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Electronic structures and optical properties of Zn-dopedβ-Ga_2O_3 with different doping sites 被引量:2
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作者 李超 闫金良 +1 位作者 张丽英 赵刚 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第12期430-435,共6页
The electronic structures and optical properties of intrinsic β-Ga2O3 and Zn-dopedβ-Ga2O3 are investigated by first-principles calculations. The analysis about the thermal stability shows that Zn-doped β-Ga2O3 rema... The electronic structures and optical properties of intrinsic β-Ga2O3 and Zn-dopedβ-Ga2O3 are investigated by first-principles calculations. The analysis about the thermal stability shows that Zn-doped β-Ga2O3 remains stable. The Zn doping does not change the basic electronic structure of β-Ga2O3, but only generates an empty energy level above the maximum of the valence band, which is shallow enough to make the Zn-doped β-Ga2O3 a typical p-type semiconductor. Because of Zn doping, absorption and reflectivity are enhanced in the near infrared region. The higher absorption and reflectivity of ZnGa(2) than those of ZnGa(1) are due to more empty energy states of ZnGa(2) than those of ZnGa(1) near Ef in the near infrared region. 展开更多
关键词 FIRST-PRINCIPLES zn-doped β-ga2o3 p-type semiconductor optical properties
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外电场辅助化学气相沉积方法制备网格状β-Ga_2O_3纳米线及其特性研究 被引量:7
2
作者 冯秋菊 李芳 +4 位作者 李彤彤 李昀铮 石博 李梦轲 梁红伟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第21期360-365,共6页
利用外电场辅助化学气相沉积(CVD)方法,在蓝宝石衬底上制备出了由三组生长方向构成的网格状β-Ga_2O_3纳米线.研究了不同外加电压大小对β-Ga_2O_3纳米线表面形貌、晶体结构以及光学特性的影响.结果表明:外加电压的大小对样品的表面形... 利用外电场辅助化学气相沉积(CVD)方法,在蓝宝石衬底上制备出了由三组生长方向构成的网格状β-Ga_2O_3纳米线.研究了不同外加电压大小对β-Ga_2O_3纳米线表面形貌、晶体结构以及光学特性的影响.结果表明:外加电压的大小对样品的表面形貌有着非常大的影响,有外加电场作用时生长的β-Ga_2O_3纳米线取向性开始变好,只出现了由三组不同生长方向构成的网格状β-Ga_2O_3纳米线;并且随着外加电压的增加,纳米线分布变得更加密集、长度明显增长.此外,采用这种外电场辅助的CVD方法可以明显改善样品的结晶和光学质量. 展开更多
关键词 外电场 化学气相沉积 β-ga2o3 纳米线
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β-Ga_2O_3单晶浮区法生长及其光学性质 被引量:9
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作者 张俊刚 夏长泰 +5 位作者 吴锋 裴广庆 徐军 邓群 徐悟生 史宏生 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期358-360,363,共4页
用浮区法生长得到了宽禁带半导体材料β-Ga2O3单晶,对其吸收光谱、荧光光谱进行了分析。解释了禁带部分展宽的原因。并研究了Sn4+和Ti4+的掺杂对其紫外吸收边影响。-βGa2O3单晶的荧光谱不仅观察到了3个特征峰:紫外光(395nm)、蓝光(471... 用浮区法生长得到了宽禁带半导体材料β-Ga2O3单晶,对其吸收光谱、荧光光谱进行了分析。解释了禁带部分展宽的原因。并研究了Sn4+和Ti4+的掺杂对其紫外吸收边影响。-βGa2O3单晶的荧光谱不仅观察到了3个特征峰:紫外光(395nm)、蓝光(471nm)、绿光(559nm),还观察到了在277和297nm的紫外光和692nm的红光荧光发射。 展开更多
关键词 浮区法 宽禁带半导体 β-ga2o3单晶
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Ti掺杂β-Ga_2O_3电子结构和光学性质的第一性原理计算 被引量:5
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作者 郭艳蕊 严慧羽 +2 位作者 宋庆功 陈逸飞 郭松青 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期142-145,149,共5页
采用基于密度泛函理论框架下的第一性原理计算方法,研究了Ti掺杂β-Ga2O3系统的电子结构和光学性质。计算结果表明,Ti替代八面体的Ga(2)时系统形成能最低,容易在实验上合成;Ti掺杂在导带底附近引入了浅施主能级,极大地提高了β-Ga2O3系... 采用基于密度泛函理论框架下的第一性原理计算方法,研究了Ti掺杂β-Ga2O3系统的电子结构和光学性质。计算结果表明,Ti替代八面体的Ga(2)时系统形成能最低,容易在实验上合成;Ti掺杂在导带底附近引入了浅施主能级,极大地提高了β-Ga2O3系统的导电性。Ti掺杂时稳定体系倾向于自旋极化态,且费米面处自旋极化率接近100%。光学性质的计算结果显示,Ti掺杂β-Ga2O3是极具潜力的n型紫外透明的半导体。 展开更多
关键词 第一性原理 Ti掺杂β-ga2o3 电子结构 光学性质
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β-Ga_2O_3薄膜的分子束外延生长及其紫外光敏特性研究 被引量:6
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作者 王伟 褚夫同 +1 位作者 岳超 刘兴钊 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期17-19,共3页
采用分子束外延(MBE)方法在Al2O3(0001)基片上生长了β-Ga2O3薄膜,利用XRD、SEM和AFM对薄膜的结构和形貌特性进行了表征。制作了基于β-Ga2O3薄膜的金属-半导体-金属(MSM)结构紫外探测器并对其进行了电学特性测试,结果表明:在20 V偏压下... 采用分子束外延(MBE)方法在Al2O3(0001)基片上生长了β-Ga2O3薄膜,利用XRD、SEM和AFM对薄膜的结构和形貌特性进行了表征。制作了基于β-Ga2O3薄膜的金属-半导体-金属(MSM)结构紫外探测器并对其进行了电学特性测试,结果表明:在20 V偏压下,器件的暗电流为8 nA;在波长为254 nm、光照强度为13×10–6W/cm2的紫外光照射下,器件的光电流为624 nA;器件的光电流与暗电流比值为78,光响应度达360 A/W,表现出明显的日盲紫外光响应特性。 展开更多
关键词 β-ga2o3 分子束外延 日盲 MSM 紫外探测器 光响应度
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超宽禁带半导体β-Ga2O3单晶生长突破2英寸 被引量:8
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作者 唐慧丽 何诺天 +7 位作者 罗平 郭超 李秋 吴锋 王庆国 潘星宇 刘波 徐军 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第12期2533-2534,共2页
氧化镓(β—Ga2O3)单品是一种第四代超宽禁带氧化物半导体,其禁带宽度为4.8~4.9eV,具有独特的紫外透过特性(吸收截止边~260nm);击穿电场强度高达8MV/cm,是si的近27倍、SiC及GaN的2倍以上,巴利加优值分别是SiC、GaN的10倍... 氧化镓(β—Ga2O3)单品是一种第四代超宽禁带氧化物半导体,其禁带宽度为4.8~4.9eV,具有独特的紫外透过特性(吸收截止边~260nm);击穿电场强度高达8MV/cm,是si的近27倍、SiC及GaN的2倍以上,巴利加优值分别是SiC、GaN的10倍、4倍以上. 展开更多
关键词 宽禁带半导体 β-ga2o3 单晶生长 氧化物半导体 击穿电场强度 禁带宽度 透过特性 GaN
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β-Ga_2O_3及Cr掺杂β-Ga_2O_3电子结构的第一性原理计算 被引量:2
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作者 李伟 梁二军 +2 位作者 邢怀中 丁宗玲 陈效双 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第F05期250-252,共3页
运用第一性原理密度泛函理论(DFT)计算了不同交换关联势下单斜晶系β-Ga2O3的总能量、晶格常数、总态密度、分波态密度及能带结构。理论计算结果表明:单斜晶系β-Ga2O3在局域密度近似(LDA)和广义梯度近似(GGA)下的晶格常数和带隙与实验... 运用第一性原理密度泛函理论(DFT)计算了不同交换关联势下单斜晶系β-Ga2O3的总能量、晶格常数、总态密度、分波态密度及能带结构。理论计算结果表明:单斜晶系β-Ga2O3在局域密度近似(LDA)和广义梯度近似(GGA)下的晶格常数和带隙与实验值基本相符,其中LDA近似得到的晶格常数与实验值更接近;β-Ga2O3比六方晶系结构的α-Ga2O3更加稳定,但带隙比α-Ga2O3略小;Cr掺杂导致β-Ga2O3禁带宽度变小,费米能级处的态密度不为零,即变为半金属。 展开更多
关键词 β-ga2o3 电子结构 第一性原理 铬掺杂
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β-Ga_2O_3掺Al的电子结构与能带特性研究 被引量:3
8
作者 郑树文 范广涵 皮辉 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期12102-12107,共6页
采用第一性原理的平面波超软赝势方法,对β-Ga2O3掺Al的AlxGa2-xO3(x=0,0.5,1,1.5,2)合金进行结构优化、电子态密度和能带特性的研究。结果显示,AlxGa2-xO3为间接宽能隙材料,能隙是由导带底Ga 4s态和价带顶O 2p态共同决定,其弯曲系数分... 采用第一性原理的平面波超软赝势方法,对β-Ga2O3掺Al的AlxGa2-xO3(x=0,0.5,1,1.5,2)合金进行结构优化、电子态密度和能带特性的研究。结果显示,AlxGa2-xO3为间接宽能隙材料,能隙是由导带底Ga 4s态和价带顶O 2p态共同决定,其弯曲系数分别为0.452eV(直接)和0.373eV(间接)。当增大Al的掺杂量,AlxGa2-xO3的体积变小,总能量升高,能隙逐渐增大,这与实验结果相一致。 展开更多
关键词 第一性原理 β-ga2o3 AL掺杂 电子结构 能带特性
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Cu掺杂β-Ga_2O_3电子结构和磁学性质的第一性原理研究 被引量:2
9
作者 郭艳蕊 严慧羽 +2 位作者 宋庆功 郭松青 陈逸飞 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第14期142-146,共5页
采用基于密度泛函理论框架下的第一性原理方法,结合广义梯度近似研究了Cu掺杂β-Ga2O3系统的磁学特性。计算结果表明,单Cu的掺杂,稳定体系倾向于自旋极化态,且Cu替代八面体的Ga(B)时系统更稳定,容易在实验上形成;Cu掺杂β-Ga2O3呈现出... 采用基于密度泛函理论框架下的第一性原理方法,结合广义梯度近似研究了Cu掺杂β-Ga2O3系统的磁学特性。计算结果表明,单Cu的掺杂,稳定体系倾向于自旋极化态,且Cu替代八面体的Ga(B)时系统更稳定,容易在实验上形成;Cu掺杂β-Ga2O3呈现出半金属特性,Cu的掺杂引入了2.0μB磁矩,其中局域在Cu原子上的磁矩为0.45μB,其余主要来自于Cu杂质周围的氧原子。由于电荷补偿效应,在Cu掺杂β-Ga2O3系统中引入氧空位时,体系磁矩减小到零。在2个Cu取代Ga的10种构型中,A1-B3构型的能量最低,且显示出铁磁性,磁矩为3.8μB。考虑氧空位后,A1-B3构型的反铁磁性和铁磁性能量差增大,磁矩减小到1.0μB。 展开更多
关键词 第一性原理 Cu掺杂β-ga2o3 电子结构 磁耦合
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Bi_2O_3-Ga_2O_3-CdO系统玻璃的Raman光谱和X射线光电子能谱研究 被引量:2
10
作者 陈丹平 姜雄伟 +1 位作者 朱从善 三浦嘉也 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期65-72,共8页
用X射线光电子能谱和Raman光谱研究了Bi2 O3-Ga2 O3-CdO系统玻璃的结构 .Raman光谱曲线被分离成 6个谱带 ,4条谱带分属于不同键长的Bi—O振动 ,一条谱带属于Ga—O振动 .Bi2 O3-Ga2 O3 二元系统玻璃的Raman散射最强峰位于 40 0~ 42 0cm-... 用X射线光电子能谱和Raman光谱研究了Bi2 O3-Ga2 O3-CdO系统玻璃的结构 .Raman光谱曲线被分离成 6个谱带 ,4条谱带分属于不同键长的Bi—O振动 ,一条谱带属于Ga—O振动 .Bi2 O3-Ga2 O3 二元系统玻璃的Raman散射最强峰位于 40 0~ 42 0cm- 1 ,当Ga3 + 离子被Cd2 + 离子取代后 ,Raman散射最强峰移向 5 95~ 6 30cm- 1 .随着Ga2 O3 含量的增加 ,位于高波数属于Bi—O振动的 2条谱带强度降低并朝低波数移动 ;位于低波数属于Bi—O振动的 2条谱带强度增加并朝高波数移动 ,添加CdO则出现相反的效应 .X射线光电子能谱显示出非常低的O1s电子结合能 ,甚至低于碱硅酸盐玻璃中非桥氧的O1s电子结合能 ,并且不可能分为桥氧和非桥氧 ,O1s和Bi4f的电子结合能都随Ga2 O3 展开更多
关键词 玻璃结构 RAMAN光谱 X射线光电子能谱 Bi2o3-ga2o3-Cdo系统玻璃
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Mg单原子替位掺杂β-Ga_2O_3的电子结构和光学性质计算研究 被引量:2
11
作者 宋庆功 徐霆耀 +2 位作者 杨宝宝 郭艳蕊 陈逸飞 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第18期122-126,共5页
宽禁带半导体β-Ga2O3因其出色的物理化学性能而备受关注,通过掺杂改善β-Ga2O3性能一直是研究的热点。采用基于密度泛函理论的第一性原理方法,利用广义梯度近似加U对Mg单原子掺杂β-Ga2O3体系的晶体结构、电子结构和光学性质等进行了... 宽禁带半导体β-Ga2O3因其出色的物理化学性能而备受关注,通过掺杂改善β-Ga2O3性能一直是研究的热点。采用基于密度泛函理论的第一性原理方法,利用广义梯度近似加U对Mg单原子掺杂β-Ga2O3体系的晶体结构、电子结构和光学性质等进行了研究和分析。总能量和结合能的对比显示:单原子替位掺杂β-Ga2O3时,Mg优先替代八面体位的Ga原子形成Mg-GaO体系。电子结构显示,Mg-GaO体系变为间接半导体,带隙变窄为4.672eV;其自旋极化率为100%,呈现半金属特性。作为光学材料,Mg-GaO体系可在紫外、深紫外区域工作,并且折射率、反射率和吸收率有所降低,透射率明显提高。 展开更多
关键词 Mg掺杂β-ga2o3 第一性原理 晶体结构 电子结构 光学性质
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用于低温浆态床二甲醚水蒸气重整制氢的水解组分γ-Ga_2O_3的制备与表征 被引量:2
12
作者 王东升 张素玲 +2 位作者 魏磊 卢艳红 景学敏 《燃料化学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期666-672,共7页
以有机溶剂均匀沉淀法制备了镓的氧化物,借助XRD、NH_3-TPD、TEM和BET等手段对物相结构、表面性质等进行了表征。结果表明,制备过程中得到的前驱体为GaOOH,前驱体经500℃热处理后得到γ-Ga_2O_3。γ-Ga_2O_3的晶格类型与γ-Al_2O_3相似... 以有机溶剂均匀沉淀法制备了镓的氧化物,借助XRD、NH_3-TPD、TEM和BET等手段对物相结构、表面性质等进行了表征。结果表明,制备过程中得到的前驱体为GaOOH,前驱体经500℃热处理后得到γ-Ga_2O_3。γ-Ga_2O_3的晶格类型与γ-Al_2O_3相似,为有阳离子缺陷的立方尖晶石结构。表面具有酸量较大的中强酸中心,而弱酸中心含量相对较少。微观上大多为厚10 nm、直径100 nm左右的二维纳米片,大部分纳米片分布于一个方向,一些组成花瓣形。将制得的γ-Ga_2O_3用于DME水解反应,结果表明,270℃下DME的转化率可达24%,接近平衡转化率,反应后催化剂的织构性质没有显著变化,比表面积仍可达到130 m2/g。将γ-Ga_2O_3与Cu基催化剂复合后用于270℃下的低温浆态床DME水蒸气重整反应,DME转化率和H_2选择性高达99%和68%,经200 h反应后催化剂仍能保持95%以上的活性,表现出良好的工业化应用前景。 展开更多
关键词 均匀沉淀法 γ-ga2o3 低温 浆态床 二甲醚 水蒸气重整
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导模法生长大尺寸高质量β-Ga2O3单晶 被引量:5
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作者 练小正 张胜男 +3 位作者 程红娟 齐海涛 金雷 徐永宽 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第8期622-626,共5页
以高纯Ga2O3为原料,使用自主设计的单晶生长炉,采用导模(EFG)法生长了2英寸(1英寸=2.54 cm)未掺杂的高质量β-Ga2O3单晶。研究了保护气氛对抑制Ga2O3原料高温分解速率的影响,对制备的β-Ga2O3单晶的晶体质量、位错和光学性能进行了... 以高纯Ga2O3为原料,使用自主设计的单晶生长炉,采用导模(EFG)法生长了2英寸(1英寸=2.54 cm)未掺杂的高质量β-Ga2O3单晶。研究了保护气氛对抑制Ga2O3原料高温分解速率的影响,对制备的β-Ga2O3单晶的晶体质量、位错和光学性能进行了测试和表征。结果表明,CO2保护气氛能够极大地抑制Ga2O3材料的高温分解,当CO2生长气压为1.5×105Pa时,Ga2O3的平均分解速率低于1 g/h。(100)面β-Ga2O3单晶的X射线衍射(XRD)摇摆曲线测试结果表明,其半高宽低至29 arcsec,表明晶体具有较高的质量;对晶体(100)面进行了位错腐蚀,结果显示其位错密度较低,约为4.9×10^4cm^-2;傅里叶变换红外光谱仪测试结果显示,β-Ga2O3单晶在紫外、可见光透过率达到80%以上。 展开更多
关键词 β-ga2o3单晶 宽带隙半导体 导模(EFG)法 晶体生长 透过率
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β-Ga_2O_3∶Dy^(3+)荧光粉的快速制备及光学性能研究 被引量:1
14
作者 梁建 王晓斌 +3 位作者 张艳 董海亮 刘海瑞 许并社 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期1531-1536,共6页
本文用快速微波水热加煅烧的工艺制备了不同Dy3+掺杂浓度的棒状β-Ga2O3∶Dy3+蓝/黄荧光粉。XRD和SEM分析表明Dy3+的掺入使样品的结晶度降低但未对其形貌产生影响。光致发光测试结果表明,β-Ga2O3∶Dy3+的发射峰位于492 nm和580 nm;并... 本文用快速微波水热加煅烧的工艺制备了不同Dy3+掺杂浓度的棒状β-Ga2O3∶Dy3+蓝/黄荧光粉。XRD和SEM分析表明Dy3+的掺入使样品的结晶度降低但未对其形貌产生影响。光致发光测试结果表明,β-Ga2O3∶Dy3+的发射峰位于492 nm和580 nm;并且随着Dy3+掺杂量的变化,样品的发射峰强度和蓝光/黄光发射强度比例发生了变化;在Dy3+掺杂量为3mol%时,样品的发射强度达到最大值,蓝光/黄光发射强度比例为59.29%/40.71%。另外,简要分析了GaOOH的生长机理和Dy3+在GaOOH∶Dy3+及β-Ga2O3∶Dy3+中的掺杂机理。 展开更多
关键词 微波水热法 β-ga2o3∶Dy3+ 光致发光
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水热法制备Eu^(3+)掺杂β-Ga_2O_3粉体的结构及性能 被引量:1
15
作者 王银珍 段萍萍 +6 位作者 李宁 周良华 贺松华 孙旭炜 李炜 初本莉 何琴玉 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期605-609,共5页
采用水热法制备了Eu3+掺杂的β-Ga2O3粉体,利用X射线粉末衍射、场发射扫描电子显微镜、透射电子显微镜、拉曼光谱和发光光谱等测试手段对其物相、形貌和发光性能等进行了研究。结果表明:所得样品为单斜晶系的β-Ga2O3;在波长为325 nm的H... 采用水热法制备了Eu3+掺杂的β-Ga2O3粉体,利用X射线粉末衍射、场发射扫描电子显微镜、透射电子显微镜、拉曼光谱和发光光谱等测试手段对其物相、形貌和发光性能等进行了研究。结果表明:所得样品为单斜晶系的β-Ga2O3;在波长为325 nm的He-Cd激光器激发下,发射光谱的最强峰位于612 nm,属于Eu3+的5D0→7F2电偶极跃迁;在模拟太阳光照射下,样品对甲基橙具有较高的光催化降解率,经过2 h后,甲基橙的降解率可达到75%。 展开更多
关键词 水热法 Eu3+∶β-ga2o3 光致发光
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肖特基型β-Ga2O3日盲紫外光电探测器 被引量:1
16
作者 杨莲红 张保花 +1 位作者 郭福强 陈敦军 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期1240-1243,共4页
本文制备并研究了肖特基型β-Ga2O3日盲紫外光电探测器.结果表明:通过脉冲激光沉积外延生长的β-Ga2O3的(-201)晶面X射线衍射峰半高宽仅为36 arcsec,表现出了高的晶体质量;光暗条件下的I-V曲线显示所制备的器件具有明显的肖特基整流特性... 本文制备并研究了肖特基型β-Ga2O3日盲紫外光电探测器.结果表明:通过脉冲激光沉积外延生长的β-Ga2O3的(-201)晶面X射线衍射峰半高宽仅为36 arcsec,表现出了高的晶体质量;光暗条件下的I-V曲线显示所制备的器件具有明显的肖特基整流特性,在-5V偏压下暗电流保持在0.1nA量级,正向导通电压为1.5V;光电流谱显示器件在240nm处存在显著的峰值响应,并在260nm左右呈现陡峭的截止边,日盲紫外的带内带外抑制比达到1000.同时,也研究了不同掺杂对Ga2O3晶体质量的影响. 展开更多
关键词 肖特基 β-ga2o3 日盲紫外光电探测器
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掺杂稀土Tb的β-Ga_2O_3纳米纤维的结构及其光致发光研究 被引量:1
17
作者 赵建果 张伟英 +1 位作者 刘照军 谢二庆 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第18期32-34,共3页
采用电纺丝法制备了铽(Tb)掺杂的氧化镓(Ga2O3)纳米纤维,并用场发射扫描电镜(FE-SEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)和光致发光谱(PL)对其进行了一系列的表征。结果表明,900℃退火的纳米纤维尺寸约为100nm,晶体结构是β相的Ga2O3,T... 采用电纺丝法制备了铽(Tb)掺杂的氧化镓(Ga2O3)纳米纤维,并用场发射扫描电镜(FE-SEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)和光致发光谱(PL)对其进行了一系列的表征。结果表明,900℃退火的纳米纤维尺寸约为100nm,晶体结构是β相的Ga2O3,Tb离子5D4-7F5跃迁对应的550nm绿光发射最强。在稀土掺杂的纳米纤维的光致发光谱中没有发现β-Ga2O3缺陷能级的发光,用能量传递理论解释了这一现象。 展开更多
关键词 电纺丝 纳米纤维 β-ga2o3光致发光能量传递
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大尺寸β-Ga2O3晶片的机械剥离及性能 被引量:1
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作者 练小正 张胜男 +4 位作者 程红娟 王健 齐海涛 陈建丽 徐永宽 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第6期450-454,共5页
针对β—Ga2O3单晶易解理的特性,研究了晶体形状对其(100)主解理面的机械剥离影响。结果表明,棱角较为平缓的体单晶机械剥离时容易出现碎裂,而棱角尖锐的体单晶极易实现机械剥离,并且成功剥离出尺寸大于30mm×10mm的β-Ga2O3... 针对β—Ga2O3单晶易解理的特性,研究了晶体形状对其(100)主解理面的机械剥离影响。结果表明,棱角较为平缓的体单晶机械剥离时容易出现碎裂,而棱角尖锐的体单晶极易实现机械剥离,并且成功剥离出尺寸大于30mm×10mm的β-Ga2O3单晶片。测试了剥离的β-Ga2O3单晶片微观形貌、表面粗糙度、晶体质量以及位错。结果显示,剥离的β-Ga2O3单晶片具有高的表面质量;原子力显微镜(AFM)测试表明,晶片整体表面粗糙度小于1nm,存在0.5~1nm厚的原子台阶;晶片X射线衍射(XRD)摇摆曲线测试显示,其半高宽(FWHM)值低至50arc-sec,表明晶体具有较高的质量;对晶片进行位错腐蚀,结果显示制备的β-Ga2O3晶片具有较低的位错密度,约为6×10^4cm^-2。 展开更多
关键词 β-ga2o3 单晶 晶体加工 机械剥离 表面质量
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β-Ga_2O_3单晶腐蚀坑形貌研究 被引量:1
19
作者 杨丹丹 金雷 +4 位作者 张胜男 练小正 孙科伟 程红娟 徐永宽 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第6期435-439,共5页
详细介绍了(100)、(010)和(■01)三种不同晶面的β-Ga_2O_3单晶腐蚀坑形貌状态及不同形貌的演变过程。所用β-Ga_2O_3单晶样品均为导模法(EFG)制备,且经过研磨、化学机械抛光(CMP),表面质量良好。以质量分数为85%的分析纯H_3PO_4溶液为... 详细介绍了(100)、(010)和(■01)三种不同晶面的β-Ga_2O_3单晶腐蚀坑形貌状态及不同形貌的演变过程。所用β-Ga_2O_3单晶样品均为导模法(EFG)制备,且经过研磨、化学机械抛光(CMP),表面质量良好。以质量分数为85%的分析纯H_3PO_4溶液为腐蚀液,腐蚀时间为1.5 h,腐蚀温度为90℃时,(100)、(010)和(■01)晶面腐蚀坑密度分别约为6.9×10^(4 )cm^(-2)、2.3×10^(4 )cm^(-2)和7.7×10^(4 )cm^(-2)。通过光学显微镜和扫描电子显微镜(SEM)观察,结果表明(100)面腐蚀坑形状为非对称六边形,(010)面腐蚀坑形貌为菱形,(■01)面腐蚀坑形貌为倾斜的五边形,并确定了(100)面、(010)面、(■01)面的最终腐蚀坑状态,腐蚀坑的不同形状可能与不同晶向β-Ga_2O_3表面状态的耐化学腐蚀差异有关。 展开更多
关键词 导模法(EFG) β-ga2o3单晶 位错密度 腐蚀坑形貌 扫描电子显微镜(SEM)
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之字形β-Ga_2O_3纳米材料的合成和表征 被引量:1
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作者 王月辉 刘璐 +3 位作者 田宏燕 解莹 王红蕾 王东军 《河北科技师范学院学报》 CAS 2010年第1期15-18,共4页
采用溶剂热的方法,以NaN3和GaCl3做反应物,在二甲苯做溶剂的条件下,成功的合成了之字形β-Ga2O3纳米材料。利用XRD,TEM,SAED,EDS,HRTEM,PL和模型分别对之字形β-Ga2O3纳米材料的形貌和结构进行了分析。结果表明,之字形β-Ga2O3纳米材料... 采用溶剂热的方法,以NaN3和GaCl3做反应物,在二甲苯做溶剂的条件下,成功的合成了之字形β-Ga2O3纳米材料。利用XRD,TEM,SAED,EDS,HRTEM,PL和模型分别对之字形β-Ga2O3纳米材料的形貌和结构进行了分析。结果表明,之字形β-Ga2O3纳米材料是良好的单晶,沿着[10 3]方向子自堆垛生长。另外光致发光光谱也显示之字形β-Ga2O3纳米材料在370 nm处有很强的发射峰,并且发生了几十纳米的蓝移。 展开更多
关键词 纳米材料 之字形β-ga2o3 溶剂热 单晶 自堆垛 蓝移
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