O432.1 94031576用于软 X 射线光学技术中的脉冲等离子体源=Thepulsed plasma sources used in the soft X-ray optical techniques[刊,中]/郭玉彬(中科院长春光机所)∥LSI 制造与测试.—1993,14(5).—22~28对国际上广泛应用的几类软 X...O432.1 94031576用于软 X 射线光学技术中的脉冲等离子体源=Thepulsed plasma sources used in the soft X-ray optical techniques[刊,中]/郭玉彬(中科院长春光机所)∥LSI 制造与测试.—1993,14(5).—22~28对国际上广泛应用的几类软 X 线(?)的典型性能参数作了综合比较。展开更多
文摘O432.1 94031576用于软 X 射线光学技术中的脉冲等离子体源=Thepulsed plasma sources used in the soft X-ray optical techniques[刊,中]/郭玉彬(中科院长春光机所)∥LSI 制造与测试.—1993,14(5).—22~28对国际上广泛应用的几类软 X 线(?)的典型性能参数作了综合比较。