不同环境中X射线激光Yb靶表面氧化研究

用电子束蒸发方法淀积制备 X射线激光稀土元素 Yb薄膜靶 ,将薄膜靶在不同的环境气氛中进行氧化。用 X射线光电子谱 ( XPS)、俄歇电子谱 ( AES)和 X射线衍射 ( XRD)方法研究了 Yb薄膜靶表面氧化层的元素价态、组分和微观结构。发现薄膜表面氧化层中存在分层结构 ,干燥空气中储存的 Yb薄膜表面氧化层由表及里的组分依次为化学吸附水、氢氧化物、氧化物及金属元素。表面氢氧化物和氧化物以非晶态形式存在。潮湿空气中水分是薄膜靶氧化速率增加的主要原因。