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ZKP-20型二十工位真空开关管排气台
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作者 罗吉友 杨洪森 +4 位作者 郑尚清 兰伟 石玉贤 吴广军 赵云华 《真空与低温》 2000年第3期170-174,共5页
介绍了ZKP-20型二十工位真空开关管排气台的结构设计,采用PC工业程序控制系统,实现了整个排气工艺过程的自动化,降低了操作人员劳动强度,提高了生产效率。
关键词 PC控制 zkp-20型 二十工位真空开关管 排气台
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