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利用ICP法测定ZnMgO薄膜的Mg组分 被引量：1
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作者 延凤平 简水生 +4 位作者 尾形健一 小池一步 佐佐诚彦 井上正崇 矢野满明 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期3013-3017,共5页
利用电感耦合等离子体(ICP)装置对分子束外延(MBE)法在Sapphire衬底上生长的Zn1-xMgxO薄膜的Mg组分进行了测试.经理论分析,得到使用1次和2次检量式所确定的Zn1-xMgxO薄膜中的Mg组分的差异.将采用1次检量式的ICP测定与EPMA测定结果进行对... 利用电感耦合等离子体(ICP)装置对分子束外延(MBE)法在Sapphire衬底上生长的Zn1-xMgxO薄膜的Mg组分进行了测试.经理论分析,得到使用1次和2次检量式所确定的Zn1-xMgxO薄膜中的Mg组分的差异.将采用1次检量式的ICP测定与EPMA测定结果进行对照,表明当Mg组分x≤0·5时二者的测试结果相当一致,由此证明ICP测试结果的正确性. 展开更多
关键词 znmgo薄膜 mg组分 分子束外延(mbe) 电感耦合等离子体(icp)
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