Eu、Mg共掺ZnO薄膜的微观结构与光致发光性能研究

采用射频磁控溅射技术,以不同Eu、Mg掺杂比的Zn O/Mg O/Eu2O3陶瓷靶材,制备了Eu、Mg共掺的Zn O薄膜(ZMEO)。通过X射线衍射(XRD)、Raman散射及光致发光(PL)技术研究了Eu、Mg掺杂比对ZMEO薄膜微观结构和光致发光性能的影响。结果表明:所制备的ZMEO薄膜皆为六角纤锌矿型结构。适当的Eu、Mg掺杂比不但有利于Zn O晶粒的生长,而且可以引入缺陷俘获导带电子,促进Zn O和Eu3+之间的能量传递,使Eu3+的红光发射强度获得提升。