期刊文献+
共找到61篇文章
< 1 2 4 >
每页显示 20 50 100
The low temperature growth of stable p-type ZnO films in HiPIMS 被引量:2
1
作者 李倩 英敏菊 +2 位作者 刘忠伟 杨丽珍 陈强 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第9期154-162,共9页
In this study,the influence of substrate temperature on properties of Al-N co-doped p-type ZnO films is explored.Benefitting from the high ionization rate in high-power impulsed magnetron sputtering,the concentration ... In this study,the influence of substrate temperature on properties of Al-N co-doped p-type ZnO films is explored.Benefitting from the high ionization rate in high-power impulsed magnetron sputtering,the concentration of ionized nitrogen N+and ionized zinc Zn+were increased,which promoted the formation of ZnO films and lowered the necessary substrate temperature.After optimization,a co-doped p-type ZnO thin film with a resistivity lower than 0.35Ωcm and a hole concentration higher than 5.34×10^(18)cm^(-3)is grown at 280°C.X-ray diffraction results confirm that Al-N co-doping does not destruct the ZnO wurtzite structure.X-ray photoelectron spectroscopy demonstrates that the presence of Al promotes the formation of acceptor(No)defects in ZnO films,and ensures the role of Al in stabilizing p-type ZnO. 展开更多
关键词 HIPIMS Al-N co-doped zno film substrate temperature p-type conduction N+/N2+
下载PDF
Development in p-type Doping of ZnO 被引量:2
2
作者 俞丽萍 朱其锵 +1 位作者 FAN Dayong IANZili 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2012年第6期1184-1187,共4页
Zinc oxide (ZnO) is a wide band-gap material of the Ⅱ-Ⅵ group with excellent optical properties for optoelectronics applications, such as the flat panel displays and solar cells used in sports tournament. Despite ... Zinc oxide (ZnO) is a wide band-gap material of the Ⅱ-Ⅵ group with excellent optical properties for optoelectronics applications, such as the flat panel displays and solar cells used in sports tournament. Despite its advantages, the application of ZnO is hampered by the lack of stable p-type doping. In this paper, the recent progress in this field was briefly reviewed, and a comprehensive summary of the research was carded out on ZnO fabrication methods and its electrical, optical, and magnetic properties were presented. 展开更多
关键词 zno p-type doping fabrication method optoelectronics applicatio
下载PDF
Effect of Na Concentrations on Microstructure and Optical Properties of ZnO Films 被引量:1
3
作者 吕建国 孙兆奇 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2011年第1期23-27,共5页
Na-doped ZnO thin films were deposited on the glass substrates using sol-gel method. The effect of Na concentrations on the structural and optical properties of ZnO films was studied. As Na concentration increases fro... Na-doped ZnO thin films were deposited on the glass substrates using sol-gel method. The effect of Na concentrations on the structural and optical properties of ZnO films was studied. As Na concentration increases from 0.0 at% to 16.0 at%, preferential c-axis orientation becomes more and more obvious, and the intensity of the diffraction peaks from (103) increases. The optical band gap Eg value increases from 3.261 to 3.286 eV first and then decreases as Na concentration increases from 0.0 to 2.0 at% and then beyond 2.0 at%. The intensity of all the emissions increases with increasing Na concentration and the origins of the violet emission (wavelength in the 400-407 nm) and the blue emission (wavelength at 473 nm) were discussed in detail. 展开更多
关键词 Na-doped zno thin films sol-gel method MICROSTRUCTURE optical properties
下载PDF
Structure distortion, optical and electrical properties of ZnO thin films co-doped with Al and Sb by sol-gel spin coating 被引量:1
4
作者 钟文武 刘发民 +3 位作者 蔡鲁刚 周传仓 丁芃 张嬛 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第10期515-519,共5页
ZnO thin films co-doped with A1 and Sb with different concentrations and a fixed molar ratio of AlCl3 to SbCl3 at 1:2, are prepared by a sol-gel spin-coating method on glass annealed at 550 ℃ for 2 h in air. The x-r... ZnO thin films co-doped with A1 and Sb with different concentrations and a fixed molar ratio of AlCl3 to SbCl3 at 1:2, are prepared by a sol-gel spin-coating method on glass annealed at 550 ℃ for 2 h in air. The x-ray diffraction results confirm that the ZnO thin films co-doped with Al distortion, and the biaxial stresses are 1.03× 10^8. 3.26× 10^8 and Sb are of wurtzite hexagonal ZnO with a very small 5.23 × 10^8, and 6.97× 10^8 Pa, corresponding to those of the ZnO thin films co-doped with Al and Sb in concentrations of 1.5, 3.0, 4.5, 6.0 at% respectively. The optical properties reveal that the ZnO thin films co-doped with Al and Sb have obviously enhanced transmittance in the visible region. The electrical properties show that ZnO thin film co-doped with Al and Sb in a concentration of 1.5 at% has a lowest resistivity of 2.5 Ω·cm. 展开更多
关键词 zno thin films co-doped with Al and Sb sol-gel spin-coating method structure distortion optical and electrical properties
下载PDF
Microstructure and optical properties of nitrogen-doped ZnO film
5
作者 赵显伟 郜小勇 +2 位作者 陈先梅 陈超 赵孟珂 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第2期247-250,共4页
The nitrogen doping of ZnO film deposited by the magnetron sputtering method is subsequently realized by the hydrothermal synthesis method.The nitrogen-doped ZnO film is preferably(002) oriented.With the increase of... The nitrogen doping of ZnO film deposited by the magnetron sputtering method is subsequently realized by the hydrothermal synthesis method.The nitrogen-doped ZnO film is preferably(002) oriented.With the increase of hexamethylenetetramine(HMT) solution concentration,the average grain size of the film along the 002 direction almost immediately decreases and then monotonously increases,conversely,the lattice strain first increases and then decreases.The structural evolution of the film surface from compact and even to sparse and rough is attributed to the enhanced nitrogen doping content in the hydrothermal process.The transmission and photoluminescence properties of the film are closely related to grain size,lattice strain,and nitrogen-related defect arising from the enhanced nitrogen doping content with HMT concentration increasing. 展开更多
关键词 nitrogen-doped zno film hydrothermal method optical properties
下载PDF
溶胶-凝胶法制备K-N共掺ZnO薄膜的结构及光学特性 被引量:6
6
作者 张振兴 张海军 +3 位作者 廖梦舟 周华 谢二庆 潘孝军 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第22期3301-3304,共4页
采用溶胶-凝胶法在Si(100)衬底上生长了K与N共掺的ZnO薄膜,并用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、荧光分光光度计、紫外-可见分光光度计对ZnO薄膜样品的结构和光学特性进行了研究。结果表明,溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜为六方纤锌矿结构。随... 采用溶胶-凝胶法在Si(100)衬底上生长了K与N共掺的ZnO薄膜,并用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、荧光分光光度计、紫外-可见分光光度计对ZnO薄膜样品的结构和光学特性进行了研究。结果表明,溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜为六方纤锌矿结构。随着K掺杂浓度的增大,薄膜的结晶性变好,组成薄膜的颗粒变大,并表现出c轴择优生长特性,同时掺杂导致的氧空位缺陷也在增加,使得绿光发射增强,薄膜的光学带隙先增后减。 展开更多
关键词 zno薄膜 K—N共掺杂 光学带隙 光致发 光谱 溶胶-凝胶法
下载PDF
ZnO薄膜p型掺杂的研究进展 被引量:4
7
作者 李驰平 张铭 +3 位作者 宋雪梅 王波 李彤 严辉 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第F05期297-300,共4页
ZnO薄膜作为一种多功能半导体材料,近年来一直受到广泛关注。然而,如何制备高质量的p型ZnO薄膜是实现其实用化的关键。概括了p型掺杂困难的原因,并指出Ⅲ-Ⅴ族元素共掺杂可能是p型掺杂的最好方法。简单回顾了ZnO薄膜p型掺杂的研究现状,... ZnO薄膜作为一种多功能半导体材料,近年来一直受到广泛关注。然而,如何制备高质量的p型ZnO薄膜是实现其实用化的关键。概括了p型掺杂困难的原因,并指出Ⅲ-Ⅴ族元素共掺杂可能是p型掺杂的最好方法。简单回顾了ZnO薄膜p型掺杂的研究现状,并对今后的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 zno薄膜 P型掺杂 共掺杂方法
下载PDF
溶胶-凝胶法制备ZnO:Sn薄膜的微观结构及光电特性 被引量:6
8
作者 马德福 胡跃辉 +3 位作者 胡鸿豪 张效华 陈义川 陈新华 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期25-27,34,共4页
利用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上制备Sn掺杂ZnO薄膜(ZnO:Sn),研究了不同Sn掺杂量对薄膜结晶性、表面形貌和光电特性的影响。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针测试仪对ZnO:Sn薄膜进行表征... 利用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上制备Sn掺杂ZnO薄膜(ZnO:Sn),研究了不同Sn掺杂量对薄膜结晶性、表面形貌和光电特性的影响。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针测试仪对ZnO:Sn薄膜进行表征,结果表明:Sn掺杂2at.%时,薄膜具有良好的c轴择优取向,表面簇拥生长并呈现六角形结构,薄膜的平均透光率大约为90%,电阻率最小仅为19.6Ω.cm。 展开更多
关键词 透明氧化物半导体 zno薄膜 锡掺杂 溶胶-凝胶法
下载PDF
热处理温度对溶胶凝胶法制备ZnO:Sn薄膜性能的影响 被引量:8
9
作者 陈俊 胡跃辉 +3 位作者 胡鸿豪 张效华 陈义川 陈新华 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2013年第1期5-10,共6页
采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备掺锡氧化锌(ZnO:Sn)透明导电薄膜,研究了干燥温度和退火温度对薄膜结晶度、微观结构、光电特性的影响。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针法等分析方法对Z... 采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备掺锡氧化锌(ZnO:Sn)透明导电薄膜,研究了干燥温度和退火温度对薄膜结晶度、微观结构、光电特性的影响。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针法等分析方法对ZnO:Sn薄膜进行分析表征,结果表明:在300℃温度下干燥10min后,在700℃空气中退火1h制备出的ZnO:Sn薄膜表面平整,具有c轴择优取向,平均透过率达到92%以上,电阻率仅为13.6Ω.cm。 展开更多
关键词 透明氧化物半导体 zno薄膜 Sn掺杂 溶胶-凝胶法
下载PDF
溶胶-凝胶旋涂法制备Al掺杂ZnO薄膜及其光电性能的研究 被引量:7
10
作者 王玉新 赵帅 +3 位作者 刘国强 王磊 李真 陈苗苗 《辽宁师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2019年第2期175-180,共6页
利用溶胶-凝胶(sol-gel)旋涂法制备不同Al掺杂量的ZnO薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)和光致发光谱(PL)等测试手段对Al掺杂ZnO薄膜的晶体结构、表面形貌及光电性能进行表征.结果表明:所制... 利用溶胶-凝胶(sol-gel)旋涂法制备不同Al掺杂量的ZnO薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)和光致发光谱(PL)等测试手段对Al掺杂ZnO薄膜的晶体结构、表面形貌及光电性能进行表征.结果表明:所制备的样品均沿(002)方向择优生长,无其他杂相的出现.随着Al掺杂量的增加,薄膜的晶粒尺寸先减小后增大,当Al掺杂量为0.020时晶粒尺寸最小,其表面晶粒最为均匀、致密;近紫外发光峰的强度先增强后减弱,并且出现了轻微蓝移的现象;薄膜的电阻值先减小后轻微增大.当Al元素的掺杂量为0.015时,薄膜表面相对均匀致密,禁带宽度有所增加,可见光范围内平均透过率最高达到90%,并且具有较好的导电性能. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 zno薄膜 Al掺杂薄膜 光学性能 导电性能
下载PDF
Mg-Al共掺杂ZnO薄膜的制备及其光学特性 被引量:6
11
作者 房东玉 李朝玲 +2 位作者 李轩 戚雯 姚琲 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2013年第2期105-110,共6页
采用溶胶-凝胶(sol-gel)旋涂法在载玻片上制备了不同Al掺杂量的Mg-Al共掺杂ZnO薄膜.在室温下利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光(PL)谱仪等手段分析了Mg-Al共掺杂ZnO薄膜的微结构、形貌和发光特性.XRD结果表明Mg-Al... 采用溶胶-凝胶(sol-gel)旋涂法在载玻片上制备了不同Al掺杂量的Mg-Al共掺杂ZnO薄膜.在室温下利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光(PL)谱仪等手段分析了Mg-Al共掺杂ZnO薄膜的微结构、形貌和发光特性.XRD结果表明Mg-Al共掺杂ZnO薄膜具有六角纤锌矿结构;随着Al掺杂量的增加,共掺杂薄膜呈c轴取向生长.由SEM照片可知薄膜表面形貌随Al掺杂量的增加由颗粒状结构向纳米棒状结构转变.透射光谱表明共掺杂薄膜在可见光区内的透射率大于50%,紫外吸收边发生蓝移.在室温下的PL谱表明Mg-Al共掺杂ZnO薄膜的紫外发射峰向短波长方向移动;Al掺杂摩尔分数为1%和3%的Mg-Al共掺杂ZnO薄膜的可见发射峰分别为596 nm的黄光和565 nm的绿光,黄光主要与氧间隙有关,而绿光主要与氧空位有关. 展开更多
关键词 zno薄膜 Mg—Al共掺杂 溶胶一凝胶法 光致发光谱 缺陷能级
下载PDF
溶胶-凝胶法制备Li-N共掺ZnO纳米薄膜及其性能表征 被引量:5
12
作者 张建斌 吕从燕 +1 位作者 于富成 王雷 《兰州理工大学学报》 CAS 北大核心 2015年第3期32-35,共4页
采用溶胶-凝胶法在石英衬底上沉积Li-N共掺ZnO纳米薄膜,研究热处理温度和Li掺杂浓度对ZnO薄膜结构和光学性能的影响.结果表明:适度的Li掺杂,以及随着热处理温度的适度升高,会导致ZnO(002)峰的半峰宽减小,薄膜结晶质量明显改善,但过高浓... 采用溶胶-凝胶法在石英衬底上沉积Li-N共掺ZnO纳米薄膜,研究热处理温度和Li掺杂浓度对ZnO薄膜结构和光学性能的影响.结果表明:适度的Li掺杂,以及随着热处理温度的适度升高,会导致ZnO(002)峰的半峰宽减小,薄膜结晶质量明显改善,但过高浓度的掺杂或过高的热处理温度,则会诱发新的缺陷,导致结晶质量下降.另外Li掺杂引起ZnO薄膜的光学带隙发生变化,从而使样品在未掺杂时以紫光发光最强而掺杂后样品以紫外发光最强. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 zno纳米薄膜 掺杂
下载PDF
Na-Mg共掺杂ZnO薄膜的溶胶凝胶法制备及性能研究 被引量:7
13
作者 刘细妹 胡跃辉 +3 位作者 陈义川 马德福 徐斌 张志明 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2014年第3期287-290,共4页
在石英玻璃衬底上,利用溶胶-凝胶法制备了Na-Mg共掺的ZnO薄膜,研究改变Na掺杂量对ZnO薄膜的微观结构、表面形貌和光学性能的影响。样品采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外—可见光分光光度计UV-VIS进行了表征。结果表明:... 在石英玻璃衬底上,利用溶胶-凝胶法制备了Na-Mg共掺的ZnO薄膜,研究改变Na掺杂量对ZnO薄膜的微观结构、表面形貌和光学性能的影响。样品采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外—可见光分光光度计UV-VIS进行了表征。结果表明:随着Na掺杂增加,ZnO薄膜的结晶度提高,有利于(002)晶面择优生长,其中Na-Mg掺杂比为1:1时效果最佳,表面更平整,颗粒生长更致密,薄膜的透过率达88%,带隙宽度3.31 eV。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 共掺杂 zno薄膜 微观结构 表面形貌 光学性能
下载PDF
Na-N共掺对ZnO薄膜结构及光学性质的影响 被引量:3
14
作者 于富成 王雷 +3 位作者 吕从燕 丁会云 耿武 何玲 《兰州理工大学学报》 CAS 北大核心 2017年第1期29-32,共4页
采用溶胶/凝胶法在石英衬底上制备Na-N共掺ZnO纳米薄膜,研究Na掺杂原子分数对ZnO薄膜结构和光学性能的影响.结果表明:适度的Na掺杂,使得薄膜结晶质量明显改善,但过高原子分数的掺杂,则会诱发新的缺陷,导致结晶质量下降.在可见光区域,薄... 采用溶胶/凝胶法在石英衬底上制备Na-N共掺ZnO纳米薄膜,研究Na掺杂原子分数对ZnO薄膜结构和光学性能的影响.结果表明:适度的Na掺杂,使得薄膜结晶质量明显改善,但过高原子分数的掺杂,则会诱发新的缺陷,导致结晶质量下降.在可见光区域,薄膜透光率随Na掺杂原子分数的升高而升高,掺杂原子分数7.5%的薄膜透光率达到90%左右.Na掺杂原子分数对ZnO的光学带隙产生了直接的影响. 展开更多
关键词 溶胶/凝胶法 zno薄膜 掺杂
下载PDF
Al-Y共掺杂ZnO透明导电薄膜制备及光电性能研究 被引量:3
15
作者 阳生红 蒋志洁 +2 位作者 张曰理 汤健 王旭升 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期35-38,共4页
采用溶胶-凝胶法,在玻璃衬底上制备出Al-Y共掺杂的ZnO透明导电薄膜。X射线衍射(XRD)表明,Al-Y共掺杂ZnO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向。制备的Al-Y共掺杂ZnO薄膜电阻率最小值为1.63×102Ω·cm,在... 采用溶胶-凝胶法,在玻璃衬底上制备出Al-Y共掺杂的ZnO透明导电薄膜。X射线衍射(XRD)表明,Al-Y共掺杂ZnO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向。制备的Al-Y共掺杂ZnO薄膜电阻率最小值为1.63×102Ω·cm,在可见光区(400-800 nm)平均透过率超过85%。 展开更多
关键词 Al-Y共掺杂 zno透明导电薄膜 溶胶-凝胶
下载PDF
Cr掺杂ZnO薄膜晶体结构及光学性能的研究 被引量:3
16
作者 付长凤 韩连福 +1 位作者 刘超 陈希明 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第22期46-49,共4页
采用磁控溅射法在载玻片上制备了不同Cr掺杂浓度的ZnO薄膜,并对其紫外发光性能做了初步研究。XRD结果表明,所制备的样品具有纤锌矿结构,呈c轴择优取向生长;透射谱表明,改变Cr掺杂浓度可以使ZnO薄膜的吸收边向短波方向移动,并且薄膜的禁... 采用磁控溅射法在载玻片上制备了不同Cr掺杂浓度的ZnO薄膜,并对其紫外发光性能做了初步研究。XRD结果表明,所制备的样品具有纤锌矿结构,呈c轴择优取向生长;透射谱表明,改变Cr掺杂浓度可以使ZnO薄膜的吸收边向短波方向移动,并且薄膜的禁带宽度连续可调;光致发光(PL)谱表明,所有样品的PL谱由发光中心位于370nm的紫外发光峰组成,且该峰的峰位蓝移,与吸收边缘移动的结果吻合。2.0%(原子分数,下同)的Cr掺杂可以提高ZnO的紫外发光强度,而过量的Cr掺杂反而会降低其紫外发光强度。 展开更多
关键词 CR掺杂 zno薄膜 蓝移 磁控溅射法
下载PDF
溶胶-凝胶法制备Ag掺杂的ZnO薄膜及其结构和光学性能的研究(英文) 被引量:2
17
作者 年洪恩 申月 +3 位作者 任秀峰 李翔 海春喜 云强 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期1640-1644,共5页
溶胶-凝胶法制备了Ag掺杂的ZnO薄膜(AZO)。采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、UV-VIS分光光度计、光致发光检测研究了掺杂浓度和退火温度对AZO薄膜光学和结构的影响。AZO薄膜呈(002)择优生长的纤维锌矿六角形结构的多晶相。0.5%... 溶胶-凝胶法制备了Ag掺杂的ZnO薄膜(AZO)。采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、UV-VIS分光光度计、光致发光检测研究了掺杂浓度和退火温度对AZO薄膜光学和结构的影响。AZO薄膜呈(002)择优生长的纤维锌矿六角形结构的多晶相。0.5%和1%Ag掺杂的薄膜在可见光波长区域光学透过率在70%~80%之间,随着Ag掺杂浓度的升高平均透过率有所降低。5%Ag掺杂的ZnO薄膜经空气中700℃退火后出现两条发射光谱带,经He气氛中退火后UV发射光谱显著增强,并且可见光发射光谱随之消失。 展开更多
关键词 zno薄膜 退火温度 溶胶-凝胶法 AG掺杂 透过率
下载PDF
Ag、Al掺杂对ZnO薄膜结构和光学性能的影响 被引量:2
18
作者 秦秀娟 王佳宁 +3 位作者 卜立敏 孙丽 孟惠民 刘日平 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期10-13,共4页
采用两种溶胶-凝胶工艺在普通玻璃基片上制备Ag:ZnO和Al:ZnO薄膜,通过XRD、UV-Vis吸收谱等分析方法,研究掺杂Ag和Al对半导体ZnO薄膜的组织结构和光学性能的影响。分析表明:掺杂Ag和Al对ZnO薄膜结构的影响因成胶工艺不同而有差异。但掺... 采用两种溶胶-凝胶工艺在普通玻璃基片上制备Ag:ZnO和Al:ZnO薄膜,通过XRD、UV-Vis吸收谱等分析方法,研究掺杂Ag和Al对半导体ZnO薄膜的组织结构和光学性能的影响。分析表明:掺杂Ag和Al对ZnO薄膜结构的影响因成胶工艺不同而有差异。但掺杂离子对ZnO薄膜光学性能的影响结论是一致的。即Al3+离子掺杂显著减小了晶粒尺寸,薄膜禁带宽度增大,紫外—可见光吸收边出现蓝移。Ag+离子掺杂增大了晶粒尺寸,薄膜禁带宽度减小,紫外—可见光吸收边出现红移。 展开更多
关键词 掺杂zno薄膜 溶胶-凝胶法 结构特性 光学特性
下载PDF
Fe、Ni共掺杂ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能研究 被引量:2
19
作者 胡志刚 周勋 +8 位作者 徐明 刘方舒 段满益 吴定才 董成军 陈尚荣 吴艳南 纪红萱 令狐荣锋 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期257-261,共5页
采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上旋涂生长了ZnO、Fe,Ni单掺杂及(Fe,Ni)共掺杂ZnO薄膜。产物的显微照片及XRD图谱结果表明,该方法所制备的ZnO薄膜表面均匀致密,都存在(002)择优取向,具有六角纤锌矿结构,晶粒尺寸平均在13nm左右,振动样品磁强... 采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上旋涂生长了ZnO、Fe,Ni单掺杂及(Fe,Ni)共掺杂ZnO薄膜。产物的显微照片及XRD图谱结果表明,该方法所制备的ZnO薄膜表面均匀致密,都存在(002)择优取向,具有六角纤锌矿结构,晶粒尺寸平均在13nm左右,振动样品磁强计(VSM)测试结果显示掺杂ZnO薄膜均存在室温铁磁性。光致发光(PL)测量表明所有样品薄膜的PL谱主要由较强的紫外发光峰(394nm)、蓝光峰(420nm)、绿光峰(480nm)组成。Fe、Ni单掺杂和共掺杂并不改变ZnO薄膜的发光峰位置,但掺杂后该紫外发光峰减弱,420nm处的蓝光峰增强。 展开更多
关键词 zno薄膜 FE Ni掺杂 光致发光 溶胶-凝胶法 室温铁磁性
下载PDF
掺杂对ZnO溶胶凝胶薄膜光电特性影响的研究进展 被引量:2
20
作者 李建昌 曹青 +1 位作者 侯雪艳 巴德纯 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期955-963,共9页
ZnO作为宽禁带透明半导体材料在光电领域具有广阔应用前景,通过掺杂可改善其光电性能。本文从第一性原理理论计算和实验方面综述了掺杂对ZnO溶胶凝胶薄膜光电特性影响的最新进展。III、IV族及稀土元素掺杂可在ZnO导带底引入大量载流子,... ZnO作为宽禁带透明半导体材料在光电领域具有广阔应用前景,通过掺杂可改善其光电性能。本文从第一性原理理论计算和实验方面综述了掺杂对ZnO溶胶凝胶薄膜光电特性影响的最新进展。III、IV族及稀土元素掺杂可在ZnO导带底引入大量载流子,使费米能级进入导带,利于n型导电。I、IB族或V族元素掺杂可替代Zn或O原子位置,产生受主杂质能级,增加受主浓度,利于p型导电。单掺杂ZnO薄膜电阻率较高,共掺杂可提高杂质溶解度,减少自补偿作用,提高p型导电性。元素掺杂可调整ZnO带隙且与掺杂元素氧化物的带隙相关,Mg、Al、Ga、In掺杂使带隙增大,Cd掺杂则使带隙减小。指出需进一步探究掺杂ZnO薄膜的缺陷与能级结构,开展ZnO纳米晶和基于ZnO的多元复合薄膜研究等。 展开更多
关键词 zno薄膜 掺杂 光电特性 溶胶凝胶法
下载PDF
上一页 1 2 4 下一页 到第
使用帮助 返回顶部