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低压ZnO压敏薄膜制备与研究
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作者 陆慧 滕月莉 +2 位作者 殷海波 陆元成 潘孝仁 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期68-70,共3页
以GDARE法沉积的低压ZnO压敏薄膜为多孔性超微粒结构,沿c轴高度取向.经一定温度热处理后,薄膜具有较好的非线性V-I特性,漏电流小,压敏电压低.温度对薄膜的V-I特性影响较大.文章讨论了ZnO低压压敏薄膜的导电机理.
关键词 zno低压压敏薄膜 结构 非线性系数 压敏电压
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