中的激光感生热电电压(LITV)信号,发现随退火氧压的增大可使LITV信号的峰值有2—4倍的增强,并且变化趋势与薄膜热电势的各向异性随氧含量的变化规律相同.波长在473—808nm范围内的连... 测量了在不同氧压下退火生长的YBa2Cu3O7-x(YBCO)薄膜中的激光感生热电电压(LITV)信号,发现随退火氧压的增大可使LITV信号的峰值有2—4倍的增强,并且变化趋势与薄膜热电势的各向异性随氧含量的变化规律相同.波长在473—808nm范围内的连续激光辐照,在5000Pa的氧压下退火生长的YBCO薄膜中探测到的LITV信号最大;而紫外脉冲激光辐照时,LITV信号的最大值出现在退火氧压为105Pa的薄膜中.LITV信号的光响应时间随退火氧压的增大而减小,理论分析表明,这一结果是由于退火氧压的提高导致薄膜材料的热扩散系数增大所致.在退火氧压为5000Pa的YBCO薄膜中探测到响应最快的LITV信号,对紫外脉冲激光的响应时间为78ns,并且信号的上升时间只有29ns,与激光的脉冲宽度(约为28ns)相当. 展开更多
关键词 yba2cu3o7-x薄膜 激光感生热电电压 各向异性的Seebeck系数 氧含量
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溶胶-凝胶法制备YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜的研究 被引量:2
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作者 陈源清 赵高扬 +2 位作者 薛人中 严复学 李颖 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1423-1425,1428,共4页
传统的TFA-MOD法制备YBa2Cu3O7-x薄膜,采用Y、Ba、Cu 3种金属的三氟醋酸盐(TFA)为先驱体,在热分解时,会产生大量的HF气体,即使通过将近20h的缓慢升温过程来对薄膜进行热分解,也难以获得较为光洁的表面,从而无法实现厚膜的制备。本文提... 传统的TFA-MOD法制备YBa2Cu3O7-x薄膜,采用Y、Ba、Cu 3种金属的三氟醋酸盐(TFA)为先驱体,在热分解时,会产生大量的HF气体,即使通过将近20h的缓慢升温过程来对薄膜进行热分解,也难以获得较为光洁的表面,从而无法实现厚膜的制备。本文提出了一种新的含氟溶胶-凝胶工艺,通过减少溶胶中F的含量,并利用二乙醇胺做修饰剂,缩短了热分解时间,提高了薄膜的表面光洁度。利用该方法在(010)LaAlO3衬底上制备了具有良好c轴取向,临界转变温度为89K的YBCO超导薄膜。 展开更多
关键词 yba2cu3o7-x TFA 薄膜
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磁控溅射法制备YBa_2Cu_3O_(7-x)双面超导薄膜 被引量:2
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作者 王小平 刘援 +4 位作者 王霈文 冯稷 林晨光 华志强 张朝兴 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期470-473,共4页
采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量YBa2 Cu3O7-x双面超导薄膜。使用衬底为 (0 0 1)LaAlO3和 (0 0 1)YSZ。双面超导薄膜零电阻温度TC=89~ 91K ,临界电流密度JC≥ 10 6A/cm2 (77K ,零场下 ) ,微波表面电阻RS&l... 采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量YBa2 Cu3O7-x双面超导薄膜。使用衬底为 (0 0 1)LaAlO3和 (0 0 1)YSZ。双面超导薄膜零电阻温度TC=89~ 91K ,临界电流密度JC≥ 10 6A/cm2 (77K ,零场下 ) ,微波表面电阻RS<1mΩ(77K ,10GHz)。对不同氧氩比下制备的双面膜进行了性能的比较。当O2 ∶Ar =1∶2 .5 ,衬底温度在80 0℃时 ,制备出了高质量的双面超导薄膜。同时对双面超导薄膜进行了微结构分析。用制备的 2 5mm× 2 0mm双面膜研制成功中频滤波器 ,中心频率为 1 0 6GHz时 ,插损为 0 6 7dB。 展开更多
关键词 磁控溅射 双面超导薄膜 yba2cu3o7-x
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YBa_2Cu_3O_(7-x)薄膜的制备与半导体性能的研究
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作者 刘景和 孙强 +7 位作者 李建立 刘向东 谢彪 李国桢 黄宗坦 黄承彩 李丹 黄江平 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期589-591,共3页
采用高温固相反应法制备6 0mmYBa2 Cu3O7-x(YBCO)靶材 ;通过直流磁控溅射后退火法制备具有不同过渡层 (SiO2 /Si,ZrO2 /SiO2 /Si)的薄膜 .对于Si为衬底的YBa2 Cu3O7-x薄膜 ,当x >0 .5时 ,薄膜的导电性由超导态转向半导体态 .进行了... 采用高温固相反应法制备6 0mmYBa2 Cu3O7-x(YBCO)靶材 ;通过直流磁控溅射后退火法制备具有不同过渡层 (SiO2 /Si,ZrO2 /SiO2 /Si)的薄膜 .对于Si为衬底的YBa2 Cu3O7-x薄膜 ,当x >0 .5时 ,薄膜的导电性由超导态转向半导体态 .进行了X射线衍射(XRD)分析 ,电阻温度系数 (RTC)和Hall系数测试 ,并进行Raman散射的微观分析实验 ,认为该半导体薄膜可用作室温工作的红外测辐射热计 (Bolometer)灵敏元 . 展开更多
关键词 半导体薄膜 过滤层 电阻温度系数 yba2cu3o7-x
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基于YBa_2Cu_3O_7薄膜的超导故障限流器设计与试验分析 被引量:7
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作者 王晨 张晓锋 +2 位作者 庄劲武 许瀚 杨锋 《电力自动化设备》 EI CSCD 北大核心 2008年第4期103-107,共5页
针对直流电力系统短路电流分断困难的问题,提出了基于YBa2Cu3O7薄膜的电阻型超导故障限流器(SFCL)保护方案,设计了300V/200A的SFCL模型机。试验分析了不同的电源电压、负载电感和负载电阻等系统参数对薄膜限流效果及失超特性的影响。试... 针对直流电力系统短路电流分断困难的问题,提出了基于YBa2Cu3O7薄膜的电阻型超导故障限流器(SFCL)保护方案,设计了300V/200A的SFCL模型机。试验分析了不同的电源电压、负载电感和负载电阻等系统参数对薄膜限流效果及失超特性的影响。试验表明,YBa2Cu3O7薄膜能在短路电流到达临界电流Ic后准确动作,并在0.1ms时间里将短路电流峰值限制在2Ic以内。随着电源电压的增加,薄膜的失超传播速度和失超电阻值迅速增加。推导出限流器重要指标Umax、Imax与线路参数(L、R、Ue)、材料特性(Ic)的数值关系。 展开更多
关键词 yba2cu3o7薄膜 超导故障限流器 直流电力系统 短路
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YBa_2Cu_3O_(7-x)对氧的检测灵敏度和响应速度 被引量:4
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作者 朱志立 赵安庆 +4 位作者 杨德林 李国星 郭益群 高之爽 胡行 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期12-16,共5页
研究了高温超导体 YBa2 Cu3O7- x块材和厚膜在温度区间 40 0℃到 85 0℃电阻率随环境氧分压的变化关系 ,初步探索了其作为氧传感器材料的可能性。并研究了 YBa2 Cu3O7- x在不同温度条件下对氧的检测灵敏度和响应速度。实验表明 YBa2 Cu3... 研究了高温超导体 YBa2 Cu3O7- x块材和厚膜在温度区间 40 0℃到 85 0℃电阻率随环境氧分压的变化关系 ,初步探索了其作为氧传感器材料的可能性。并研究了 YBa2 Cu3O7- x在不同温度条件下对氧的检测灵敏度和响应速度。实验表明 YBa2 Cu3O7- x对氧有较强的选择性 ,同一温度下电阻率随氧分压的增大而减小 ,且有较快的响应速度。氧分压减小时电阻率增大 ,块材响应速度较慢 。 展开更多
关键词 检测灵敏度 响应速度 高温超导体 yba2cu3o7-x 氧含量 电阻率
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YBa_2Cu_3O_(7-x)分子筛的制备与应用 被引量:2
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作者 杨德林 李志成 +5 位作者 程桂萍 李国星 高之爽 郭益群 宋红章 胡行 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期38-41,共4页
用不同原料或加入添加剂的方法研究了 YBa2 Cu3O7- x( YBCO)对氧的“呼吸”性能的影响。研究发现 ,加入 5 %~ 1 0 %的萘作为添加剂是提高 YBCO分子筛除氧效果的有效途径。
关键词 yba2cu3o7-x分子筛 制备 应用 吸附剂 添加剂 高纯氮气 氧吸附性能 生产技术 纯化 除氧
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YBa_2Cu_3O_(7-x)复合超导带材透射电镜研究 被引量:2
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作者 朱心昆 赵昌森 +2 位作者 王瑞坤 黄一兵 邓凤翔 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 1991年第2期122-125,共4页
本文通过透射电镜对具有不同临界电流密度(J_c)的YBa_2Cu_3O_(7-x)超导复合带的微观组织结构进行了分析,并详细地讨论了复合带显微组织与J_c之间的关系。研究结果表明:随着带材中晶界细化、孪晶密度提高和晶界析出物的减少,带材的J_c显... 本文通过透射电镜对具有不同临界电流密度(J_c)的YBa_2Cu_3O_(7-x)超导复合带的微观组织结构进行了分析,并详细地讨论了复合带显微组织与J_c之间的关系。研究结果表明:随着带材中晶界细化、孪晶密度提高和晶界析出物的减少,带材的J_c显著提高。但是,在目前所制备的超导复合带的晶界上,少量的非超导相析出物几乎是不可避免的。所以改善超导体内的微观组织结构是提高复合带J_c的关键因素之一。 展开更多
关键词 yba2cuo3o7-x 超导体 透射电镜
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化学溶液沉积法制备YBa_2Cu_3O_7超导薄膜 被引量:1
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作者 文自立 曹光旱 +3 位作者 许祝安 张年生 沙键 焦正宽 《浙江大学学报(理学版)》 CAS CSCD 2003年第3期268-270,共3页
用钇、钡、铜的环烷酸盐溶液为原料,采用化学溶液沉积法在LaAlO3(001)衬底上制备了YBa2Cu3O7超导薄膜.X射线衍射分析表明薄膜主要沿[001]方向外延生长.原子力显微研究显示晶粒排列严密、整齐有序,表面也较为平整.电阻测量显示该薄膜的... 用钇、钡、铜的环烷酸盐溶液为原料,采用化学溶液沉积法在LaAlO3(001)衬底上制备了YBa2Cu3O7超导薄膜.X射线衍射分析表明薄膜主要沿[001]方向外延生长.原子力显微研究显示晶粒排列严密、整齐有序,表面也较为平整.电阻测量显示该薄膜的超导起始转变温度为87K.本方法有望应用于大面积高温超导薄膜及带材的制备. 展开更多
关键词 yba2cu3o7超导薄膜 化学溶液沉积法 制备方法 薄膜结构 超导起始转变温度 高温超导薄膜
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Y_1Ba_2Cu_3O_(7-x)半导体薄膜的红外热辐射响应研究 被引量:1
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作者 李然 刘桂霞 +1 位作者 李冰冰 孙强 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2003年第3期259-263,共5页
采用直流磁控溅射后退火法制备了Y1Ba2Cu3O7-x/Si和Y1Ba2Cu3O7-x/ZrO2/SiO2两种半导体薄膜,对该薄膜进行了红外热辐射响应特性研究。采用X射线衍射、电阻温度系数法、喇曼散射表征手段对薄膜的显微结构进行了详细分析。结果表明,有过渡... 采用直流磁控溅射后退火法制备了Y1Ba2Cu3O7-x/Si和Y1Ba2Cu3O7-x/ZrO2/SiO2两种半导体薄膜,对该薄膜进行了红外热辐射响应特性研究。采用X射线衍射、电阻温度系数法、喇曼散射表征手段对薄膜的显微结构进行了详细分析。结果表明,有过渡层的Y1Ba2Cu3O7-x半导体薄膜均匀性好,信噪比高,在红外波段和亚毫米波段甚至毫米波段都有良好的热辐射响应,适于制做非制冷探测器的敏感元。 展开更多
关键词 Y1Ba2cu3o7-x 半导体薄膜 热辐射
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YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜的最佳厚度研究 被引量:1
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作者 王茺 张鹏翔 +2 位作者 张国勇 吴慧军 陈雪梅 《昆明理工大学学报(理工版)》 2003年第6期28-30,33,共4页
在H .Lengfellner等人推导的激光感生电压公式以及笔者推导出的YBa2 Cu3O7-δ薄膜激光感生电压信号随时间变化公式的基础上 ,进一步导出产生最大激光感生电压所需的薄膜最佳厚度的方程式 .该方程给出了影响器件响应设计的主要因素 .
关键词 yba2cu3o7薄膜 脉冲激光感生电压效应 温差电效应 晶体材料 热电场
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Eu掺杂YBa_(2-x)Eu_xCu_3O_(7-δ)超导体的X射线衍射研究 被引量:1
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作者 钱斌 吴小山 《常熟理工学院学报》 2005年第6期14-19,共6页
Eu掺杂(取代)导致Y系YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导材料临界电流密度增强,晶格应变被认 为是主要原因。本文研究了Eu掺杂YBa2-xEuxCu3O7-δ超导体的结构和应变,并从容忍因子讨论了 钙钛矿单元的结构稳定性和晶格畸变,以及结构与电输运的相互关... Eu掺杂(取代)导致Y系YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导材料临界电流密度增强,晶格应变被认 为是主要原因。本文研究了Eu掺杂YBa2-xEuxCu3O7-δ超导体的结构和应变,并从容忍因子讨论了 钙钛矿单元的结构稳定性和晶格畸变,以及结构与电输运的相互关系;当x<0.15时,样品中没有 杂相。我们发现Eu3+/Eu2+离子优先替代Ba位的Ba,对电输运几乎没有影响。研究还表明氧含量 对超导转变温度Tc几乎没有影响。进一步研究了所有正常态样品的自旋能隙打开温度与超导输 运及结构变化之间的关系。 展开更多
关键词 EU掺杂 yba2cu3o7-δ(YBCo)超导体 X射线衍射 结构精修
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YBa2Cu3O7-x单晶的制备
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作者 张黄莉 耿兴国 +2 位作者 李金山 胡锐 陈忠伟 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第F05期280-283,共4页
介绍了制备高温超导体YBa3Cu3O7-x单晶的主要方法,分析了在制备过程中存在的问题,指出液相的性质是影响生长速率的重要因素。在此基础上,着重探讨了通过控制氧压和元素替代等方法来改变液相的性质,从而达到提高YBCO单晶生长速率的... 介绍了制备高温超导体YBa3Cu3O7-x单晶的主要方法,分析了在制备过程中存在的问题,指出液相的性质是影响生长速率的重要因素。在此基础上,着重探讨了通过控制氧压和元素替代等方法来改变液相的性质,从而达到提高YBCO单晶生长速率的目的。 展开更多
关键词 yba2cu3o7-x 单晶 生长速率 液相性质
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HRXRD analysis for YBa_2Cu_3O_(7-x) deposited on {001} LaAlO_3
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作者 张华 杨坚 +1 位作者 王书明 刘慧舟 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第12期2633-2637,共5页
YBa2Cu3O7-x (YBCO) superconducting film was fabricated on {001} LaAlO3 (LAO) substrate by pulse laser deposition (PLD), and its microstructure was examined by high resolution X-ray diffraction technology (HRXRD... YBa2Cu3O7-x (YBCO) superconducting film was fabricated on {001} LaAlO3 (LAO) substrate by pulse laser deposition (PLD), and its microstructure was examined by high resolution X-ray diffraction technology (HRXRD), such as pole figure, rocking curve, reciprocal space mapping. The results show that the YBCO crystalline alignment is almost {001}YBCO//{001}LAO, 100YBCO//100LAO besides 2% {001}YBCO//{001}LAO, 110YBCO//100LAO. The out-plane alignment of YBCO is some spreading (the breadth is 0.75°). There are 90°±0.65°110 twin domains in the film, which is caused by the high local stress and stress difference between 100 and 010 during the tetragonal to orthorhombic phase transition. 展开更多
关键词 yba2cu3o7-x crystalline alignment twin domain phase transition superconducting film
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斜切基片上c-取向YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜的生长特性及开裂行为
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作者 王天生 漆汉宏 +4 位作者 田永君 胡文斐 赵新杰 陈莺飞 李林 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期470-472,共3页
用脉冲激光沉积方法在斜切SrTiO3 (0 0 1)基片上制备了YBa2 Cu3 O7 δ薄膜 ,并用原子力显微镜、X射线衍射仪及透射电镜研究了薄膜表面形貌、取向特征、结晶性和显微结构。结果表明 ,薄膜表面呈“台阶 台面”结构 ,并伴有与台阶边缘垂... 用脉冲激光沉积方法在斜切SrTiO3 (0 0 1)基片上制备了YBa2 Cu3 O7 δ薄膜 ,并用原子力显微镜、X射线衍射仪及透射电镜研究了薄膜表面形貌、取向特征、结晶性和显微结构。结果表明 ,薄膜表面呈“台阶 台面”结构 ,并伴有与台阶边缘垂直的裂纹产生 ,说明薄膜以“台阶流动”方式生长 ;而且薄膜具有c 轴取向 ,但其结晶性不好。在薄膜中没有观察到a b孪晶的存在。薄膜的开裂和结晶性较差均是由于斜切基片台阶表面晶格四方畸变抑制了薄膜正交转变时a b孪晶的产生 ,而使晶格错配应变不能释放造成的。 展开更多
关键词 高温超导体 生长 斜切基片 脉冲激光沉积 开裂行为 yba2cu3o7 钙钛矿型氧化物 超导薄膜
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YBa_2Cu_3O_(7-x)超导化合物在加热过程中相转变的高压电镜原位观察
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作者 王瑞坤 邸秀萱 +4 位作者 王振海 贺庆 俞定安 周和平 王英 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 1989年第2期25-28,共4页
对YBa_2Cu_3O_(7-x)超导化合物在加热过程中的相转变进行了高压电镜原位观察,并做了在空气中的X射线衍射分析和真空处理样品的X射线衍射物相分析。结果表明,在真空环境下,相变温度与氧含量有关,一般比在空气中低100~120℃。在320~350... 对YBa_2Cu_3O_(7-x)超导化合物在加热过程中的相转变进行了高压电镜原位观察,并做了在空气中的X射线衍射分析和真空处理样品的X射线衍射物相分析。结果表明,在真空环境下,相变温度与氧含量有关,一般比在空气中低100~120℃。在320~350℃,孪晶带开始消失,在样品表面出现一些Cu_2O黑斑,并开始由正交结构YBa_2Cu_3O_(7-x)向正交结构Y_2BaCuO_5化合物转变,在500℃左右相转变结束。在冷却过程中未发现相转变。 展开更多
关键词 yba2cu3o7-x 超导体相转变 加热
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用熔融织构靶制备的YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜的微观组织结构
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作者 王天生 田永君 +2 位作者 彭炜 胡文斐 李林 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期301-304,共4页
用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在SrTiO3(001)单晶基片上制备了YBa2Cu3O7-δ超导薄膜。用X-射线衍射仪、透射电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析。结果表明,薄膜呈c轴取向,薄膜中产生了一定数量的颗粒状Y2O3杂相... 用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在SrTiO3(001)单晶基片上制备了YBa2Cu3O7-δ超导薄膜。用X-射线衍射仪、透射电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析。结果表明,薄膜呈c轴取向,薄膜中产生了一定数量的颗粒状Y2O3杂相,且具有择优取向,而靶材中所含的Y2BaCuO8相却没有在薄膜中形成,沉积温度升高,有利于犤001犦取向的Y2O3的形成,但不利于犤111犦取向Y2O3的形成,与传统的粉末烧结靶相比,用熔融织构靶制备YBa2Cu3O7-δ薄膜可以明显抑制薄膜表面颗粒的形成。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 yba2cu307薄膜 Y203杂相 微观组织结构 超导薄膜
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退火对Ag与YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜接触界面的影响
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作者 王玉梅 赵永刚 +2 位作者 梁伟 张小平 曹必松 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期665-666,共2页
关键词 退火 AG yba2cu3o7 超导薄膜 接触界面 高温超导体 接触点
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大气环境下YBa_2Cu_3O_7薄膜的摩擦行为和表面形貌
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作者 丁建宁 孟永钢 温诗铸 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期86-89,共4页
利用球 -盘摩擦试验装置考察了大气环境下 YBa2 Cu3O7薄膜和多晶硅薄膜同蓝宝石球及钢球对摩时的摩擦行为 ,并用原子力显微镜对其表面形貌进行了分析 .结果表明 :表面相对较粗糙的 YBa2 Cu3O7薄膜与蓝宝石球对摩时的摩擦系数低于多晶硅... 利用球 -盘摩擦试验装置考察了大气环境下 YBa2 Cu3O7薄膜和多晶硅薄膜同蓝宝石球及钢球对摩时的摩擦行为 ,并用原子力显微镜对其表面形貌进行了分析 .结果表明 :表面相对较粗糙的 YBa2 Cu3O7薄膜与蓝宝石球对摩时的摩擦系数低于多晶硅薄膜 /蓝宝石球的摩擦系数 ;而 2种薄膜与钢球对摩时的摩擦系数相当 ;YBa2 Cu3O7薄膜与蓝宝石球对摩时的启动摩擦非常稳定 ,而多晶硅薄膜的启动摩擦很不稳定 ;与钢球对摩时两者的启动摩擦则都比较稳定 .对 YBa2 Cu3O7薄膜的磨损表面形貌分析研究表明 ,其表面突出物结合疏松 ,容易从基体表面磨损脱落 . 展开更多
关键词 高温超导yba2cu3o7薄膜 摩擦行为 表面形貌 MEMS 大气环境
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SrTiO_3斜切基片上外延生长YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜的扫描探针显微镜研究
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作者 时东霞 巴德纯 +3 位作者 庞世瑾 胡文斐 李林 高鸿钧 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期100-103,共4页
采用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO3 (0 0 1)斜切基片上外延生长YBa2 Cu3 O7 δ薄膜 ,在大气环境下采用扫描探针显微镜对YBa2 Cu3 O7 δ薄膜的表面纳米形貌进行直接观察。发现YBa2 Cu3 O7 δ薄膜具有相对光滑的表面形貌 ,薄膜表面由沿SrT... 采用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO3 (0 0 1)斜切基片上外延生长YBa2 Cu3 O7 δ薄膜 ,在大气环境下采用扫描探针显微镜对YBa2 Cu3 O7 δ薄膜的表面纳米形貌进行直接观察。发现YBa2 Cu3 O7 δ薄膜具有相对光滑的表面形貌 ,薄膜表面由沿SrTiO3台阶趋向外延生长的纳米台阶组成 ,薄膜生长模式主要以台阶媒体生长为主。 展开更多
关键词 SrTio3斜切基片 外延生长 扫描探针显微镜 yba2cu3o7 薄膜 表面形貌 钛酸锶
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