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Synergistic coupling of 0D-2D heterostructure from ZnO and Ti_(3)C_(2)T_(x)MXene-derived TiO_(2)for boosted NO_(2)detection at room temperature 被引量:1
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作者 Hong-Peng Li Jie Wen +7 位作者 Shu-Mei Ding Jia-Bao Ding Zi-Hao Song Chao Zhang Zhen Ge Xue Liu Rui-Zheng Zhao Feng-Chao Li 《Nano Materials Science》 EI CAS CSCD 2023年第4期421-428,共8页
2D MXenes are highly attractive for fabricating high-precision gas sensors operated at room temperature(RT)due to their high surface-to-volume ratio.However,the limited selectivity and low sensitivity are still long-s... 2D MXenes are highly attractive for fabricating high-precision gas sensors operated at room temperature(RT)due to their high surface-to-volume ratio.However,the limited selectivity and low sensitivity are still long-standing challenges for their further applications.Herein,the self-assembly of 0D-2D heterostructure for highly sensitive NO_(2) detection was achieved by integrating ZnO nanoparticles on Ti_(3)C_(2)Tx MXene-derived TiO_(2) nanosheets(designated as ZnO@MTiO_(2)).ZnO nanoparticles can not only act as spacers to prevent the restacking of MTiO_(2) nanosheets and ensure effective transfer for gas molecules,but also enhance the sensitivity of the sensor the through trapping effect on electrons.Meanwhile,MTiO_(2) nanosheets facilitate gas diffusion for rapid sensor response.Benefiting from the synergistic effect of individual components,the ZnO@MTiO_(2)0D-2D heterostructure-based sensors revealed remarkable sensitivity and excellent selectivity to low concentration NO_(2) at RT.This work may facilitate the sensing application of MXene derivative and provide a new avenue for the development of high-performance gas sensors in safety assurance and environmental monitoring. 展开更多
关键词 MXene derivative heterostructure Gas sensors TiO_(2)zno
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Self-Assembled Al Nanostructure/ZnO Quantum Dot Heterostructures for High Responsivity and Fast UV Photodetector 被引量:3
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作者 Sisi Liu Ming‑Yu Li +4 位作者 Jianbing Zhang Dong Su Zhen Huang Sundar Kunwar Jihoon Lee 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第9期96-108,共13页
Light confinement induced by spontaneous near-surface resonance is inherently determined by the location and geometry of metallic nanostructures(NSs),offering a facile and effective approach to break through the limit... Light confinement induced by spontaneous near-surface resonance is inherently determined by the location and geometry of metallic nanostructures(NSs),offering a facile and effective approach to break through the limitation of the light-mater interaction within the photoactive layers.Here,we demonstrate high-performance Al NS/ZnO quantum dots(Al/ZnO) heterostructure UV photodetectors with controllable morphologies of the self-assembled Al NSs.The Al/ZnO heterostructures exhibit a superior light utilization than the ZnO/Al heterostructures,and a strong morphological dependence of the Al NSs on the optical properties of the heterostructures.The inter-diffusion of Al atoms into ZnO matrixes is of a great benefit for the carrier transportation.Consequently,the optimal photocurrent of the Al/ZnO heterostructure photodetectors is significantly increased by 275 times to ~1.065 mA compared to that of the pristine ZnO device,and an outstanding photoresponsivity of 11.98 A W-1 is correspondingly achieved under 6.9 MW cm-2 UV light illumination at 10 V bias.In addition,a relatively fast response is similarly witnessed with the Al/ZnO devices,paving a path to fabricate the high-performance UV photodetectors for applications. 展开更多
关键词 Al/zno heterostructure photodetectors Plasmonic enhancement zno quantum dots Self-assembled Al nanostructures
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Electrical and deep levels characteristics of ZnO/Si heterostructure by MOCVD deposition 被引量:5
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作者 刘磁辉 刘秉策 付竹西 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第6期2292-2296,共5页
ZnO films have been prepared on p-type Si substrates by metal-organic chemical vapour deposition (MOCVD) at different total gas flow rates. The current versus voltage and temperature (I - V - T) characteristics, t... ZnO films have been prepared on p-type Si substrates by metal-organic chemical vapour deposition (MOCVD) at different total gas flow rates. The current versus voltage and temperature (I - V - T) characteristics, the deep-level transient spectroscopy (DLTS) and the photoluminescence (PL) spectra of the samples were measured. DLTS shows two deep-level centres of E1 (Ec-0.13±0.02eV) and E2 (Ec-0.43±0.05eV) in sample 1202a, which has a ZnO/p-Si heterostructure. A deep level at Ec-0.13±0.01 eV was also obtained from the I -T characteristics. It was considered to be the same as E1 obtained from DLTS measurement. The emission related to this deep level center was detected by PL spectra. In addition, the energy location and the relative trap density of E1 was varied when the total gas flow rate was changed. 展开更多
关键词 MOCVD zno/Si heterostructure PL spectra deep-level emission
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Current transport in ZnO/Si heterostructure grown by laser molecular beam epitaxy
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作者 滕晓云 吴艳华 +2 位作者 于威 高卫 傅广生 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第9期440-444,共5页
The n-ZnO/p-Si heterojunction was fabricated by depositing high quality single crystalline aluminium-doped n-type ZnO film on p-type Si using the laser molecular beam epitaxy technique. The heterojunction exhibited a ... The n-ZnO/p-Si heterojunction was fabricated by depositing high quality single crystalline aluminium-doped n-type ZnO film on p-type Si using the laser molecular beam epitaxy technique. The heterojunction exhibited a good rectifying behavior. The electrical properties of the heterojunction were investigated by means of temperature dependence current density-voltage measurements. The mechanism of the current transport was proposed based on the band structure of the heterojunction. When the applied bias V is lower than 0.15 V, the current follows the Ohmic behavior. When 0.15 V ~ V 〈 0.6 V, the transport property is dominated by diffusion or recombination in the junction space charge region, while at higher voltages (V 〉 0.6 V), the space charge limited effect becomes the main transport mechanism. The current-voltage characteristic under illumination was also investigated. The photovoltage and the short circuit current density of the heterojunction aproached 270 mV and 2.10 mA/cm^2, respectively. 展开更多
关键词 zno/Si heterostructure current transport laser molecular beam epitaxy
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Electrochemical Synthesis of Novel Zn-Doped TiO_2 Nanotube/ZnO Nanoflake Heterostructure with Enhanced DSSC Efficiency 被引量:2
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作者 Aijo John K Johns Naduvath +6 位作者 Sudhanshu Mallick Jacob W.Pledger S.K.Remillard P.A.De Young Manju Thankamoniamma T.Shripathi Rachel Reena Philip 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS 2016年第4期381-387,共7页
The paper reports the fabrication of Zn-doped TiO_2 nanotubes(Zn-TONT)/ZnO nanoflakes heterostructure for the first time,which shows improved performance as a photoanode in dye-sensitized solar cell(DSSC).The layered ... The paper reports the fabrication of Zn-doped TiO_2 nanotubes(Zn-TONT)/ZnO nanoflakes heterostructure for the first time,which shows improved performance as a photoanode in dye-sensitized solar cell(DSSC).The layered structure of this novel nanoporous structure has been analyzed unambiguously by Rutherford backscattering spectroscopy,scanning electron microscopy,and X-ray diffractometer.The cell using the heterostructure as photoanode manifests an enhancement of about an order in the magnitude of the short circuit current and a seven-fold increase in efficiency,over pure TiO_2 photoanodes.Characterizations further reveal that the Zn-TONT is preferentially oriented in [001] direction and there is a Ti metal-depleted interface layer which leads to better band alignment in DSSC. 展开更多
关键词 Zn-doped TiO2 nanotubes zno nanoflakes heterostructures DSSC
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ZnO/ZnS heterostructure in N-doped porous carbon for anchoring-diffusion-conversion of polysulfides for high-performance lithium-sulfur batteries
6
作者 Fei Wang Rong-Wei Huang +7 位作者 Wen-Chang Han Chun-Man Yang Wen-Hao Yang Peng Dong Chao-Ling Wu Yi-Yong Zhang Xue Li Ying-Jie Zhang 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第8期3661-3676,共16页
The shuttle effect of polysulfides is one of the key factors hindering the commercialization of lithiumsulfur batteries(LSBs).Owing to their high conductivity and advantageous structure,heterostructures can be used in... The shuttle effect of polysulfides is one of the key factors hindering the commercialization of lithiumsulfur batteries(LSBs).Owing to their high conductivity and advantageous structure,heterostructures can be used in sulfur fixation and catalysis of LSBs.In this study,a flower-shaped ZnO/ZnS heterostructure on a nitrogendoped porous carbon(NPC) sulfur host was designed.The ZnO/ZnS heterostructure regulates the electronic structure of the material and exhibits higher metal-like properties.Moreover,the ZnO/ZnS heterostructure combines the strong adsorption property of ZnO and the high catalytic ability of ZnS to realize the anchoring-diffusionconversion of lithium poly sulfides(LiPSs).Results reveal that the developed ZnO/ZnS@NPC/S cathode has excellent electrochemical performance in LSBs,achieving a high discharge specific capacity of 1365.3 mAh·g^(-1) at 0.1C and excellent rate capability(719 mAh·g^(-1) at 2C;the capacity decay rate is only 0.042% per cycle after 1000 cycles).Even under a high sulfur loading-E/S(electrolyte/sulfur)ratio of 5.1 mg·cm^(-2)-6 μl·mg^(-1),a high specific capacity of 723.7 mAh·g^(-1) is maintained after 60 cycles.This study provides a new strategy for a multifunctional sulfur host that can effectively alleviate the shuttle effect of LiPSs and improve the utilization of sulfur active substances. 展开更多
关键词 zno/ZnS heterostructure Lithium-sulfur batteries Density functional theory Anchor CONVERSION
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Al-doped ZnO/WO_(3) heterostructure films prepared by magnetron sputtering for isopropanol sensors 被引量:2
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作者 Wei-Xiang Gao Xue-Ting Chang +5 位作者 Xiao-Jie Zhu Jun-Feng Li Ying-Chang Jiang Dong-Sheng Wang Chuan-Xiao Yang Shi-Bin Sun 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第1期247-256,共10页
Metal oxide semiconductors(MOSs) are ideal sensing materials for detecting volatile organic compounds due to their low cost, diversity, high stability, and ease of production. However, it remains a grand challenge to ... Metal oxide semiconductors(MOSs) are ideal sensing materials for detecting volatile organic compounds due to their low cost, diversity, high stability, and ease of production. However, it remains a grand challenge to develop the MOSs-based gas sensors for sensing isopropanol with desired performance via a simple, effective,and controllable method. Herein, we reported the preparation of the Al-doped Zn O(AZO)/WO_(3) heterostructure films by directly depositing the AZO coating onto the WO_(3) coating using a strategy of magnetron sputtering. The AZO/WO_(3) heterostructure films were constructed by numbers of irregular nanoparticles that were interconnected with each other. The AZO/WO_(3) heterostructure films-based gas sensors exhibited excellent isopropanolsensing performance with high response, promising selectivity, low detection limit, fast response rate, wide detection range, and ideal reproducibility. The promising isopropanol-sensing performance of the AZO/WO_(3) heterostructure films arises mainly from their high uniformity, unique microstructures with high surface roughness,and the construction of the heterostructure between the AZO and WO_(3) coatings. This work provides a versatile approach to prepare the MOSs-based heterostructure films for assembling the gas sensors. 展开更多
关键词 Metal oxide semiconductors Gas sensors Aldoped zno/WO_(3) heterostructure films ISOPROPANOL Magnetron sputtering
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SiS_(2)/ZnO范德华异质结光催化水分解第一性原理研究
8
作者 李家豪 黄欣 杨志红 《原子与分子物理学报》 CAS 北大核心 2025年第6期31-36,共6页
基于第一性原理方法,研究了SiS_(2)/ZnO范德华异质结的电子结构和光催化性质.结果表明,SiS_(2)/ZnO异质结是带隙值为1.32 eV的半导体材料,表现出交错排列的能带结构.在异质结界面处,形成了从ZnO指向SiS_(2)的内置电场,该内置电场的存在... 基于第一性原理方法,研究了SiS_(2)/ZnO范德华异质结的电子结构和光催化性质.结果表明,SiS_(2)/ZnO异质结是带隙值为1.32 eV的半导体材料,表现出交错排列的能带结构.在异质结界面处,形成了从ZnO指向SiS_(2)的内置电场,该内置电场的存在使得SiS_(2)/ZnO异质结中形成了特殊的“Z-型”载流子迁移模式,有利于电子空穴对的有效分离,同时增强了载流子的氧化还原能力.异质结构具有良好的热力学稳定性,且带边位置跨越水的氧化还原电位.与单层材料相比,SiS_(2)/ZnO异质结光吸收谱出现红移现象,表现出更宽的光吸收范围(从可见光到紫外光)及更强的光吸收强度(达到10~5 cm^(-1)量级).另外,通过施加双轴应变,可以有效调控SiS_(2)/ZnO异质结的带隙值.以上结果表明SiS_(2)/ZnO异质结有潜力成为新型光催化剂用于全解水. 展开更多
关键词 SiS_(2)/zno Z-型范德华异质结 光催化 电子结构 第一性原理
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新型泡沫镍模板Ti_(3)C_(2)T_(x)@ZnO复合材料光降解RhB应用研究
9
作者 黄超 李孟遥 战光辉 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2024年第5期993-1002,共10页
工业染料废水的净化对缓解水资源危机至关重要,但传统的金属氧化物半导体光催化降解方法存在成本高、效率低等问题。与之形成鲜明对比的是,MXenes材料因其高比表面积和优秀的导电性,尤其是经过剥离的片状MXenes材料,在光照下展示出了卓... 工业染料废水的净化对缓解水资源危机至关重要,但传统的金属氧化物半导体光催化降解方法存在成本高、效率低等问题。与之形成鲜明对比的是,MXenes材料因其高比表面积和优秀的导电性,尤其是经过剥离的片状MXenes材料,在光照下展示出了卓越的电荷转移能力,MXenes材料的利用开辟了光催化反应的新途径。特别是,MXenes如Ti_(3)C_(2)T_(x)与传统ZnO相比,在催化效率和稳定性上都有显著提升。本研究将ZnO与Ti_(3)C_(2)T_(x)结合,制备了一种高比表面积的光催化复合材料,既增加了活性位点,也显著提高了光催化效率。通过水热法,成功将单层Ti_(3)C_(2)T_(x)涂覆在泡沫镍上,并在其上生长ZnO纳米棒,制备出高效的光催化降解材料。实验结果表明,性能最优的材料能在100 min内将RhB的降解率提升至97.7%,同时也有效降解了四环素和对氯苯酚。这证明MXenes材料和金属氧化物复合材料在光催化染料降解领域具有巨大的应用潜力。 展开更多
关键词 zno MXenes 光催化 异质结构 罗丹明B
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衬底温度对PLD方法生长Si(111)基ZnO薄膜结晶质量和发光特性的影响 被引量:8
10
作者 庄惠照 何建廷 +4 位作者 薛成山 张晓凯 田德恒 胡丽君 薛守斌 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1105-1108,共4页
在不同衬底温度下用脉冲激光沉积法(PLD)在n型硅(111)衬底上生长ZnO薄膜。通过对薄膜进行的X射线衍射(XRD)、傅里叶红外吸收(FTIR)、光致发光谱(PL)、透射电子显微镜(TEM)和选区电子衍射(SAED)的测量,研究了衬底温度对PLD方法制备的ZnO... 在不同衬底温度下用脉冲激光沉积法(PLD)在n型硅(111)衬底上生长ZnO薄膜。通过对薄膜进行的X射线衍射(XRD)、傅里叶红外吸收(FTIR)、光致发光谱(PL)、透射电子显微镜(TEM)和选区电子衍射(SAED)的测量,研究了衬底温度对PLD方法制备的ZnO薄膜的结晶质量、发光性质以及微观结构的影响。发现在600℃的衬底温度下可以得到结晶质量最佳的ZnO薄膜。随着晶粒直径的减小,出现量子限制效应,在红外吸收和光致发光中的峰位均产生了蓝移。 展开更多
关键词 pld zno 薄膜 六方纤锌矿结构
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PLD法生长硅基ZnO薄膜的特性 被引量:5
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作者 何建廷 庄惠照 +1 位作者 薛成山 王书运 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期24-26,共3页
用脉冲激光沉积法(PLD)在n型硅(111)平面上生长ZnO薄膜。XRD在2θ为34°处出现了唯一的衍射峰,半高宽仅0.85°;傅里叶红外吸收(FTIR)在413.08cm–1附近出现了对应Zn—O键的红外光谱的特征吸收峰;光致发光(PL)测量发现了位于330,... 用脉冲激光沉积法(PLD)在n型硅(111)平面上生长ZnO薄膜。XRD在2θ为34°处出现了唯一的衍射峰,半高宽仅0.85°;傅里叶红外吸收(FTIR)在413.08cm–1附近出现了对应Zn—O键的红外光谱的特征吸收峰;光致发光(PL)测量发现了位于330,368,417和467nm处的室温光致发光峰;SEM和TEM显示了薄膜的表面形貌以及结晶程度。ZnO单晶薄膜具有c轴取向高度一致的六方纤锌矿结构。 展开更多
关键词 半导体技术 zno薄膜 pld 六方纤锌矿结构
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退火对用PLD法制备ZnO薄膜的发光影响 被引量:3
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作者 魏显起 王勇杰 张仲 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期224-228,共5页
用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(111)和蓝宝石衬底上制备的氧化锌薄膜,在不同的退火温度和不同的退火氛围中进行了退火处理.退火温度及退火氛围对ZnO薄膜的结构和发光特性的影响用X射线衍射(XRD)谱和光致发光谱进行了表征.实验结果表明,... 用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(111)和蓝宝石衬底上制备的氧化锌薄膜,在不同的退火温度和不同的退火氛围中进行了退火处理.退火温度及退火氛围对ZnO薄膜的结构和发光特性的影响用X射线衍射(XRD)谱和光致发光谱进行了表征.实验结果表明,随着退火温度的提高,ZnO薄膜的压应力减小,并向张应力转化.在不同的退火温度退火的薄膜的光致发光谱表明,随着退火温度的提高,薄膜的紫外发射逐渐增强,缺陷发射逐渐减小.在不同退火条件下的退火实验表明,在蓝宝石衬底上、氧气氛围中退火的薄膜,在700℃时呈现无应力,紫外发射强度对可见发射强度的比例最大. 展开更多
关键词 pld zno薄膜 应力 晶体结构 光致发光谱
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PLD法薄膜沉积条件对ZnO薄膜特性的影响 被引量:4
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作者 郭茂田 田臻锋 陈兴科 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期57-58,共2页
介绍了基于PLD方法制备的ZnO薄膜,在衬底温度(200-400℃)改变的情况下,分别对薄膜的表面结构和光致发光的情况做了研究,发现其相关特性并得出了制备薄膜的最佳条件。
关键词 zno薄膜 pld 衬底温度
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原子力显微镜在PLD法制备ZnO薄膜表征中的应用 被引量:4
14
作者 李丽丽 梁齐 +3 位作者 仇旭升 汪壮兵 宣晓峰 于永强 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期63-68,共6页
利用脉冲激光沉积(PLD)法在氧压为16Pa、衬底温度为400~700℃时,在单晶Si(100)衬底上制备ZnO薄膜,并通过原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)谱和光致发光谱对制得的薄膜样品进行表面形貌、结构特性和发光性质研究。其中通过原子力显微... 利用脉冲激光沉积(PLD)法在氧压为16Pa、衬底温度为400~700℃时,在单晶Si(100)衬底上制备ZnO薄膜,并通过原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)谱和光致发光谱对制得的薄膜样品进行表面形貌、结构特性和发光性质研究。其中通过原子力显微镜对样品的二维、三维以及剖面线图进行了分析。结果表明衬底温度700℃时得到的薄膜样品表面较均匀致密,晶粒生长较充分,结晶质量较高,相对发光强度高。控制氧压为5.7Pa,在衬底温度为600℃,沉积时间分别为10,20,45min制备ZnO薄膜样品;利用原子力显微镜对样品进行表面形貌观察,得知只有沉积时间足够长才能使薄膜表面晶粒充分生长。 展开更多
关键词 zno薄膜 脉冲激光沉积 原子力显微镜 X射线衍射 光致发光
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氧离子束辅助PLD法生长ZnO/Si的XPS研究 被引量:2
15
作者 李庚伟 吴正龙 刘志凯 《渤海大学学报(自然科学版)》 CAS 2007年第1期24-27,共4页
利用X射线光电子能谱(XPS)深度剖析方法对ZnO/Si异质结构同一典型样品的不同部位进行了分析。讨论了同时刻(厚度)样品的生长情况及所说明的问题。提出要使样品生长得更理想,应做到使DIBD系统连续工作。
关键词 zno/Si异质结构 X射线光电子能谱(XPS) 氧离子束辅助(O^+-assisted)pld
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PLD法制备基于缓冲层的ZnO薄膜及纳米棒研究进展
16
作者 梁金 梁齐 +2 位作者 安宁宁 饶晓俊 王莉 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期65-68,共4页
综述了脉冲激光沉积(PLD)法基于缓冲层制备ZnO薄膜及ZnO纳米棒的研究进展,分析了缓冲层对于生长高质量ZnO薄膜及纳米棒的作用,得到结论:引入缓冲层可以减少沉积物与衬底晶格失配以及热膨胀系数不匹配的问题。
关键词 zno薄膜 zno纳米棒 综述 pld 缓冲层
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氮气压强对PLD制备ZnO薄膜形貌及光电性能的影响 被引量:3
17
作者 吴克跃 吴兴举 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期190-194,共5页
研究了氮气压强对脉冲激光沉积(PLD)法制备ZnO薄膜形貌及光电学性能的影响。结果表明,当氮气压强较低时,ZnO薄膜是由尺寸为50 nm的薄片组成;当氮气压强增加后,ZnO薄膜变成多孔状,并且组成ZnO薄膜的颗粒尺寸逐渐减小。在氮气压强为20 Pa... 研究了氮气压强对脉冲激光沉积(PLD)法制备ZnO薄膜形貌及光电学性能的影响。结果表明,当氮气压强较低时,ZnO薄膜是由尺寸为50 nm的薄片组成;当氮气压强增加后,ZnO薄膜变成多孔状,并且组成ZnO薄膜的颗粒尺寸逐渐减小。在氮气压强为20 Pa以上时,所制备的ZnO薄膜的光致荧光(PL)光谱是由380 nm的带边发光峰和520 nm的缺陷发光峰组成;当氮气压强较低时(5 Pa和2 Pa),ZnO薄膜的PL光谱只有一个位于400 nm或410 nm处的发光峰。电学方面,2 Pa和5 Pa氮气压强下制备的ZnO薄膜的电阻率约为氮气压强为20 Pa和50 Pa下制备样品的104和105倍。研究表明,当氮气压强较低时,Zn离子和O离子具有较大平均自由程和较大平均动能,因此易使N2离子化,可以使部分N离子掺入ZnO晶格中。当氮气压强较高时,Zn离子和O离子平均动能较小,不易使N2离子化,氮难于掺入ZnO晶格中。 展开更多
关键词 zno 氮气 脉冲激光沉积 光电性能
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PLD法生长高质量ZnO薄膜及其光电导特性研究 被引量:2
18
作者 边继明 李效民 +1 位作者 赵俊亮 于伟东 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期701-706,共6页
采用脉冲激光沉积(PLD)法在单晶Si(100)衬底上生长ZnO薄膜,以X射线衍射 (XRD)和场发射扫描电镜(SEM)等手段分析了所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌.结果表明,随着衬底温度和薄膜生长时氧分压的增加, ZnO薄膜的晶体结构和化学计量比得... 采用脉冲激光沉积(PLD)法在单晶Si(100)衬底上生长ZnO薄膜,以X射线衍射 (XRD)和场发射扫描电镜(SEM)等手段分析了所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌.结果表明,随着衬底温度和薄膜生长时氧分压的增加, ZnO薄膜的晶体结构和化学计量比得到显著改善.优化工艺(700℃,20Pa)下生长的ZnO薄膜呈c轴高度择优取向,柱状晶垂直衬底表面生长,结构致密均匀.以不同暗电阻的ZnO薄膜为材料,利用剥离(lift-off)技术制备了MSM 结构ZnO光电导型紫外探测器.紫外光照射前后的I—V特性测试表明ZnO薄膜产生非常明显的光电导现象,分析了其光电响应机理. 展开更多
关键词 zno薄膜 脉冲激光沉积 光电导紫外探测器 光电响应机理
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PLD法制备透明ZnO薄膜的主要点缺陷研究
19
作者 赵志娟 丁玲红 张伟风 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第2期260-262,265,共4页
采用脉冲激光沉积(PLD)法在石英衬底上制备了ZnO薄膜。为研究ZnO薄膜内部主要点缺陷,我们用(002)ZnO单晶与ZnO薄膜作对比,并进行了霍尔测试、X线衍射(XRD)和光学透射谱等基本表征。霍尔测量得到的高的霍尔迁移率及XRD图表明,制备的ZnO... 采用脉冲激光沉积(PLD)法在石英衬底上制备了ZnO薄膜。为研究ZnO薄膜内部主要点缺陷,我们用(002)ZnO单晶与ZnO薄膜作对比,并进行了霍尔测试、X线衍射(XRD)和光学透射谱等基本表征。霍尔测量得到的高的霍尔迁移率及XRD图表明,制备的ZnO薄膜结晶良好,具有沿c轴高度择优取向。同时,ZnO薄膜衍射峰相对于单晶向大角度方向发生了漂移。透射谱表明,ZnO薄膜在可见光区透过率为75%,吸收带边相对于单晶发生蓝移。各种表征手段证明PLD法制备的ZnO薄膜主要点缺陷为Zn填隙(Zni)。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积(pld) 点缺陷 zno薄膜 zno单晶 Zni
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PLD法生长Al2O3基ZnO薄膜的特性
20
作者 何建廷 曹文田 +1 位作者 李田泽 庄惠照 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2008年第12期60-62,共3页
在不同衬底温度下,用脉冲激光沉积法(PLD),在Al2O3(0001)平面上生长了ZnO薄膜。研究了衬底温度对其结晶质量、电学性质以及发光性质的影响。结果显示:XRD在2θ为34°处出现了唯一的ZnO(0002)衍射峰;ZnO薄膜的电阻率随衬底温度的升... 在不同衬底温度下,用脉冲激光沉积法(PLD),在Al2O3(0001)平面上生长了ZnO薄膜。研究了衬底温度对其结晶质量、电学性质以及发光性质的影响。结果显示:XRD在2θ为34°处出现了唯一的ZnO(0002)衍射峰;ZnO薄膜的电阻率随衬底温度的升高而增大;在衬底温度为500℃时,出现了位于410nm附近的特殊的光致发光(PL)峰。 展开更多
关键词 无机非金属材料 pld zno 薄膜 AL2O3 半导体材料
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