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Synthesis and characterization of pure mesoporous zirconia thin film with two-dimensional hexagonal framework
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作者 方华 石伟海 马春阳 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2006年第1期70-72,共3页
Pure mesoporous ZrO2 thin film with two-dimensional hexagonal framework mesostructure has been successfully prepared by using a nonionic triblock copolymer as the structure-directing agent and ZrCl4 as the zirconi... Pure mesoporous ZrO2 thin film with two-dimensional hexagonal framework mesostructure has been successfully prepared by using a nonionic triblock copolymer as the structure-directing agent and ZrCl4 as the zirconia source through evaporation-induced self-assembly approach. The resulting materials were characterized by X-ray diffraction, scanning electron microscope, and nitrogen adsorption measurements. The obtained mesoporous ZrO2 thin film has a nanocrystalline inorganic framework (tetragonal zirconia) and narrowly distributed mesopore size (67 nm in diameter). 展开更多
关键词 中孔氧化锆薄膜 X射线衍射 扫描电子显微镜 六角形 微观结构 合成
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Investigation of Thermodynamic Properties of Zirconia Thin Films by Statistical Moment Method
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作者 Vu Van Hung Le Thi Thanh Huong Dang Thanh Hai 《Materials Sciences and Applications》 2018年第12期949-964,共16页
The moment method in statistical (SMM) dynamics is used to study the thermodynamic quantities of ZrO2 thin films taking into account the anharmonicity effects of the lattice vibrations. The average lattice constant, t... The moment method in statistical (SMM) dynamics is used to study the thermodynamic quantities of ZrO2 thin films taking into account the anharmonicity effects of the lattice vibrations. The average lattice constant, thermal expansion coefficient and specific heats at the constant volume of ZrO2 thin films are calculated as a function of temperature, pressure and thickness of thin film. SMM calculations are performed using the Buckingham potential for the ZrO2 thin films. In the present study, the influence of temperature, pressure and the size on the thermodynamic quantities of ZrO2 thin film have been studied using three different interatomic potentials. We discuss temperature and thickness dependences of some thermodynamic quantities of ZrO2 thin films and we compare our calculated results with those of the experimental results. 展开更多
关键词 thin film zirconia Lattice CONSTANT Thermal Expansion Coefficient Specific HEATS at the CONSTANT Volume STATISTICAL MOMENT Method
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ZrO_2溅射膜的柱状生长机制 被引量:3
3
作者 夏风 钱晓良 +3 位作者 刘石明 杨欣 刘光葵 孙尧卿 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期443-446,共4页
气相沉积ZrO2 膜常为柱状结构 ,要更好地控制ZrO2 膜性能 ,需要研究ZrO2 膜中柱状结构的形成和演化规律 .在射频溅射条件下沉积了ZrO2 膜 ,发现该膜的柱状晶具有 { 111}面织构 ,其底层可能还有等轴晶 .提出以下柱状晶形成机制 :在光滑 ... 气相沉积ZrO2 膜常为柱状结构 ,要更好地控制ZrO2 膜性能 ,需要研究ZrO2 膜中柱状结构的形成和演化规律 .在射频溅射条件下沉积了ZrO2 膜 ,发现该膜的柱状晶具有 { 111}面织构 ,其底层可能还有等轴晶 .提出以下柱状晶形成机制 :在光滑 (玻璃 )基片上形成的柱状晶源自于在基片表面形成的具有 { 111}面织构的最初晶核 ;在较为粗糙 (多晶Al2 O3)基片表面上形成的柱状晶源自于〈111〉晶向与沉积物质流方向一致的晶核择优生长及随后对其它取向的小晶核的吞噬而形成的晶核群 .基片表面粗糙时 ,由于柱状晶核经过晶核筛选产生 ,柱状晶底部可能有等轴晶层 ;若温度较低 。 展开更多
关键词 氧化锆 薄膜 溅射 织构 柱状生长机制
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Al_2O_3或TiO_2掺杂的ScSZ固体电解质纳米晶薄膜的制备及表征 被引量:2
4
作者 张亚文 杨宇 +5 位作者 金舒 田曙坚 李国宝 贾江涛 廖春生 严纯华 《北京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期200-204,共5页
利用溶胶 凝胶旋涂法 ,在单晶硅基片 (10 0 )上分别制得了厚度约为 0 31μm的(Al2 O3) 0 .10 (Sc2 O3) 0 .0 8(ZrO2 ) 0 .82 和 0 36 μm的 (Sc2 O3) 0 .12 5(TiO2 ) 0 .175(ZrO2 ) 0 .70 固体电解质纳米晶薄膜。烧结实验结果表明 ,... 利用溶胶 凝胶旋涂法 ,在单晶硅基片 (10 0 )上分别制得了厚度约为 0 31μm的(Al2 O3) 0 .10 (Sc2 O3) 0 .0 8(ZrO2 ) 0 .82 和 0 36 μm的 (Sc2 O3) 0 .12 5(TiO2 ) 0 .175(ZrO2 ) 0 .70 固体电解质纳米晶薄膜。烧结实验结果表明 ,两种薄膜均在 6 50℃以上开始晶化 ,温度越高 ,晶化越完全 ,在 80 0℃可完全晶化 ;所得纳米晶颗粒呈纯的萤石结构立方相 ;铝和钛掺杂的纳米晶颗粒的平均大小分别为4 7和 51nm。铝掺杂的薄膜非常均匀致密 ,然而 。 展开更多
关键词 掺杂 氧化钪稳定 氧化锆 纳米晶薄膜 Sol-Gel制备 表征 氧化铝 氧化钛 SCSZ 电解质
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TiO_2-ZrO_2复合薄膜的制备和摩擦学性能 被引量:13
5
作者 陈云霞 周金芳 刘维民 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期279-284,共6页
以ZrOCl2@8H2O和TiCl4为原料,用溶胶-凝胶法制备了高取向的TiO2-ZrO2复合薄膜,研究了复合薄膜的组成结构、表面形貌和摩擦学性能结果表明,该复合薄膜均匀致密、具有四方ZrO2结构;复合薄膜具有良好的减摩抗磨性能.在0.5 N低负荷下,复合... 以ZrOCl2@8H2O和TiCl4为原料,用溶胶-凝胶法制备了高取向的TiO2-ZrO2复合薄膜,研究了复合薄膜的组成结构、表面形貌和摩擦学性能结果表明,该复合薄膜均匀致密、具有四方ZrO2结构;复合薄膜具有良好的减摩抗磨性能.在0.5 N低负荷下,复合薄膜与AISI 52100钢和Si3N4对磨时的摩擦系数为0.14~0.20,耐磨寿命大于5000次.TiO2-ZrO2复合薄膜可用作特殊工况条件下的减摩抗磨保护性涂层. 展开更多
关键词 制备 TiO2-ZrO2复合薄膜 溶胶-凝胶法 摩擦学 性能 陶瓷薄膜 二氧化钛 二氧化锆
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钇稳定二氧化锆流延成型薄膜的无压烧结研究 被引量:1
6
作者 鲁盛会 李素芳 +3 位作者 向蓝翔 陈宗璋 吴振君 周欣燕 《稀土》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期62-66,共5页
讨论了流延法制备的钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷薄膜的无压烧结过程。通过SEM、TG-DTA和XRD等手段对素坯和烧结过程进行微观检测和表征。结果表明,固体含量为55%(质量分数)的素坯薄膜,在75℃-1000℃温度区间,有机添加剂的烧除对最终烧结... 讨论了流延法制备的钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷薄膜的无压烧结过程。通过SEM、TG-DTA和XRD等手段对素坯和烧结过程进行微观检测和表征。结果表明,固体含量为55%(质量分数)的素坯薄膜,在75℃-1000℃温度区间,有机添加剂的烧除对最终烧结体的致密化贡献不大,但对陶瓷薄膜的形变影响很大,YSZ素坯薄膜内有机添加剂的匀速烧除,能够有效控制流延法制备陶瓷薄膜的起翘开裂,且能够有效抑制最终烧结体内气孔的数量,对最终致密化起促进作用;在1000℃-1450℃的温度区间,陶瓷薄膜的晶粒生长和致密化主要以表面物质扩散机制进行,且晶粒的生长和致密化同步进行。在最佳烧结温度1500℃时相对密度达到最大值98%左右,随后,晶粒的尺寸随温度及保温时间的增加而增大,而密度有所下降。 展开更多
关键词 氧化锆 薄膜 烧结 流延
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退火温度对溶胶-凝胶法制备氧化锆薄膜性能影响的研究 被引量:1
7
作者 刘莹 章德发 +2 位作者 殷艳飞 刘小龙 王军 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第24期160-164,共5页
采用溶胶-凝胶法,在316L不锈钢基底上以5 cm/min的提拉速度制备氧化锆(ZrO_2)薄膜。用XRD分析了不同退火温度下制备的氧化锆干凝胶粉末的物相结构;采用扫描电镜观察了薄膜表面的显微结构;对比了不同退火温度对薄膜亲/疏水性能的影响;通... 采用溶胶-凝胶法,在316L不锈钢基底上以5 cm/min的提拉速度制备氧化锆(ZrO_2)薄膜。用XRD分析了不同退火温度下制备的氧化锆干凝胶粉末的物相结构;采用扫描电镜观察了薄膜表面的显微结构;对比了不同退火温度对薄膜亲/疏水性能的影响;通过计算薄膜的表面能及其与血液组分的界面张力,分析了退火温度对氧化锆薄膜血液相容性的影响;测试了试样的动电位极化曲线并分析其耐腐蚀性能。结果表明:采用500℃退火可以得到晶粒颗粒小、表面平整的四方相结构氧化锆薄膜,其与血液相容性最好,耐腐蚀性较强。 展开更多
关键词 氧化锆薄膜 316L不锈钢 溶胶-凝胶法 血液相容性 耐腐蚀性
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离心沉积法制备YSZ薄膜及其性能 被引量:6
8
作者 陈孔发 吕喆 +4 位作者 刘江 黄喜强 艾娜 魏波 苏文辉 《电池》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期87-89,共3页
用离心沉积方法在NiO-YSZ阳极基底上沉积了氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)薄膜,并在1 400℃烧结达到致密;用SDC的硝酸盐浸渍改进的LSM作为阴极,组装燃料电池。阳极通入干燥的H2作燃料,阴极直接暴露在空气中,单体电池在650℃的开路电压(OCV)为1... 用离心沉积方法在NiO-YSZ阳极基底上沉积了氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)薄膜,并在1 400℃烧结达到致密;用SDC的硝酸盐浸渍改进的LSM作为阴极,组装燃料电池。阳极通入干燥的H2作燃料,阴极直接暴露在空气中,单体电池在650℃的开路电压(OCV)为1.059 V,说明薄膜是完全致密的;800℃时的最高功率密度为535 mW/cm2。800℃时的阻抗谱表明,通过改变阳极端的气氛,可以区分出阴、阳极的阻抗。 展开更多
关键词 氧化钇稳定的氧化锆(YSZ) 阳极 离心沉积 薄膜
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燃料电池YSZ薄膜凝胶-流延成型的制备研究 被引量:1
9
作者 黄传勇 唐子龙 +2 位作者 张中太 金苗 宋朝忠 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期13-16,共4页
结合流延法和凝胶法的优点 ,形成了水溶液丙烯酰胺体系的凝胶 -流延成型方法。以固相含量为 5 4vol%的 YSZ悬浮体为浆料 ,利用此方法制备了厚度小、致密度高、气孔少的固体电解质 Zr O2 薄片 ,并从粉体特性、分散剂和 p H值对悬浮体性... 结合流延法和凝胶法的优点 ,形成了水溶液丙烯酰胺体系的凝胶 -流延成型方法。以固相含量为 5 4vol%的 YSZ悬浮体为浆料 ,利用此方法制备了厚度小、致密度高、气孔少的固体电解质 Zr O2 薄片 ,并从粉体特性、分散剂和 p H值对悬浮体性能的影响、素坯及烧结体密度等多角度探讨了工艺的特点。研究表明与干压法、流延法相比 ,用凝胶 -流延成型的薄片致密度高 ,气孔少 ,适合制备固体电解质 展开更多
关键词 氧化锆 燃料电池 YSZ薄膜 凝胶-流延成型工艺
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溶胶-凝胶法制备薄膜材料抗高温氧化性能研究 被引量:4
10
作者 刘慧丛 朱立群 杜岩滨 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期77-80,共4页
制备了SiO2 、ZrO2 和添加不同成分的SiO2 ZrO2 复合溶胶 ,研究了在Cu Ni上浸涂不同溶胶后形成膜层的抗高温氧化性能 ,探讨了不同膜层对Cu Ni在 80 0℃、90 0℃下高温氧化规律的影响。结果表明 ,这些膜层很好的改善了Cu Ni的抗高温氧... 制备了SiO2 、ZrO2 和添加不同成分的SiO2 ZrO2 复合溶胶 ,研究了在Cu Ni上浸涂不同溶胶后形成膜层的抗高温氧化性能 ,探讨了不同膜层对Cu Ni在 80 0℃、90 0℃下高温氧化规律的影响。结果表明 ,这些膜层很好的改善了Cu Ni的抗高温氧化性能 ,而且向SiO2 ZrO2 复合溶胶中添加铈、钇等稀土元素以及ZrO2 纳米粉 ,可以进一步改善SiO2 ZrO2 展开更多
关键词 溶胶-凝胶(Sol-Gel) 薄膜材料 抗高温氧化性能
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晶粒度对ZrO_2薄膜相结构的影响
11
作者 王英华 李晓萍 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第1期64-70,共7页
ZrO_2薄膜由射频反应溅射法生成。靶材为高纯Zr。利用透射电镜与背散射分析研究了薄膜的微观结构、相和化学剂量比与溅射氧分压和基片温度之间的关系。当薄膜在不同的条件下沉积时,获得不同晶粒度的三个相──非晶相、立方相和... ZrO_2薄膜由射频反应溅射法生成。靶材为高纯Zr。利用透射电镜与背散射分析研究了薄膜的微观结构、相和化学剂量比与溅射氧分压和基片温度之间的关系。当薄膜在不同的条件下沉积时,获得不同晶粒度的三个相──非晶相、立方相和单斜相。O/Zr比对相结构几乎没影响。 展开更多
关键词 二氧化锆 薄膜 晶粒度 相结构
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304不锈钢表面氧化锆薄膜的腐蚀特性研究 被引量:3
12
作者 卜爱明 冀国俊 张薇 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3651-3655,共5页
采用溶胶-凝胶工艺在304不锈钢基体表面制备了经600℃烧结热处理的一、二、三层ZrO_2薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM),对ZrO_2薄膜晶体结构和表面形貌进行了表征。结果表明:ZrO_2主要为四方相结构,并伴有少量的单斜相... 采用溶胶-凝胶工艺在304不锈钢基体表面制备了经600℃烧结热处理的一、二、三层ZrO_2薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM),对ZrO_2薄膜晶体结构和表面形貌进行了表征。结果表明:ZrO_2主要为四方相结构,并伴有少量的单斜相;随着薄膜层数的增加,薄膜表面形貌逐渐改善,晶粒尺寸逐渐减小。利用电化学工作站分析了涂膜前后样品在5%NaCl溶液中的电化学腐蚀行为。结果显示:ZrO_2薄膜能够有效提高不锈钢的耐腐蚀能力,且随着薄膜层数的增加,样品的自腐蚀电流密度逐渐减小,自腐蚀电位与极化电阻值逐渐增大,耐腐蚀性能逐渐提高。 展开更多
关键词 ZRO2薄膜 溶胶-凝胶 不锈钢 表面形貌 腐蚀特性
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8mol%钇稳定氧化锆薄膜的高温氧化行为研究 被引量:1
13
作者 陈士留 王树奇 《腐蚀与防护》 CAS 北大核心 2006年第7期328-330,343,共4页
采用电沉积-烧结方法在H13钢表面制得均匀致密的8mol%钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜,采用差热分析法探测其最佳烧结温度,采用称重法、X射线衍射法、扫描电镜法研究H13钢电沉积前后在700℃下的等温氧化过程及其产物。结果表明,电沉积对Y元素产... 采用电沉积-烧结方法在H13钢表面制得均匀致密的8mol%钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜,采用差热分析法探测其最佳烧结温度,采用称重法、X射线衍射法、扫描电镜法研究H13钢电沉积前后在700℃下的等温氧化过程及其产物。结果表明,电沉积对Y元素产生偏析作用,电沉积YSZ薄膜晶粒细小,晶粒尺寸约为6.5nm。表面施加8mol%YSZ薄膜后,显著提高了H13钢氧化膜的粘附性及其抗氧化性能。并对YSZ薄膜的作用机制进行了探讨。 展开更多
关键词 电沉积 烧结 抗氧化 钇稳定氧化锆(YSZ) 薄膜
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ZrO2薄膜/不锈钢基腐蚀性能的数值模拟研究
14
作者 彭静思 冀国俊 《内蒙古工业大学学报(自然科学版)》 2019年第1期35-40,共6页
采用溶胶-凝胶法在不锈钢基体上制备得到ZrO2薄膜.利用电化学工作站对不锈钢与覆膜不锈钢试样在5%的NaCl溶液进行动电位扫描测试.结果表明:ZrO2薄膜可以提高不锈钢的耐腐蚀性能.运用有限单元法(FEM)建立了覆膜不锈钢腐蚀的数值模型,模... 采用溶胶-凝胶法在不锈钢基体上制备得到ZrO2薄膜.利用电化学工作站对不锈钢与覆膜不锈钢试样在5%的NaCl溶液进行动电位扫描测试.结果表明:ZrO2薄膜可以提高不锈钢的耐腐蚀性能.运用有限单元法(FEM)建立了覆膜不锈钢腐蚀的数值模型,模拟结果表明:实验中动电位扫描下的电流密度与模拟结果具有良好的一致性.通过有限元模型所建立的电解质电位分布图发现,随着电位的正向移动,电极表面的缺陷区与非缺陷区易形成腐蚀微电池体系,从而发生点蚀现象. 展开更多
关键词 氧化锆 薄膜 电化学腐蚀 有限单元法
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基于微波后向散射原理的介质调谐型薄膜温度传感器 被引量:1
15
作者 逯斐 谭秋林 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期853-856,共4页
针对恶劣环境表面温度测试需求,设计了一种基于微波后向散射原理的无线无源薄膜温度传感器。该传感器是金属贴片型的"三明治"结构,由HTCC氧化锆陶瓷和Ag金属层制备而成。采用耐高温微带天线进行测试,通过网络分析仪读取回波... 针对恶劣环境表面温度测试需求,设计了一种基于微波后向散射原理的无线无源薄膜温度传感器。该传感器是金属贴片型的"三明治"结构,由HTCC氧化锆陶瓷和Ag金属层制备而成。采用耐高温微带天线进行测试,通过网络分析仪读取回波损耗和频率的关系,得出其谐振频率随温度升高而减小,是由氧化锆温度敏感介质的介电常数随温度升高而增大引起的,完成了感器在50℃~700℃的高温测试,平均灵敏度为96.63 kHz/℃,具有高Q值、外形小巧、结构简单的特点。 展开更多
关键词 无线无源 微波后向散射 薄膜型温度传感器 HTCC氧化锆 介电常数 谐振频率
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水污染中As离子检测研究
16
作者 刘屹 马晓未 乔婧 《水科学与工程技术》 2016年第4期51-54,共4页
研究了环境中常见的无机阴离子和有机配体对Zr-oxide DGT测定无机As的影响,并将不同厚度扩散相的Zr-oxide DGT技术应用于野外现场实际水体中As的测试,以期为Zr-oxide DGT技术的推广和应用提供更具体的数据支撑。
关键词 氧化锆 薄膜扩散梯度技术(DGT) 无机阴离子
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固体氧化物燃料电池氧化锆基电解质薄膜制备技术研究进展
17
作者 徐而翔 李晓艳 +2 位作者 陈宋璇 杜国山 付云枫 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期1722-1738,共17页
固体氧化物燃料电池(SOFC)具有高能量转化效率、环境友好性等特征,是全球能源环境问题的重要解决方案。电解质作为SOFC的关键组件,决定了电池的工作温度与输出性能。首先,以典型的氧化锆基电解质材料为例,介绍了其导电机理和导电性能的... 固体氧化物燃料电池(SOFC)具有高能量转化效率、环境友好性等特征,是全球能源环境问题的重要解决方案。电解质作为SOFC的关键组件,决定了电池的工作温度与输出性能。首先,以典型的氧化锆基电解质材料为例,介绍了其导电机理和导电性能的影响因素。为促进SOFC的商业化,电解质材料需在较低的工作温度下有较低的欧姆阻抗,电解质薄膜化是降低电池工作温度的有效方法。而后,从固相粉体成型、液相成型、气相成型3个方面综述了氧化锆基电解质薄膜的常见制备方法,并分析各种方法的优劣势。最后,对电解质薄膜的制备方法做简要展望。 展开更多
关键词 固体氧化物燃料电池 电解质 氧化锆 薄膜
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溶胶-凝胶法制备定向排列的纳米结构二氧化锆薄膜 被引量:8
18
作者 李海滨 梁开明 顾守仁 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期48-50,共3页
为研究石英玻璃基板上二氧化锆薄膜的定向排列特征及相转变对其定向排列的影响 ,采用溶胶凝胶工艺在石英玻璃基体上制备了二氧化锆薄膜 ,并利用 X射线衍射仪及原子力显微镜对薄膜结构进行了分析。结果表明 ,低温二氧化锆薄膜主要由 t- Z... 为研究石英玻璃基板上二氧化锆薄膜的定向排列特征及相转变对其定向排列的影响 ,采用溶胶凝胶工艺在石英玻璃基体上制备了二氧化锆薄膜 ,并利用 X射线衍射仪及原子力显微镜对薄膜结构进行了分析。结果表明 ,低温二氧化锆薄膜主要由 t- Zr O2 晶粒组成 ,沿 (111)平面定向排列 ,随温度升高 ,t- Zr O2 向 m - Zr O2 转变 ,定向排列也由 t-Zr O2 的 (111)平面转向为 m - Zr O2 的 (111- )平面。与凝胶粉相比 ,二氧化锆薄膜的 t- Zr O2 → m- Zr O2 相转变温度提高10 0℃。 AFM观察显示 ,随温度升高 ,薄膜表面粗糙度增大 ,并且二氧化锆晶粒尺寸由 6 0 0℃ ,保温 1h的 7.5 nm提高至 10 0 0℃ ,保温 1h的 6 5 nm。 展开更多
关键词 二氧化锆薄膜 溶胶-凝胶法 定向排列 纳米结构 石英玻璃基 制备
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改进的等离子体电解工艺制备氧化锆陶瓷薄膜及其性能 被引量:3
19
作者 王丽 陈砺 +2 位作者 严宗诚 王红林 彭家志 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期783-787,共5页
为改善氟锆酸盐电解液的老化现象,以氟锆酸盐为主电解液,在其中加入少量NaH2PO4和H3PO4,对AZ31镁合金进行等离子体电解氧化处理,制得氧化锆陶瓷薄膜。用扫描电镜、X射线衍射及能谱分析检测了添加剂对陶瓷薄膜的形貌特征、元素及物相组... 为改善氟锆酸盐电解液的老化现象,以氟锆酸盐为主电解液,在其中加入少量NaH2PO4和H3PO4,对AZ31镁合金进行等离子体电解氧化处理,制得氧化锆陶瓷薄膜。用扫描电镜、X射线衍射及能谱分析检测了添加剂对陶瓷薄膜的形貌特征、元素及物相组成的影响。结果表明:添加剂改变了电解液体系的放电特性,能有效抑制氟锆酸盐电解液的老化;添加剂的加入能够提高膜中氧化锆的含量,且降低了F在膜中的含量。制得的氧化锆薄膜能有效提高AZ31镁合金的耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 陶瓷薄膜 等离子体电解氧化 氧化锆 镁合金
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沉积温度对氧化钇稳定氧化锆薄膜残余应力的影响 被引量:8
20
作者 肖祁陵 贺洪波 +2 位作者 邵淑英 邵建达 范正修 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期1007-1011,共5页
采用自制掺摩尔分数12%的Y2O3的ZrO2混合颗粒料为原料,在不同的沉积温度下用电子束蒸发方法沉积氧化钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜样品。利用ZYGOMarkⅢ-GPI数字波面干涉仪对氧化钇稳定氧化锆薄膜的残余应力进行了研究,讨论了沉积温度对残余应... 采用自制掺摩尔分数12%的Y2O3的ZrO2混合颗粒料为原料,在不同的沉积温度下用电子束蒸发方法沉积氧化钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜样品。利用ZYGOMarkⅢ-GPI数字波面干涉仪对氧化钇稳定氧化锆薄膜的残余应力进行了研究,讨论了沉积温度对残余应力的影响。实验结果表明:随沉积温度升高,氧化钇稳定氧化锆薄膜中残余应力状态由张应力变为压应力,且压应力值随着沉积温度升高而增大;用X射线衍射仪表征了不同沉积温度下氧化钇稳定氧化锆薄膜的微观结构,探讨了薄膜微观结构与其应力的对应关系,并对比了纯ZrO2薄膜表现出的应力状态。 展开更多
关键词 薄膜光学 残余应力 氧化钇稳定氧化锆薄膜 沉积温度
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