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高灵敏度ZnO纳米梁谐振式加速度计 被引量:1
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作者 许文元 唐彬 +1 位作者 赵宝林 谢晋 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第8期78-80,84,共4页
针对谐振式加速度计灵敏度较低的问题,设计了一种基于化学气相沉积(CVD)法制备的ZnO纳米线作谐振梁的谐振式加速度计,采用了双谐振梁的差分结构,利用混频检测方式进行谐振梁的激振和拾振。实现了超高灵敏度加速度检测。使用COMSOL Multi... 针对谐振式加速度计灵敏度较低的问题,设计了一种基于化学气相沉积(CVD)法制备的ZnO纳米线作谐振梁的谐振式加速度计,采用了双谐振梁的差分结构,利用混频检测方式进行谐振梁的激振和拾振。实现了超高灵敏度加速度检测。使用COMSOL Multiphysics软件建立加速度计结构原型,仿真得到谐振梁的谐振频率分别为1926.480 kHz和1926.499 kHz;在±5 gn的量程范围内,单根梁的检测灵敏度为40.218 kHz/gn,差分检测灵敏度达到80.437 kHz/gn;分析了加速度计的温度特性,差分输出模式有效抑制加速度计的零点漂移,灵敏度随温度变化为2.424 Hz/(gn·K^(-1))。 展开更多
关键词 zno纳米线 纳米谐振梁 混频检测 加速度计 高灵敏度
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Li–N dual-doped ZnO thin films prepared by an ion beam enhanced deposition method
2
作者 谢建生 陈强 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第9期461-465,共5页
Li-N dual-doped ZnO films [ZnO:(Li,N)] with Li doping concentrations of 3 at.%-5 at.% were grown on a glass substrate using an ion beam enhanced deposition (IBED) method. An optimal p-type ZnO:(Li,N) film with... Li-N dual-doped ZnO films [ZnO:(Li,N)] with Li doping concentrations of 3 at.%-5 at.% were grown on a glass substrate using an ion beam enhanced deposition (IBED) method. An optimal p-type ZnO:(Li,N) film with the resistivity of 11.4 Ω·cm was obtained by doping 4 at.% of Li and 5 sccm flow ratio of N2. The ZnO:(Li,N) films-exhibited a wurtzite structure and good transmittance in the visible region. The p-type conductive mechanism of ZnO:(Li,N) films are attributed to the Li substitute Zn site (Lizn) acceptor. N doping in ZnO can forms the Lii-No complex, which depresses the compensation of Li occupy interstitial site (Lii) donors for Lizn acceptor and helps to achieve p-type ZnO:(Li,N) films. Room temperature photoluminescence measurements indicate that the UV peak (381 nm) is due to the shallow acceptors Lizn in the p-type ZnO:(Li,N) films. The band gap of the ZnO:(Li,N) films has a red-shift after p-type doping. 展开更多
关键词 zno ion beam enhanced deposition PHOTOLUMINESCENCE
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Current transport in ZnO/Si heterostructure grown by laser molecular beam epitaxy
3
作者 滕晓云 吴艳华 +2 位作者 于威 高卫 傅广生 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第9期440-444,共5页
The n-ZnO/p-Si heterojunction was fabricated by depositing high quality single crystalline aluminium-doped n-type ZnO film on p-type Si using the laser molecular beam epitaxy technique. The heterojunction exhibited a ... The n-ZnO/p-Si heterojunction was fabricated by depositing high quality single crystalline aluminium-doped n-type ZnO film on p-type Si using the laser molecular beam epitaxy technique. The heterojunction exhibited a good rectifying behavior. The electrical properties of the heterojunction were investigated by means of temperature dependence current density-voltage measurements. The mechanism of the current transport was proposed based on the band structure of the heterojunction. When the applied bias V is lower than 0.15 V, the current follows the Ohmic behavior. When 0.15 V ~ V 〈 0.6 V, the transport property is dominated by diffusion or recombination in the junction space charge region, while at higher voltages (V 〉 0.6 V), the space charge limited effect becomes the main transport mechanism. The current-voltage characteristic under illumination was also investigated. The photovoltage and the short circuit current density of the heterojunction aproached 270 mV and 2.10 mA/cm^2, respectively. 展开更多
关键词 zno/Si heterostructure current transport laser molecular beam epitaxy
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Cubic ZnO films obtained at low pressure by molecular beam epitaxy
4
作者 王小丹 周华 +5 位作者 王惠琼 任飞 陈晓航 詹华瀚 周颖慧 康俊勇 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第9期454-458,共5页
A zinc oxide thin film in cubic crystalline phase, which is usually prepared under high pressure, has been grown on the Mg O(001) substrate by a three-step growth using plasma-assisted molecular beam epitaxy. The cu... A zinc oxide thin film in cubic crystalline phase, which is usually prepared under high pressure, has been grown on the Mg O(001) substrate by a three-step growth using plasma-assisted molecular beam epitaxy. The cubic structure is confirmed by in-situ reflection high energy electron diffraction measurements and simulations. The x-ray photoelectron spectroscopy reveals that the outer-layer surface of the film(less than 5 nm thick) is of ZnO phase while the buffer layer above the substrate is of ZnMgO phase, which is further confirmed by the band edge transmissions at the wavelengths of about 390 nm and 280 nm, respectively. The x-ray diffraction exhibits no peaks related to wurtzite ZnO phase in the film. The cubic ZnO film is presumably considered to be of the rock-salt phase. This work suggests that the metastable cubic ZnO films, which are of applicational interest for p-type doping, can be epitaxially grown on the rock-salt substrates without the usually needed high pressure conditions. 展开更多
关键词 zno film rock-salt structure molecular beam epitaxy reflection high energy electron diffraction
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生长在p-GaAs衬底上的ZnO基异质结二极管电致发光(英文) 被引量:5
5
作者 李炳辉 姚斌 +6 位作者 李永峰 邓蕊 张振中 刘卫卫 单崇新 张吉英 申德振 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期854-858,共5页
利用等离子体辅助分子束外延在p型砷化镓衬底上制备了ZnO异质结发光二极管。实验表明:GaAs与ZnO之间的氧化镁绝缘层能够有效改善器件光电性能,I-V特性的研究表明该器件具有良好的整流特性,开启电压为3 V,电致发光光谱由一个紫外发光峰... 利用等离子体辅助分子束外延在p型砷化镓衬底上制备了ZnO异质结发光二极管。实验表明:GaAs与ZnO之间的氧化镁绝缘层能够有效改善器件光电性能,I-V特性的研究表明该器件具有良好的整流特性,开启电压为3 V,电致发光光谱由一个紫外发光峰和一个可见发光带构成,其来源分别为ZnO层中近带边缺陷以及深能级缺陷相关的辐射复合。 展开更多
关键词 氧化锌 分子束外延 电致发光 发光二极管
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低温外延生长平整ZnO薄膜 被引量:5
6
作者 赵鹏程 张振中 +8 位作者 姚斌 李炳辉 王双鹏 姜明明 赵东旭 单崇新 赵海峰 刘雷 申德振 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期-,共6页
在较低温度下实现平整ZnO薄膜的生长有利于ZnO的可控p型掺杂以及获得陡峭异质界面.本文使用分子束外延方法,采用a面蓝宝石为衬底,在450℃下生长了一系列ZnO薄膜样品.在富氧生长的条件下,固定氧流量不变,通过调节锌源温度来改变锌束流,... 在较低温度下实现平整ZnO薄膜的生长有利于ZnO的可控p型掺杂以及获得陡峭异质界面.本文使用分子束外延方法,采用a面蓝宝石为衬底,在450℃下生长了一系列ZnO薄膜样品.在富氧生长的条件下,固定氧流量不变,通过调节锌源温度来改变锌束流,以此调控生长速率.样品的生长速率为40~100 nm/h.通过扫描电镜(SEM)表征发现:在高锌束流的生长条件下,样品表面有很多不规则的颗粒;降低锌的供应量后,样品表面逐渐平整.原子力显微镜(AFM)测试结果表明:样品的均方根表面粗糙度(RMS)只有0.238 nm,接近于原子级平整度.这种平整表面的获得得益于较低的生长速率,以及ZnO外延薄膜与a面蓝宝石衬底之间小的晶格失配. 展开更多
关键词 zno 分子束外延 生长温度 平整表面
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用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜 被引量:15
7
作者 张彬 林碧霞 +1 位作者 傅竹西 施朝淑 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期309-311,共3页
本文报道了用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜 ,薄膜具有 (0 0 2 )取向 ,通过电子扫描显微镜确认晶粒大小在 15 0nm左右 ,现有的薄膜在 5 2
关键词 氧化锌薄膜 电子束热蒸发 光致发光光谱 zno 薄膜制备 电子扫描显微镜
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制备温度对TiO_2基膜表面非晶态ZnO薄膜发光特性影响的研究 被引量:4
8
作者 沈华 史林兴 +2 位作者 王青 何勇 朱日宏 《应用光学》 CAS CSCD 2007年第4期421-425,共5页
利用电子束热蒸发镀膜的方式,以高纯度的ZnO和TiO2颗粒为原料,以Si为基底在有氧的气氛中制备ZnO/TiO2复合薄膜。研究制备温度对ZnO/TiO2薄膜的结构以及发光性能的影响。通过拉曼(Raman)谱和X射线衍射(XRD)谱分析了ZnO/TiO2薄膜的结构,... 利用电子束热蒸发镀膜的方式,以高纯度的ZnO和TiO2颗粒为原料,以Si为基底在有氧的气氛中制备ZnO/TiO2复合薄膜。研究制备温度对ZnO/TiO2薄膜的结构以及发光性能的影响。通过拉曼(Raman)谱和X射线衍射(XRD)谱分析了ZnO/TiO2薄膜的结构,表明所制备的ZnO薄膜为非晶态。用光致发光(PL)谱表征了它的发光特性,数据表明在250℃时制备的非晶态ZnO薄膜在波长389 nm处具有极强的紫外光发射,在波长431 nm处发出很强的紫光,在波长519 nm处发出较强的黄绿光。 展开更多
关键词 zno TIO2 电子束热蒸发 紫外光发射 非晶态薄膜
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ZnO的激光分子束外延法制备及X射线研究 被引量:10
9
作者 杨晓东 张景文 +2 位作者 毕臻 贺永宁 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期485-489,共5页
利用激光分子束外延(L-MBE)技术在α-Al2O3(0001)衬底上生长出了沿C轴高度择优取向的ZnO外延薄膜,并采用Philips四晶高分辨X射线衍射仪(Philip′s X′Pert HR-MRD)对ZnO薄膜的表面及结构特性进行了研究.应用小角度X射线分析方法(GIXA)对... 利用激光分子束外延(L-MBE)技术在α-Al2O3(0001)衬底上生长出了沿C轴高度择优取向的ZnO外延薄膜,并采用Philips四晶高分辨X射线衍射仪(Philip′s X′Pert HR-MRD)对ZnO薄膜的表面及结构特性进行了研究.应用小角度X射线分析方法(GIXA)对ZnO薄膜的表面以及ZnO/Al2O3界面状况进行了定量表征.X射线反射率(XRR)曲线出现了清晰的源于良好表面及界面特性的Kiessig干涉振荡峰,通过对其精确拟合求得ZnO薄膜的表面及界面粗糙度分别为0.34nm和1.12nm.ZnO薄膜与α-Al2O3(0001)衬底的XRD在面(in-plane)Φ扫描结果表明形成了单一的平行畴(Alignedin-plane Oriented Domains),其在面外延关系为ZnO[1010]||Al2O3[1120].XRDω-2θ扫描以及ω摇摆曲线半峰宽分别为0.12度和1.27度,这一结果表明通过形成平行畴及晶格驰豫过程,ZnO薄膜中的应力得到了有效的释放,但同时也引入了螺位错. 展开更多
关键词 氧化锌 激光分子束外延 小角度X射线分析 X射线反射率
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利用P-MBE方法在(400)Si衬底上生长ZnO薄膜 被引量:12
10
作者 梁红伟 吕有明 +4 位作者 申德振 刘益春 李炳辉 张吉英 范希武 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期275-278,共4页
利用等离子体辅助分子束外延(P MBE)方法在(400)Si衬底上生长ZnO薄膜。为改善生长后样品的质量,把样品解理成三块后,在不同温度下氧气气氛中退火。通过X射线衍射(XRD)谱和光致发光(PL)谱进行表征,讨论了用P MBE方法在Si基上生长的ZnO的... 利用等离子体辅助分子束外延(P MBE)方法在(400)Si衬底上生长ZnO薄膜。为改善生长后样品的质量,把样品解理成三块后,在不同温度下氧气气氛中退火。通过X射线衍射(XRD)谱和光致发光(PL)谱进行表征,讨论了用P MBE方法在Si基上生长的ZnO的室温光致发光发光峰的可能原因。 展开更多
关键词 P-MBE zno薄膜 氧化锌薄膜 等离子体辅助分子束外延 X射线衍射 光致发光 薄膜生长 硅衬底
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L-MBE法生长ZnO薄膜的退火研究 被引量:9
11
作者 杨晓东 张景文 +2 位作者 王东 毕臻 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期996-1000,共5页
研究了空气退火对于激光分子束外延(L-MBE)法制备的ZnO薄膜光学及结构特性的影响,报道了采用小角度X射线分析(GIXA)技术对于ZnO薄膜退火前后的表面及界面状况的定量分析结果.RHEED衍射图样表明,薄膜经过380℃及600℃原位退火后,其表面... 研究了空气退火对于激光分子束外延(L-MBE)法制备的ZnO薄膜光学及结构特性的影响,报道了采用小角度X射线分析(GIXA)技术对于ZnO薄膜退火前后的表面及界面状况的定量分析结果.RHEED衍射图样表明,薄膜经过380℃及600℃原位退火后,其表面仍然较为粗糙.而XRD在面(in-plane)Φ扫描结果显示出经过800℃空气退火之后,薄膜具有更好的外延取向性.GIXA分析结果表明,800℃退火后ZnO薄膜的表面方均根粗糙度从退火前的1.13nm下降为0.37nm;同时ZnO/Al2O3界面粗糙度从2.10nm上升为2.59nm.ZnO室温PL结果显示,退火后薄膜紫外近带边发光强度比退火前增大了40倍,并出现了源于电子-空穴等离子体(EHP)复合的N带受激发射峰,激发阈值约为200kW/cm2. 展开更多
关键词 氧化锌 激光分子束外延 退火 光致发光 在面Φ扫描 小角度X射线分析
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电子束蒸发制备ZnO薄膜及其晶体结构和电学性质 被引量:1
12
作者 孟宪权 陈巍 +3 位作者 李惟芬 张观明 马飞 王栋 《武汉大学学报(理学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期563-567,共5页
采用电子束蒸发法制备了ZnO薄膜,研究了退火温度及衬底对薄膜的结晶状况以及电学性质的影响.X射线衍射测试结果表明,相同蒸发条件下制备的ZnO薄膜,硅(100)衬底上薄膜晶粒尺寸为73nm,结晶情况明显好于陶瓷和玻璃衬底上的薄膜.退火之后,... 采用电子束蒸发法制备了ZnO薄膜,研究了退火温度及衬底对薄膜的结晶状况以及电学性质的影响.X射线衍射测试结果表明,相同蒸发条件下制备的ZnO薄膜,硅(100)衬底上薄膜晶粒尺寸为73nm,结晶情况明显好于陶瓷和玻璃衬底上的薄膜.退火之后,各种衬底上薄膜的结晶情况相对未退火时都有明显好转;400℃退火时,薄膜逐渐结晶;600℃退火时,ZnO薄膜体现良好的择优生长的趋势,晶粒长大,晶化程度提高,大部分晶粒发生了织构.在400℃退火后,掺入Al2O3的薄膜和未掺杂的ZnO薄膜的电阻率下降了一个多数量级,但掺入MgO的薄膜电阻率变大,这是由于MgO掺杂起到了补偿作用,掺入MgO有可能实现ZnO薄膜的p型掺杂. 展开更多
关键词 电子束蒸发 制备 氧化锌薄膜 晶体结构 电学性质 退火 P型掺杂
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离子束反应溅射ZnO薄膜的晶体结构及光学、电学性质研究 被引量:4
13
作者 刘建 李晓慧 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期430-433,共4页
采用离子束反应溅射法在玻璃基片上沉积了一系列ZnO薄膜样品。通过对薄膜样品XRD谱的分析 ,发现基片温度和溅射氧分压是同时影响ZnO薄膜沿c轴择优取向生长的重要因素。在基片温度 35 0℃ ,氧分压 1 3的溅射条件下 ,得到了完全沿c轴取向... 采用离子束反应溅射法在玻璃基片上沉积了一系列ZnO薄膜样品。通过对薄膜样品XRD谱的分析 ,发现基片温度和溅射氧分压是同时影响ZnO薄膜沿c轴择优取向生长的重要因素。在基片温度 35 0℃ ,氧分压 1 3的溅射条件下 ,得到了完全沿c轴取向生长的只有 (0 0 2 )晶面的ZnO薄膜。薄膜的吸收光谱测量结果表明 ,基片温度和氧分压对ZnO薄膜的光学禁带宽度有重要影响。不同氧分压、不同基片温度制备的薄膜电阻率相差很大。 展开更多
关键词 基片温度 zno薄膜 光学 离子束 电学性质 晶体结构 禁带宽度 反应溅射 薄膜电阻 C轴取向
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n-ZnO/i-MgO/p-GaN异质结发光二极管 被引量:12
14
作者 矫淑杰 吕有明 +6 位作者 申德振 张振中 李炳辉 张吉英 赵东旭 姚斌 范希武 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期499-502,共4页
用等离子体辅助分子束外延的方法生长了n-ZnO/i-MgO/p-GaN异质结发光二极管。I-V测量表明其具有典型的二极管整流特性。电致发光峰位于382 nm,通过与n型ZnO和p型GaN的光致发光谱比较,其发光峰位与线形都与ZnO的自由激子发射一致,表明该... 用等离子体辅助分子束外延的方法生长了n-ZnO/i-MgO/p-GaN异质结发光二极管。I-V测量表明其具有典型的二极管整流特性。电致发光峰位于382 nm,通过与n型ZnO和p型GaN的光致发光谱比较,其发光峰位与线形都与ZnO的自由激子发射一致,表明该电致发光来自于ZnO的自由激子发射。通过Anderson模型比较了n-ZnO/i-MgO/p-GaN和n-ZnO/p-GaN异质结的能带示意图,证明了由于MgO层的插入抑制了ZnO向GaN层中的电子注入,且有利于空穴向ZnO层注入,从而实现了ZnO层中的电注入发光。 展开更多
关键词 氧化锌 等离体辅助分子束外延 异质结 发光二极管
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电子束蒸发制备ZnO∶Al透明导电膜及其性能研究 被引量:1
15
作者 王子健 王海燕 +5 位作者 郜小勇 吴芳 李红菊 杨根 刘绪伟 卢景霄 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1355-1358,1367,共5页
在本实验中我们利用电子束蒸发方法在玻璃衬底上制备了ZnO:A l透明导电膜,并对所得样品在400℃下进行了退火处理。利用扫描电子显微镜观察了样品的表面形貌,利用分光光度计分析了样品的光学性质,结果表明所得样品在可见光范围具有较好... 在本实验中我们利用电子束蒸发方法在玻璃衬底上制备了ZnO:A l透明导电膜,并对所得样品在400℃下进行了退火处理。利用扫描电子显微镜观察了样品的表面形貌,利用分光光度计分析了样品的光学性质,结果表明所得样品在可见光范围具有较好的透光性。利用四探针对其进行了电学性质的测量,表明衬底温度为200℃时制备的样品电阻率可达6×10-3Ω.cm。 展开更多
关键词 电子束蒸发 zno Al薄膜 衬底温度
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低温生长的ZnO单晶薄膜的结构和性能 被引量:8
16
作者 邱东江 吴惠桢 +1 位作者 杨爱龄 徐晓玲 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期485-488,共4页
采用电子束反应蒸镀方法在玻璃衬底上在低温下外延生长了沿 c-轴高度取向的单晶 ZnO薄 膜,研究了衬底温度及反应气氛中的 O2对薄膜结构的影响,结合荧光光谱(PL)和荧光激发光谱(PLE) 研究了玻璃上ZnO薄膜的光学跃... 采用电子束反应蒸镀方法在玻璃衬底上在低温下外延生长了沿 c-轴高度取向的单晶 ZnO薄 膜,研究了衬底温度及反应气氛中的 O2对薄膜结构的影响,结合荧光光谱(PL)和荧光激发光谱(PLE) 研究了玻璃上ZnO薄膜的光学跃迁特性.在325℃下获得的单晶薄膜(002)晶面的x射线衍射峰强度 最大且线宽最窄(0.28).反应气氛中的 O2对 ZnO 薄膜结构的影响不明显,但对薄膜的 PL及 PLE 特性的影响显著. 展开更多
关键词 电子束反应蒸镀 单晶zno薄膜 玻璃衬底 低温生长
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射频磁控溅射和电子束蒸发制备ZnO薄膜特性的比较 被引量:2
17
作者 高立 张建民 《陕西师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期23-27,共5页
利用射频磁控溅射(Radio frequency-magnetro sputtering,RF-MS)和电子束蒸发(Electron beam evaporation,E-BE)方法制备ZnO薄膜,并对两种方法制备的薄膜在400、450和500℃退火后的微观结构、光学与电学性能进行比较.结果表明,RF-MS比E... 利用射频磁控溅射(Radio frequency-magnetro sputtering,RF-MS)和电子束蒸发(Electron beam evaporation,E-BE)方法制备ZnO薄膜,并对两种方法制备的薄膜在400、450和500℃退火后的微观结构、光学与电学性能进行比较.结果表明,RF-MS比E-BE制备的ZnO薄膜的晶粒细小且均匀,表面粗糙度小.两种方法制备的ZnO薄膜的平均透光率均大于80%,且随温度升高均表现出禁带宽度变小以及在380 nm附近出现近带边发射和绿光发射现象.此外,E-BE比RF-MS制备的ZnO薄膜的电阻率小. 展开更多
关键词 射频磁控溅射 电子束蒸发沉积 zno薄膜
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ZnO:Ag薄膜的生长及电学性质研究 被引量:1
18
作者 隋成华 徐天宁 +3 位作者 郑东 蔡霞 夏娟 原子健 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第4期702-705,共4页
p-型ZnO材料因在紫外光电器件方面的潜在应用价值而受到人们的广泛关注。采用反应电子束蒸发法在白宝石上生长了ZnO:Ag薄膜,生长温度范围从150~250°C。研究表明:在该温度范围生长的ZnO:Ag薄膜具有n-型导电特征,但通过退火可以实... p-型ZnO材料因在紫外光电器件方面的潜在应用价值而受到人们的广泛关注。采用反应电子束蒸发法在白宝石上生长了ZnO:Ag薄膜,生长温度范围从150~250°C。研究表明:在该温度范围生长的ZnO:Ag薄膜具有n-型导电特征,但通过退火可以实现p-型导电。当退火温度为300°C时,ZnO:Ag薄膜的空穴浓度为2.8×1016 cm-3,电阻率为1.0 kΩ.cm,空穴的迁移率为0.22 cm2/V.s。当在350°C下进一步退火,薄膜仍为p-型导电,但空穴浓度减小为2.1×1015 cm-3,电阻率增大到5.0 kΩ.cm。通过对ZnO:Ag薄膜的X射线衍射谱分析发现,ZnO:Ag电学性质的变化与薄膜中Ag+替代Zn2+的浓度有关。 展开更多
关键词 p-型导电 zno薄膜 AG2O 反应电子束蒸发
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热处理对ZnO∶Zn荧光薄膜结晶性能的影响 被引量:4
19
作者 张晓松 李岚 王达健 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期206-210,共5页
用热处理方法对电子束蒸发制备的ZnO∶Zn荧光薄膜分别进行400,600℃退火处理。采用X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、光致发光光谱等方法,表征了ZnO∶Zn荧光薄膜的结构、成分、形貌、发光性能。在ZnO∶Zn荧光薄膜的X射线衍... 用热处理方法对电子束蒸发制备的ZnO∶Zn荧光薄膜分别进行400,600℃退火处理。采用X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、光致发光光谱等方法,表征了ZnO∶Zn荧光薄膜的结构、成分、形貌、发光性能。在ZnO∶Zn荧光薄膜的X射线衍射谱和扫描电子显微镜照片中,可以看出经退火处理后结晶状况大大改善,多晶结构趋于规则,晶粒更加均匀且膜层结构更加致密。在ZnO∶Zn荧光薄膜的光致发光谱中,检测到490 nm处发光峰,认为一价氧空位(VO)充当发光中心,且薄膜的光致发光强度受热处理温度的影响很大。实验表明随着退火温度的升高,薄膜的结晶程度提高,弥补了薄膜晶体表面的表面缺陷,薄膜的发光性能不断提高。 展开更多
关键词 热处理 zno:Zn薄膜 电子束蒸发 场发射显示器(FED)
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电子束退火法制备ZnO薄膜 被引量:1
20
作者 李艳丽 许壮 +3 位作者 李辉 孔祥东 韩立 张雪娜 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期41-45,共5页
利用溶胶-凝胶法制备出ZnO的凝胶前驱膜,用电子束退火取代传统炉子退火,对前驱膜进行后处理,退火时固定电子束加速电压为10kV,退火时间为5min,调节聚焦束流和电子束束流,使退火温度在600~900℃范围内变化。扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD... 利用溶胶-凝胶法制备出ZnO的凝胶前驱膜,用电子束退火取代传统炉子退火,对前驱膜进行后处理,退火时固定电子束加速电压为10kV,退火时间为5min,调节聚焦束流和电子束束流,使退火温度在600~900℃范围内变化。扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和压电力显微镜(PFM)的测试结果表明,运用电子束退火法可制备出晶粒尺寸小于30nm、沿(002)择优取向、具有压电效应的六方ZnO薄膜,且随着退火温度的升高,晶粒尺寸逐渐变大,薄膜的结晶性和取向变好,压电效应越来越明显。 展开更多
关键词 电子束 退火 溶胶-凝胶 zno 薄膜
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