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ZZSX—600光学镀膜机
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《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1991年第6期419-419,共1页
ZZSX—600光学镀膜机是北京仪器厂最新研制的用于光学镀膜批量生产的先进机型。该机配有大功率e型电子枪和电阻蒸发源,可蒸镀各种高低熔点的金属及化合物材料。设备带有光学膜厚控制仪和石英晶体膜厚速率监控仪。
关键词 镀膜机 zzsx 监控仪 北京仪器厂 石英晶体 控制仪 蒸镀 化合物材料 批量生产 性能指标
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