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YSZ/STO/YSZ-STO超晶格电解质薄膜低温电学特性
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作者 康振锋 刘文德 +5 位作者 李强 郑平平 范悦 薄青瑞 肖玲玲 丁铁柱 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期33-37,共5页
采用脉冲激光沉积法,在单侧抛光的STO基底上制备YSZ/STO/YSZ超品格薄膜。利用x射线衍射、扫描电镜和射频阻抗/材料分析仪对多层膜的物相结构、表面形貌以及电学特性等进行表征。实验结果发现,YSZ/STD/YSZ超晶格薄膜在300~500%... 采用脉冲激光沉积法,在单侧抛光的STO基底上制备YSZ/STO/YSZ超品格薄膜。利用x射线衍射、扫描电镜和射频阻抗/材料分析仪对多层膜的物相结构、表面形貌以及电学特性等进行表征。实验结果发现,YSZ/STD/YSZ超晶格薄膜在300~500%之间,其电导活化能最小值为0.76eV,在300℃ 时测得的电导率比体材料的电导率提高了三个数量级。 展开更多
关键词 ysz/sto/yszsto超晶格多层薄膜 脉冲激光沉积 电导活化能 电导率
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