期刊文献+
共找到65篇文章
< 1 2 4 >
每页显示 20 50 100
电位控制ZnO/表面活性剂复合多层膜在固/液界面上的自组装
1
作者 景怀宇 李明 麦振洪 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1711-1715,共5页
通过控制固/液界面电极电位的方式,控制表面活性剂和金属离子在电极表面的自组装,制备出了高度取向的ZnO/表面活性剂复合多层膜.对无机层形态和结构进行了分析,并采用X射线反射率和X射线漫散射研究了电极电位控制下ZnO/表面活性剂复合... 通过控制固/液界面电极电位的方式,控制表面活性剂和金属离子在电极表面的自组装,制备出了高度取向的ZnO/表面活性剂复合多层膜.对无机层形态和结构进行了分析,并采用X射线反射率和X射线漫散射研究了电极电位控制下ZnO/表面活性剂复合多层膜在固/液界面的自组装生长.结果表明,在一定电位下,只有当表面活性剂浓度低于其饱和吸附浓度时,采用阶跃电位沉积方式才能明显改变复合薄膜的周期厚度;恒电位沉积方式控制电极电位时,随着沉积电位的提高,多层膜层状结构由一组层状相变为多组层状相,同时层状结构的取向变差.实验研究结果验证了电化学自组装过程是由金属离子的还原速度和表面活性剂的吸附速度二者共同控制完成的. 展开更多
关键词 电化学自组装 zno/表面活性剂复合多层膜 电极电位 X射线
下载PDF
电解质、聚合物或蛋白质诱导下在固液界面处形成的表面活性剂自组装结构和多层结构(续完)
2
作者 肖进新 Jordan T.Petkov +1 位作者 Jeffery Penfold Robert K.Thomas 《日用化学品科学》 CAS 2023年第11期1-5,17,共6页
3涉及表面活性剂和聚合物的表面复合物的形成使用按顺序构建的吸附技术(如L-by-L、LB和LS方法),涉及聚合物特别是聚电解质的结构化的表面层的形成已经很成熟~([15-17]),并已应用于平面固体表面和一系列纳米颗粒。在各种工业、技术、医... 3涉及表面活性剂和聚合物的表面复合物的形成使用按顺序构建的吸附技术(如L-by-L、LB和LS方法),涉及聚合物特别是聚电解质的结构化的表面层的形成已经很成熟~([15-17]),并已应用于平面固体表面和一系列纳米颗粒。在各种工业、技术、医疗和家庭应用中,这种表面结构在开发功能化表面和对润湿性能的操纵方面备受关注~([16,17,20,21,43-45])。另一种替代方法是使用表面活性剂或聚电解质-表面活性剂混合物的自组装体,对吸附的聚电解质层进行修饰,以形成复杂的层状或自组装表面结构。 展开更多
关键词 表面活性 聚电解质 表面复合 吸附技术 固液界面 润湿性能 表面 多层结构
下载PDF
表面活性剂对硫醇单层膜修饰金电极电化学行为的影响 被引量:4
3
作者 马勇 王建国 +2 位作者 惠飞 霍俊杰 臧树良 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第13期1309-1313,共5页
利用自组装方法在金电极表面制备成硫醇单层膜,循环伏安和交流阻抗实验表明硫醇单层膜与表面活性剂十六烷基三甲基溴化胺作用后,其电化学行为发生变化,对于带有不同电荷的探针分子,表现出一定的选择性响应.即使是带有相同电荷的探针分子... 利用自组装方法在金电极表面制备成硫醇单层膜,循环伏安和交流阻抗实验表明硫醇单层膜与表面活性剂十六烷基三甲基溴化胺作用后,其电化学行为发生变化,对于带有不同电荷的探针分子,表现出一定的选择性响应.即使是带有相同电荷的探针分子,由于与表面活性剂的作用方式不同,也使它们通过硫醇单层膜在电极表面产生电化学响应的程度完全不同. 展开更多
关键词 自组装单 表面活性 循环伏安法 交流阻抗
下载PDF
复合式自生动态膜生物反应器处理表面活性剂废水 被引量:5
4
作者 郭冀峰 王荣昌 夏四清 《中国给水排水》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期13-16,21,共5页
将动态膜技术与悬浮填料工艺相结合而构建了复合式自生动态膜生物反应器。采用该反应器处理表面活性剂废水,当悬浮填料的填充比为40%时,对浊度、COD、LAS和NH3-N的去除率分别可达98%、95%、97%和94%以上。两边侧向曝气不仅能够加大膜面... 将动态膜技术与悬浮填料工艺相结合而构建了复合式自生动态膜生物反应器。采用该反应器处理表面活性剂废水,当悬浮填料的填充比为40%时,对浊度、COD、LAS和NH3-N的去除率分别可达98%、95%、97%和94%以上。两边侧向曝气不仅能够加大膜面的错流流速,而且还使错向流分布得更加均匀,同时由于悬浮填料的摩擦作用,使得自生动态膜的增长较慢,保证了出水通量的稳定,延长了清洗周期。可见,该工艺适合于处理表面活性剂废水。 展开更多
关键词 复合式自生动态生物反应器 表面活性废水 生物 填料 填充比 通量
下载PDF
表面活性剂对壳聚糖-乳清分离蛋白-纳米TiO_2复合膜保鲜性能的影响 被引量:3
5
作者 王琦 陈季旺 +2 位作者 陈悦 宋光森 夏文水 《食品科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期264-269,共6页
为研究表面活性剂对壳聚糖-乳清分离蛋白-纳米Ti O2复合膜(chitosan-whey protein isolate-nano Ti O2composite film,CWTF)在果蔬保鲜应用中性能的影响,将表面活性剂吐温(tween,TW)20、TW60、TW80、TW85分别添加到CWTF成膜液中,测定制... 为研究表面活性剂对壳聚糖-乳清分离蛋白-纳米Ti O2复合膜(chitosan-whey protein isolate-nano Ti O2composite film,CWTF)在果蔬保鲜应用中性能的影响,将表面活性剂吐温(tween,TW)20、TW60、TW80、TW85分别添加到CWTF成膜液中,测定制备复合膜的拉伸强度、断裂延伸率、透明度及透水性能,并分析表面活性剂对CWTF性质的影响。将加有不同表面活性剂的CWTF涂膜液涂覆到鲜切雷竹笋上,测定其贮藏过程中的质量损失率。结果显示,添加表面活性剂后CWTF表面光滑程度均有不同程度的劣变,按照膜机械性能及透水性能等从优到劣的排序依次为CWTF、CWTF-TW20、CWTF-TW85、CWTF-TW80、CWTF-TW60。涂膜实验结果表明,涂膜组雷竹笋的质量损失率均低于未涂膜组,不同涂膜处理的雷竹笋的质量损失率与膜性质呈负相关。TW20对CWTF的破坏作用最小,为适宜添加表面活性剂,适宜添加体积分数为0.1%。 展开更多
关键词 表面活性 壳聚糖-乳清分离蛋白-纳米Ti O2复合 鲜切雷竹笋 保鲜
下载PDF
气-液界面上的Gemini表面活性剂/DNA复合膜 被引量:1
6
作者 李蓉 陈启斌 刘洪来 《华东理工大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期399-404,414,共7页
用Langmuir-Blodgett(LB)膜技术和原子力显微镜探讨平衡时间、盐浓度和连接基团长度对气-液界面上阳离子型Gemini表面活性剂([C18H37(CH3)2N+-(CH2)s-N+(CH3)2C18H37]·2Br-,简写成18-s-18,s=3、4、6、8、10、12)与DNA分子之间相互... 用Langmuir-Blodgett(LB)膜技术和原子力显微镜探讨平衡时间、盐浓度和连接基团长度对气-液界面上阳离子型Gemini表面活性剂([C18H37(CH3)2N+-(CH2)s-N+(CH3)2C18H37]·2Br-,简写成18-s-18,s=3、4、6、8、10、12)与DNA分子之间相互作用的影响。结果表明,表面活性剂与DNA分子之间的相互作用达到平衡时需较长时间;随着盐浓度的增加,盐的屏蔽作用增大,致使表面活性剂与DNA分子之间的相互作用减弱;当连接基团为刚性(s=3、4)时,分子间的空间位阻较小,Gemini表面活性剂/DNA复合膜主要形成纤维结构;而当连接基团为柔性(s≥8)时,分子间的位阻效应增大,则主要形成片状聚集体。 展开更多
关键词 GEMINI表面活性 DNA LB 复合
下载PDF
TPPS和Gemini表面活性剂的复合膜及其手性的研究(英文)
7
作者 张莉 王金本 刘鸣华 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第4期368-372,共5页
研究了一种新的gemini表面活性剂(C12H24-α,ω-(C12H25N+(CH3)2Br-)2,(简写为C12-C12-C12)和TPPS在气液界面上形成的复合膜及其手性.实验发现,单独C12-C12-C12不能在纯水表面形成稳定的单分子膜,但当亚相中存在TPPS时,可形成稳定的单... 研究了一种新的gemini表面活性剂(C12H24-α,ω-(C12H25N+(CH3)2Br-)2,(简写为C12-C12-C12)和TPPS在气液界面上形成的复合膜及其手性.实验发现,单独C12-C12-C12不能在纯水表面形成稳定的单分子膜,但当亚相中存在TPPS时,可形成稳定的单分子膜,通过水平提拉法将复合膜转移到固体体基板上,发现在适当的pH值条件下,1TPPS可在复合膜中形成J-聚集体,并且发现,尽管Gemini表面活性剂和TPPS都是非手性的,TPPS的J-聚集体表现出强烈的Cotton效应.另外,gemini表面活性剂的两个正电荷中心对矸IPPS的J-聚集体的手性并不能表现出协同效应。 展开更多
关键词 GEMINI表面活性 TPPS 复合 手性 J-聚集体 Cotton效应
下载PDF
Al_(13-)两性表面活性剂复合插层蒙脱石的合成与结构特征研究 被引量:1
8
作者 马灵涯 何宏平 +2 位作者 朱建喜 袁鹏 陶奇 《矿物学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第S1期41-42,共2页
蒙脱石是一种2∶1型层状硅酸盐粘土矿物,具有纳微米级粒径、大比表面积、层间可膨胀性等特点。由于其结构片层中的八面体或四面体中存在类质同象替代,结构层通常带有负电荷。
关键词 改性蒙脱石 负载量 添加量 表面 硅酸盐粘土矿物 复合 阳离子表面活性 合成 两性表面活性
下载PDF
铵盐表面活性剂对超薄复合纳滤膜过滤性能的影响机制
9
作者 项军 张凯松 方芳 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期74-78,共5页
研究了采用界面聚合制备复合纳滤膜的过程中,水相添加铵盐表面活性剂对纳滤膜理化性质、膜通量和截留率的影响,以及其在制备过程中的作用机理.樟脑磺酸-三乙胺(CSATEA)、四乙基氯化铵(TEAC)、四丁基溴化铵(TBAB)、苄基三甲基氯化铵(BTM... 研究了采用界面聚合制备复合纳滤膜的过程中,水相添加铵盐表面活性剂对纳滤膜理化性质、膜通量和截留率的影响,以及其在制备过程中的作用机理.樟脑磺酸-三乙胺(CSATEA)、四乙基氯化铵(TEAC)、四丁基溴化铵(TBAB)、苄基三甲基氯化铵(BTMAC)、苄基三乙基氯化铵(BTEAC)等5种常见的铵盐表面活性剂作为添加剂分别添加到水相中,通过场发射扫描电镜(SEM)、原子力扫描电镜(AFM)和红外光谱仪(ATR-FTIR)等手段分析了复合膜表面的形态和理化特性,采用错流过滤的方法测定了膜的过滤性能.结果表明:铵盐添加到水相后对复合纳滤膜表面形态影响明显,胺离子取代基尺寸越大,其表面粗糙度也越大,厚度也随之增加,膜的过滤和截留性能也有明显的改善,而且这些铵盐并没有存在于复合层中,其起到的是催化作用,并没有因参与界面聚合反应而被结合至活性选择层中,对500mg/L的氯化钠溶液的截留率从27.7%提高到46%,而通量变化不大. 展开更多
关键词 界面聚合 铵盐表面活性 复合纳滤 水相 催化作用
下载PDF
聚电解质-表面活性剂固态复合物 被引量:3
10
作者 任碧野 高峰 童真 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期18-21,共4页
聚电解质与相反电荷的表面活性剂在溶液中通过分子自组装可生成聚电解质 -表面活性剂固态复合物 (PE-Surfs)。PE- Surfs具有较好的热学、力学及光学性能 ,已在可控渗透膜、光电响应性有机薄膜及化学传感器等领域显示出很好的应用和发展... 聚电解质与相反电荷的表面活性剂在溶液中通过分子自组装可生成聚电解质 -表面活性剂固态复合物 (PE-Surfs)。PE- Surfs具有较好的热学、力学及光学性能 ,已在可控渗透膜、光电响应性有机薄膜及化学传感器等领域显示出很好的应用和发展前景。通过改变聚电解质与表面活性剂的结构和种类可制备具有不同结构和性能的功能材料。文中对 PE- Surfs的制备。 展开更多
关键词 聚电解质 表面活性 复合 功能高分子 复合
下载PDF
表面活性剂对ZnO纳米棒阵列生长的影响 被引量:2
11
作者 王冰 唐立丹 +2 位作者 刘哲 孙明明 王建中 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期610-614,共5页
以ZnO纳米棒阵列为研究对象,通过在晶种层中添加表面活性剂来改善水热合成ZnO纳米棒阵列的形貌、结构及其发光性能。结果表明:当添加表面活性剂的含量为0.02g/mL时,所得ZnO纳米棒为六方纤锌矿,沿着垂直于衬底的c轴生长,垂直度较高,纳米... 以ZnO纳米棒阵列为研究对象,通过在晶种层中添加表面活性剂来改善水热合成ZnO纳米棒阵列的形貌、结构及其发光性能。结果表明:当添加表面活性剂的含量为0.02g/mL时,所得ZnO纳米棒为六方纤锌矿,沿着垂直于衬底的c轴生长,垂直度较高,纳米棒的长径比和密度较未添加活性剂时分别提高2.1倍和2.4倍。 展开更多
关键词 zno纳米棒阵列 表面活性 晶种 水热合成
下载PDF
利用含偶氮苯基阳离子表面活性剂电沉积Ni/SiC复合层
12
作者 ShresthaNK 范宏义 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2002年第7期66-66,共1页
关键词 含偶氮苯基 阳离子表面活性 电沉积 Ni/SiC复合
下载PDF
表面活性剂在电刷镀复合层中的应用
13
作者 曹礼群 姜晓霞 《电刷镀技术》 1992年第1期36-39,共4页
关键词 表面活性 电刷镀 复合 应用
下载PDF
聚电解质-表面活性剂固态复合物
14
作者 罗北平 张一甫 任碧野 《岳阳大学学报》 CAS 1998年第1期34-39,共6页
聚电解质与相反电荷的表面活性剂在溶液中通过分子自组装可生成聚电解质表面活性剂固态复合物(PE-Surfs).PE-Surfs具有较好的热学,力学以及光学性能,已在可控渗透膜、光电响应性有机薄膜及化学传感器等领域显示出很好的应用和发展前景.... 聚电解质与相反电荷的表面活性剂在溶液中通过分子自组装可生成聚电解质表面活性剂固态复合物(PE-Surfs).PE-Surfs具有较好的热学,力学以及光学性能,已在可控渗透膜、光电响应性有机薄膜及化学传感器等领域显示出很好的应用和发展前景.通过改变聚电解质与表面活性剂的结构和种类可制备具有不同结构和性能的功能材料.本文对PE-Surfs的制备、结构与性能以及应用前景进行概述. 展开更多
关键词 聚电解质——表面活性复合 功能高分子 复合 分子自组装
下载PDF
Cd和表面活性剂复合污染对小麦叶片若干生理性状的影响 被引量:60
15
作者 罗立新 孙铁珩 《应用生态学报》 CAS CSCD 1998年第1期95-100,共6页
研究了溶液培养条件下Cd-直链十二烷基本磺酸钠(LAS)、Cd-十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)和Ch-聚氧乙烯山梨醇月桂酸酯(Tween-80)3种复合污染对小麦生理状态的影响.结果表明,表面活性剂促进Cd在小麦叶中的积累,其效应顺序为CTAB>... 研究了溶液培养条件下Cd-直链十二烷基本磺酸钠(LAS)、Cd-十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)和Ch-聚氧乙烯山梨醇月桂酸酯(Tween-80)3种复合污染对小麦生理状态的影响.结果表明,表面活性剂促进Cd在小麦叶中的积累,其效应顺序为CTAB>LAS>Tween80.Cd和表面活性剂复合污染条件下,小麦叶中Cd的大量积累导致的细胞膜脂过氧化水平大大高于单纯Cd污染下的水平.细胞中SH基含量降低和叶片外渗液紫外吸收的上升.表明细胞膜受到损伤.复合污染使小麦叶中叶绿素的含量显著下降. 展开更多
关键词 表面活性 复合污染 小麦 脂过氧化
下载PDF
螯合剂和表面活性剂在脱盐过程中对膜分离性能的影响
16
作者 叶勇 王源升 朱金华 《海军工程大学学报》 CAS 2002年第3期36-40,44,共6页
选择聚砜膜、醋酸纤维素膜和聚乙烯醇复合膜对单组分盐溶液和分别加入了螯合剂、表面活性剂及两者共存时的混合溶液进行分离实验研究 ,对比了 3种膜对不同溶液的截盐性能和透水速度 ,分析了螯合剂EDTA、表面活性剂SDBS以及两者共存条件... 选择聚砜膜、醋酸纤维素膜和聚乙烯醇复合膜对单组分盐溶液和分别加入了螯合剂、表面活性剂及两者共存时的混合溶液进行分离实验研究 ,对比了 3种膜对不同溶液的截盐性能和透水速度 ,分析了螯合剂EDTA、表面活性剂SDBS以及两者共存条件下对 3种不同膜分离性能的影响 . 展开更多
关键词 螯合 表面活性 脱盐 分离 性能 放射性废水处理 聚砜 醋酸纤维素 聚乙烯醇 复合
下载PDF
溶胀法改性聚二甲基硅氧烷及在多层复合膜中的应用 被引量:2
17
作者 高继发 赵丹 +3 位作者 孙健 陈淑慧 任吉中 马君玲 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期44-53,共10页
复合膜是气体分离膜的一个重要发展方向,近年来得到广泛应用.聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为复合膜中间层能够有效防止孔渗现象,但是PDMS的疏水性不利于选择层溶液的涂覆,因此需要对PDMS进行改性.以Pluronic■ F68、Pluronic■ F127、Tween 2... 复合膜是气体分离膜的一个重要发展方向,近年来得到广泛应用.聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为复合膜中间层能够有效防止孔渗现象,但是PDMS的疏水性不利于选择层溶液的涂覆,因此需要对PDMS进行改性.以Pluronic■ F68、Pluronic■ F127、Tween 20、Tween 604种非离子表面活性剂为原料,采用溶胀-去溶胀的方式对PDMS进行改性,并研究其亲水性和气体分离性能.结果表明,4种表面活性剂中Pluronic■ F127的改性结果最佳;溶胀处理的PAN/PDMS复合膜在不影响本体机械性能和热力学性能的同时改变了表面组成;提高了PDMS中间层的亲水性和气体渗透性.经过溶胀改性的PAN/PDMS-Pluronic■ F127复合膜的N_(2)、O_(2)、CO_(2)渗透速率分别达到419.8、831.9、2879.7 GPU;在保证选择性基本不变的情况下,气体渗透速率提高了约70%;且经溶胀改性后的PAN/PDMS-Pluronic■ F127更有利于后续分离层的涂覆.改性后的PAN/PDMS-Pluronic■ F127/Pebax30R51复合膜相较于PAN/PDMS/Pebax30R51复合膜,CO_(2)/N_(2)选择性大幅提高,由22.77提高至45.09,同时CO_(2)渗透速率可以达到272.5 GPU,显示出良好的渗透分离性能. 展开更多
关键词 复合 PDMS 溶胀 非离子表面活性 气体分离
下载PDF
烷基苯孪连表面活性剂对固体表面润湿性的影响 被引量:6
18
作者 王雨 郑晓宇 +2 位作者 李新功 蒋庆哲 吴运强 《油田化学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期316-319,共4页
研究了孪连表面活性剂DSDBS-2(乙撑双十二烷基苯磺酸钠)的吸附、润湿及驱油性能。以芘为探针,用稳态荧光法测定能反映DSDBS-2在高岭土表面吸附层微极性的I3和I1值,求得DSDBS-2在溶液浓度为10 mg/L时开始在高岭土表面形成聚集体,溶液... 研究了孪连表面活性剂DSDBS-2(乙撑双十二烷基苯磺酸钠)的吸附、润湿及驱油性能。以芘为探针,用稳态荧光法测定能反映DSDBS-2在高岭土表面吸附层微极性的I3和I1值,求得DSDBS-2在溶液浓度为10 mg/L时开始在高岭土表面形成聚集体,溶液浓度为40-100 mg/L时聚集体逐渐完善,溶液浓度高于100 mg/L时形成新的聚集体。在亲水高岭土粉体表面的接触角,随溶液浓度增加先减小,在16.5 mg/L处达到最低值后由于新聚集体形成而趋于增大。由表面张力-溶液浓度曲线求得DSDBS-2的临界胶束浓度为10 mg/L。DSDBS-2可使亲水的玻片、石英片表面强亲水,接触角降至12°以下,使亲油的玻片表面变亲水,接触角降至80°以下。驱油实验温度40℃,使用长29 cm、水测渗透率0.35-0.54μm2的人造砂岩岩心,黏度15.8 mPa.s的克拉玛依七区井口脱气脱气原油,用注入水配制的DSDBS-2(40 mg/L)/HPAM(1500 mg/L)表聚二元驱油剂,该驱油剂黏度49.4 mPa.s,与原油间界面张力0.106 mN/m;水驱之后注入0.5 PV驱油剂,采收率增值分别为15.22%和16.78%(亲油岩心),19.82%和20.13%(亲水岩心)。表聚二元驱中岩石表面润湿性的改变应予重视。 展开更多
关键词 乙撑双十二烷基苯磺酸盐 孪连表面活性 驱油用表面活性 表面吸附 聚集体 润湿性转变 接触角 驱油效率 表面活性/聚合物二元复合体系
下载PDF
Bola型表面活性剂2.Bola化合物囊泡 被引量:7
19
作者 赵小莉 黄建滨 +1 位作者 李子臣 朱瑶 《日用化学工业》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期20-25,共6页
Bola型两亲化合物分子因具有中部是疏水基 ,两端为亲水基团的特殊结构 ,可在水中聚集形成单层类脂膜(ML M)和单分子层囊泡 (ML M囊泡 )。许多单分子层囊泡具有良好的热稳定性。具有两个不同亲水基团的 bola化合物可形成内外表面分别由... Bola型两亲化合物分子因具有中部是疏水基 ,两端为亲水基团的特殊结构 ,可在水中聚集形成单层类脂膜(ML M)和单分子层囊泡 (ML M囊泡 )。许多单分子层囊泡具有良好的热稳定性。具有两个不同亲水基团的 bola化合物可形成内外表面分别由不同亲水基团组成的不对称单分子层囊泡。Bola化合物可以参与到普通两亲化合物所形成的双层类脂膜中并改变膜的稳定性 。 展开更多
关键词 表面活性 BolA型两亲化合物 类脂 囊泡
下载PDF
无磨料复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制 被引量:3
20
作者 李炎 刘玉岭 +5 位作者 卜小峰 孙铭斌 杨志欣 张男男 张玉峰 程川 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期61-65,共5页
目的研究一种复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制效果。方法通过单因素实验优化无磨料复合清洗剂组成和相应的清洗工艺,并通过研究优化的清洗条件对不同类型铜晶圆表面划伤、残留颗粒的清洗效果,验证该清洗剂的清洗性能。结果优化的清... 目的研究一种复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制效果。方法通过单因素实验优化无磨料复合清洗剂组成和相应的清洗工艺,并通过研究优化的清洗条件对不同类型铜晶圆表面划伤、残留颗粒的清洗效果,验证该清洗剂的清洗性能。结果优化的清洗剂组分和清洗工艺为:金属离子螯合剂体积分数0.025%,表面活性剂体积分数0.1%;清洗剂温度30℃,清洗剂流量3 L/min。优化的复合清洗剂能大幅度降低铜膜表面划伤和表面粗糙度,对铜膜表面残留的颗粒有较强的去除作用。结论优化的复合清洗剂能够对不同类型铜晶圆表面缺陷进行大幅度的修正,研究成果对提高大规模生产中晶圆的成品率有一定的指导作用。 展开更多
关键词 复合清洗 大分子螯合 表面活性 腐蚀速率
下载PDF
上一页 1 2 4 下一页 到第
使用帮助 返回顶部