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ZnO/SiC/Si(111)异质外延 被引量:5
1
作者 朱俊杰 林碧霞 +2 位作者 姚然 赵国亮 傅竹西 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1662-1665,共4页
使用 Si C作为过渡层 ,采用自行设计建造的连通式双反应室高温 MOCVD系统很好地克服了 Zn O和 Si C生长时的交叉污染问题 ,在 Si基片上外延出高质量的 Zn O薄膜 .测量了样品的 XRD和摇摆曲线 ,以及室温下的 PL谱 .实验结果表明 ,Si C过... 使用 Si C作为过渡层 ,采用自行设计建造的连通式双反应室高温 MOCVD系统很好地克服了 Zn O和 Si C生长时的交叉污染问题 ,在 Si基片上外延出高质量的 Zn O薄膜 .测量了样品的 XRD和摇摆曲线 ,以及室温下的 PL谱 .实验结果表明 ,Si C过渡层的引入大大提高了 Zn O薄膜的质量和发光性能 ,并有望实现在 Si上制备 Zn O单晶薄膜 . 展开更多
关键词 低压MOCVD zno/sic/Si 结构特性 光致发光
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SiC与高能型ZnO非线性电阻在灭磁与过电压保护方面的应用 被引量:6
2
作者 冯士芬 符仲恩 +1 位作者 彭辉 许成金 《大电机技术》 北大核心 2005年第5期54-60,共7页
在20多年研究与实际应用结果的基础上,阐述了用ZnO非线性电阻作为水力发电机组尤其是大型水力发电机组灭磁与过电压保护吸能元件的重要性与可靠性。
关键词 氧化锌 碳化硅 灭磁 过电压
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MOCVD法制备的p-ZnO/n-SiC异质结器件及其电致发光性能 被引量:2
3
作者 史志锋 伍斌 +7 位作者 蔡旭浦 张金香 王辉 王瑾 夏晓川 董鑫 张宝林 杜国同 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期514-518,共5页
采用光辅助金属有机化学汽相沉积(PA-MOCVD)法在n-SiC(6H)衬底上制备出As掺杂的p型ZnO薄膜,并制备出相应的p-ZnO∶As/n-SiC异质结器件。X射线衍射(XRD)和光致发光(PL)测试表明,ZnO薄膜具有较好的结构和光学特性。电流-电压(I-V)测试结... 采用光辅助金属有机化学汽相沉积(PA-MOCVD)法在n-SiC(6H)衬底上制备出As掺杂的p型ZnO薄膜,并制备出相应的p-ZnO∶As/n-SiC异质结器件。X射线衍射(XRD)和光致发光(PL)测试表明,ZnO薄膜具有较好的结构和光学特性。电流-电压(I-V)测试结果表明,该型异质结器件具有良好的整流特性,开启电压为5.0 V,反向击穿电压约为-13 V。正向偏压下,器件的电致发光(EL)谱表现出两个分别位于紫外和可见光区域的发光峰,通过和ZnO、SiC的PL谱对照,证实异质结器件的发光峰来源于ZnO侧的辐射复合。 展开更多
关键词 As掺杂 p-zno/n-sic 电致发光 金属有机化学汽相沉积
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6H-SiC单晶表面ZnO薄膜的制备及其结构表征 被引量:1
4
作者 孙柏 李锐鹏 +5 位作者 赵朝阳 徐彭寿 张国斌 潘国强 陈秀芳 徐现刚 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期753-757,共5页
利用脉冲激光淀积(PLD)技术在6H-SiC单晶衬底上制备了ZnO薄膜.利用X射线衍射(XRD),反射式高能电子衍射(RHEED)和同步辐射掠入射X射线衍射(SRGID)Φ扫描等实验技术研究了ZnO薄膜的结构.结果表明:在单晶6H-SiC衬底上制备的ZnO薄膜已经达... 利用脉冲激光淀积(PLD)技术在6H-SiC单晶衬底上制备了ZnO薄膜.利用X射线衍射(XRD),反射式高能电子衍射(RHEED)和同步辐射掠入射X射线衍射(SRGID)Φ扫描等实验技术研究了ZnO薄膜的结构.结果表明:在单晶6H-SiC衬底上制备的ZnO薄膜已经达到单晶水平,不同入射角的SRGID结果,显示了ZnO薄膜内部不同深度处α方向的晶格弛豫是不一致的,从接近衬底界面处到薄膜的中间部分再到薄膜的表面处,α方向的晶格常数分别为0.3264、0.3272和0.3223nm.通过计算得到ZnO薄膜的泊松比为0.504,ZnO薄膜与单晶6H-SiC衬底在平行于衬底表面α轴方向的实际晶格失配度为5.84%. 展开更多
关键词 脉冲激光淀积 氧化锌 碳化硅 掠入射X射线衍射
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退火温度对6H-SiC衬底上ZnO薄膜发光性质的影响 被引量:2
5
作者 郑海务 孙利杰 +3 位作者 张杨 张伟风 顾玉宗 傅竹西 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1279-1282,共4页
采用溶胶-凝胶方法,在6H-SiC衬底上制备ZnO薄膜。X射线衍射结果表明薄膜是c轴取向的,具有六方纤锌矿多晶结构。研究了退火温度对ZnO薄膜发光特性的影响。发现在650℃退火温度下,观察到近带边紫外发射和可见光发射并且紫外发光强度大于... 采用溶胶-凝胶方法,在6H-SiC衬底上制备ZnO薄膜。X射线衍射结果表明薄膜是c轴取向的,具有六方纤锌矿多晶结构。研究了退火温度对ZnO薄膜发光特性的影响。发现在650℃退火温度下,观察到近带边紫外发射和可见光发射并且紫外发光强度大于可见光发射。随着退火温度的提高,紫外峰强度减弱直至消失,而绿光发射强度先增加而后降低。对退火温度引起ZnO薄膜发光性质改变的机制进行了探讨。 展开更多
关键词 6H-sic zno薄膜 光致发光 溶胶-凝胶
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SiC缓冲层对Si表面生长的ZnO薄膜结构和光电性能的改善 被引量:3
6
作者 康朝阳 赵朝阳 +4 位作者 刘峥嵘 孙柏 唐军 徐彭寿 谢家纯 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期807-811,共5页
用脉冲激光沉积(PLD)技术制备了ZnO/SiC/Si和ZnO/Si薄膜并制成了紫外探测器。利用X射线衍射(XRD),光致发光(PL)谱,I-V曲线和光电响应谱对薄膜的结构和光电性能进行了研究。实验结果表明:SiC缓冲层改善了ZnO薄膜的结晶质量和光电性能,其... 用脉冲激光沉积(PLD)技术制备了ZnO/SiC/Si和ZnO/Si薄膜并制成了紫外探测器。利用X射线衍射(XRD),光致发光(PL)谱,I-V曲线和光电响应谱对薄膜的结构和光电性能进行了研究。实验结果表明:SiC缓冲层改善了ZnO薄膜的结晶质量和光电性能,其原因可能是SiC作为柔性衬底能够减少ZnO与Si之间大的晶格失配和热失配导致的界面缺陷和界面态。 展开更多
关键词 zno薄膜 SI(111)衬底 sic缓冲层 光电性能
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ZnO/SiC/Si异质结构的特性 被引量:2
7
作者 段理 林碧霞 +1 位作者 姚然 傅竹西 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期259-261,共3页
用MOCVD方法在P型单晶Si(100)基片上外延SiC层,再用直流溅射在SiC层上生长ZnO薄膜,制备出 ZnO/SiC/Si异质结构,用XRD和AFM分析了ZnO/SiC/Si和ZnO/Si异质结构中表层ZnO的结构和形貌的差别,研究了这种异质结构的特性.结果表明,在Si(... 用MOCVD方法在P型单晶Si(100)基片上外延SiC层,再用直流溅射在SiC层上生长ZnO薄膜,制备出 ZnO/SiC/Si异质结构,用XRD和AFM分析了ZnO/SiC/Si和ZnO/Si异质结构中表层ZnO的结构和形貌的差别,研究了这种异质结构的特性.结果表明,在Si(100)基片上外延生长出的是高取向、高结晶质量的SiC(100)层.这个SiC层缓冲层使在Si基片上外延生长出了高质量ZnO薄膜,因为ZnO与SiC的晶格失配比ZnO与Si的晶格失配更低. 展开更多
关键词 无机非金属材料 zno薄膜 sic缓冲层 异质外延 结构特性
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Au/n-ZnO/p-SiC紫外探测器的研制和特性分析 被引量:1
8
作者 何广宏 谢家纯 +4 位作者 郭俊福 李雪白 钟声 林碧霞 傅竹西 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1399-1402,共4页
采用宽禁带半导体n-ZnO和金属Au作肖特基接触,n-ZnO和同为宽禁带半导体p-SiC形成异质结,Ti,Ni,Ag合金作背底形成欧姆接触,研制出Au/n-ZnO/p-SiC结构的紫外探测器.测试分析了该器件的光谱响应特性,响应范围为200~400nm,在室温和一定反... 采用宽禁带半导体n-ZnO和金属Au作肖特基接触,n-ZnO和同为宽禁带半导体p-SiC形成异质结,Ti,Ni,Ag合金作背底形成欧姆接触,研制出Au/n-ZnO/p-SiC结构的紫外探测器.测试分析了该器件的光谱响应特性,响应范围为200~400nm,在室温和一定反偏压下,响应峰值为313nm,半宽为65nm.同时测试分析了该器件的I-V特性,室温下,反向工作电压大于5V,反向击穿电压为70V.实验表明,此结构紫外探测器具有良好的紫外响应特性以及较低的反向漏电流和结电容. 展开更多
关键词 宽禁带 氧化锌 碳化硅 肖特基 异质结 光谱响应 紫外探测
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Dip-coating of SiO2 onto ZnO-SiC Composite Membrane
9
作者 Hyeyoun Hwang Hyunji Choi Miewon Jung 《Journal of Energy and Power Engineering》 2015年第6期562-565,共4页
关键词 复合膜 碳化硅 氧化锌 二氧化硅 浸涂 场发射扫描电子显微镜 FE-SEM X射线衍射
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Si衬底上ZnO外延膜结构性质的比较 被引量:2
10
作者 王坤 姚淑德 +2 位作者 丁志博 朱俊杰 傅竹西 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1386-1390,共5页
采用连通式双反应室高温MOCVD系统在Si衬底上外延ZnO薄膜,通过卢瑟福背散射/沟道(RBS/C)及高分辨X射线衍射(HR-XRD)技术对不同衬底条件的ZnO外延膜进行了组分及结构分析,结果表明在采用SiC缓冲层后,Si(111)衬底上ZnO(0002)面衍射峰半高... 采用连通式双反应室高温MOCVD系统在Si衬底上外延ZnO薄膜,通过卢瑟福背散射/沟道(RBS/C)及高分辨X射线衍射(HR-XRD)技术对不同衬底条件的ZnO外延膜进行了组分及结构分析,结果表明在采用SiC缓冲层后,Si(111)衬底上ZnO(0002)面衍射峰半高宽明显减小,缺陷密度降低,单晶质量显著变好,c轴方向应变由0·49%变为-0·16%,即由拉应变变为压应变且应变值变小,说明SiC缓冲层可以有效地减小ZnO与Si衬底晶格失配带来的应变,改善外延膜质量,实现Si衬底上单晶ZnO的生长. 展开更多
关键词 zno/sic/Si 卢瑟福背散射/沟道 高分辨X射线衍射 结构性质
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不同衬底材料的ZnO/Si异质结I-V及光电特性 被引量:5
11
作者 刘峥嵘 谢家纯 +4 位作者 郭俊福 李雪白 赵朝阳 刘文齐 傅竹西 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1262-1267,共6页
采用脉冲激光沉积(PLD)技术和微电子平面工艺,用不同表面掺杂的Si作为衬底制备了ZnO/Si异质结,并且以p-Si(p-)为衬底制备了ZnO(含Mn0.2%)/Si异质结、包含SiC缓冲层的ZnO/SiC/Si和ZnO(含Mn0.2%)/SiC/Si结构,测试了样品的XRD曲线、I-V特... 采用脉冲激光沉积(PLD)技术和微电子平面工艺,用不同表面掺杂的Si作为衬底制备了ZnO/Si异质结,并且以p-Si(p-)为衬底制备了ZnO(含Mn0.2%)/Si异质结、包含SiC缓冲层的ZnO/SiC/Si和ZnO(含Mn0.2%)/SiC/Si结构,测试了样品的XRD曲线、I-V特性曲线和P-E(光电响应)特性曲线.结果发现ZnO/n-Si结有很低的反向暗电流,SiC缓冲层能提高反向击穿电压,ZnO/p-Si(p+)异质结能有较强的光电响应,ZnO/n-Si(n-)更适合作为大波段区间的光探测器.还发现波长470,480,490nm处类似于声子伴线的光谱结构. 展开更多
关键词 zno sic 脉冲激光沉积 异质结 深能级
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多孔SiC陶瓷表面的超疏水改性及其对油-固体系的分离性能 被引量:1
12
作者 苏航 谢子萱 漆虹 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期8-15,24,共9页
以二水醋酸锌和氨水为原料,采用化学浴沉积法在平均孔径为250 nm的多孔SiC陶瓷表面构造花状ZnO微纳结构,并用正辛基三乙氧基硅烷接枝改性.考察了Zn^(2+)浓度、反应温度和反应时间对沉积在多孔陶瓷表面ZnO形貌的影响,进而考察其对多孔陶... 以二水醋酸锌和氨水为原料,采用化学浴沉积法在平均孔径为250 nm的多孔SiC陶瓷表面构造花状ZnO微纳结构,并用正辛基三乙氧基硅烷接枝改性.考察了Zn^(2+)浓度、反应温度和反应时间对沉积在多孔陶瓷表面ZnO形貌的影响,进而考察其对多孔陶瓷表面超疏水性能的影响.对比了超疏水改性前后多孔陶瓷的表面性质及其油-固分离性能.结果表明,花状ZnO在多孔SiC陶瓷表面沉积的最佳条件是:Zn^(2+)浓度为75 mmol/L,反应温度为96℃,反应时间为3 h.此时硅烷接枝改性后多孔陶瓷表面超疏水效果最好,其表面水接触角和滚动接触角分别为173°±2.5°和2.5°±1°.在油-固分离实验中,超疏水多孔SiC陶瓷对固体炭黑具有良好的截留性能,当跨膜压差为0.25 MPa时,其稳态通量为498.3 L/(m^(2)·h).与空白样相比,通量提高了53.6%. 展开更多
关键词 多孔碳化硅陶瓷 超疏水 zno 油-固分离
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ZnAl2O4-Ca3Al4ZnO10复相材料的制备及化学稳定性
13
作者 叶明亮 滕元成 +1 位作者 王山林 唐佳媛 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 2020年第11期19-26,共8页
针对SiC陶瓷固化高放石墨难烧结问题,拟用ZnO-Al2O3-CaO(ZAC)多相材料为SiC陶瓷固化体的低温烧结助剂,阐明ZAC烧结助剂组成-结构-性能的调控机制是SiC陶瓷安全固化高放石墨的关键问题之一。采用熔融水淬工艺制备ZnAl2O4-Ca3Al4ZnO10复... 针对SiC陶瓷固化高放石墨难烧结问题,拟用ZnO-Al2O3-CaO(ZAC)多相材料为SiC陶瓷固化体的低温烧结助剂,阐明ZAC烧结助剂组成-结构-性能的调控机制是SiC陶瓷安全固化高放石墨的关键问题之一。采用熔融水淬工艺制备ZnAl2O4-Ca3Al4ZnO10复相材料,利用X射线衍射、扫描电镜、水化放热、耐酸耐水等分析测试方法,研究了ZnO含量对ZnAl2O4-Ca3Al4ZnO10复相材料的熔融特性、物相组成及化学稳定性的影响。结果表明,在ZAC体系中,随着ZnO含量的增加,复相材料的高温流动温度(FT)逐渐降低,CaAl2O4和Ca3Al2O6的相对含量逐渐减少或消失,ZnAl2O4、Ca3Al4ZnO10和ZnO的相对含量逐渐增加,化学稳定性逐渐变好;ZAC体系的高温熔体在冷却过程中具有较强的析晶性能,CaAl2O4和Ca3Al2O6的存在会对ZnAl2O4-Ca3Al4ZnO10复相材料的化学稳定性造成严重的负面影响;制备ZnAl2O4-Ca3Al4ZnO10复相材料的较佳配方为C-40(CaO含量为25.09 wt%,Al2O3含量为34.91 wt%,ZnO含量为40 wt%),其样品的高温流动温度为1366.2℃,晶相为ZnAl2O4、Ca3Al4ZnO10、ZnO,且化学稳定性优良。 展开更多
关键词 zno-Al2O3-CaO ZNAL2O4 Ca3Al4zno10 化学稳定性 sic
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高温雷达吸波材料研究现状与展望 被引量:23
14
作者 丁冬海 罗发 +2 位作者 周万城 史毅敏 周亮 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期461-469,共9页
"薄、宽、轻、强"已经不能完全满足新型武器装备对雷达吸波材料提出的耐高温、抗氧化、高强度及高韧性等新要求。高温雷达吸波材料受到广泛关注,本文首先综述了C、ZnO、SiC三类高温吸收剂研究现状,主要介绍了它们吸波性能改... "薄、宽、轻、强"已经不能完全满足新型武器装备对雷达吸波材料提出的耐高温、抗氧化、高强度及高韧性等新要求。高温雷达吸波材料受到广泛关注,本文首先综述了C、ZnO、SiC三类高温吸收剂研究现状,主要介绍了它们吸波性能改进途径及电磁参数的温度响应机理;然后对比了涂覆型与结构型高温吸波材料的特点;在此基础上,阐述了连续纤维增强陶瓷基复合材料作为高温结构吸波材料的优势、研究现状及存在的问题;最后,提出了高温吸波材料未来潜在的发展方向。 展开更多
关键词 碳吸收剂 sic吸收剂 zno吸收剂 高温吸波 综述
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氧化锌包覆纳米碳化硅的制备 被引量:5
15
作者 崔升 沈晓冬 +1 位作者 肖苏 高志强 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第3期232-236,共5页
为了解决纳米碳化硅的应用问题,采用溶胶-凝胶法制备出氧化锌包覆纳米碳化硅颗粒,并对其前驱物的煅烧工艺进行了研究.借助差热-热重分析仪(TG-DSC)、X射线衍射分析仪(XRD)、红外光谱(FT-IR)、高分辨透射电镜(HRTEM)和能谱仪(EDS)等测试... 为了解决纳米碳化硅的应用问题,采用溶胶-凝胶法制备出氧化锌包覆纳米碳化硅颗粒,并对其前驱物的煅烧工艺进行了研究.借助差热-热重分析仪(TG-DSC)、X射线衍射分析仪(XRD)、红外光谱(FT-IR)、高分辨透射电镜(HRTEM)和能谱仪(EDS)等测试手段,发现经500,℃煅烧2,h后,产物的包覆层从水合草酸锌被煅烧成为氧化锌;氧化锌峰形尖锐,结晶良好,被覆物SiC的峰相对变弱;包覆产物的红外谱图上出现了Zn—O特征吸收峰,煅烧生成的10~20,nm氧化锌颗粒较好地包覆在大粒径的碳化硅颗粒周围. 展开更多
关键词 纳米sic 氧化锌 制备 包裹
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几种LED衬底材料的特征对比与研究现状 被引量:19
16
作者 王如刚 陈振强 胡国永 《科学技术与工程》 2006年第2期121-126,共6页
概述了LED用衬底的三种物质氧化铝、炭化硅、氧化锌各自的特性,衬底选取的原则,得出它们作衬底的优缺点及其研究现状。
关键词 sic zno AL2O3 LED发光二极管
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第三代半导体材料在LED产业中的发展和应用 被引量:10
17
作者 雷通 王小平 +3 位作者 王丽军 张雷 吕承瑞 王隆洋 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期7-11,共5页
LED产业目前发展非常迅速,LED白光照明和全色显示的前景被普遍看好。宽禁带半导体在LED产业中的应用是推动LED产业向前发展的一个重要动力,并已成为很多国家研究和开发的热点。目前宽禁带半导体在LED产业中发展很快,其应用越来越广泛,... LED产业目前发展非常迅速,LED白光照明和全色显示的前景被普遍看好。宽禁带半导体在LED产业中的应用是推动LED产业向前发展的一个重要动力,并已成为很多国家研究和开发的热点。目前宽禁带半导体在LED产业中发展很快,其应用越来越广泛,相关技术也日渐成熟。综述了几种具有代表性的第三代半导体材料在LED产业中的发展和应用以及各自面临的问题。 展开更多
关键词 宽禁带半导体材料sic GAN zno金刚石发光二极管
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大型水轮发电机引进灭磁装置存在问题的探讨 被引量:1
18
作者 冯士芬 彭辉 +1 位作者 符仲恩 陈福山 《大电机技术》 北大核心 2003年第1期51-54,共4页
本文通过对我国近年引进的大型水轮发电机组灭磁装置运行与实验情况的研究 ,认为有的引进设备无论设计参数的选择还是自身可靠性方面或多或少地存在一些问题 ,应给以足够重视 ,在总结的基础上提出解决机组灭磁可靠性的技术方向。
关键词 大型水轮发电机 灭磁装置 磁场断路器 碳化硅 氧化锌
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紫外探测器及其研究进展 被引量:9
19
作者 郝瑞亭 刘焕林 《光电子技术》 CAS 2004年第2期129-133,共5页
最近 ,人们越来越关注紫外光的辐射与测量。本文主要介绍了紫外探测器的原理和研究现状。
关键词 紫外探测器 sic GAN ALGAN zno 金刚石
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压敏电阻非线性电输运理论研究进展 被引量:1
20
作者 陈敏 王豫 《湖南理工学院学报(自然科学版)》 CAS 2004年第3期20-25,共6页
在对各种压敏电阻材料介绍的基础上 ,综述了非线性电输运理论研究的进展 ,特别涉及了三氧化钨和有机压敏材料等新体系的问题。
关键词 压敏电阻 电输运理论 氧化锌 碳化硅 三氧化钨
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