期刊文献+
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
基于ZnO/PI结构的柔性SAW器件有限元仿真研究 被引量:1
1
作者 赵欣茹 金浩 王德苗 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期535-538,共4页
柔性电子的发展使微机电系统对柔韧性和延展性的需求日益增加,我们提出了一种基于ZnO和聚酰亚胺叠层结构的声表面波(SAW)器件。该文采用COMSOL软件对该结构的SAW器件进行二维有限元仿真分析,得到了器件阻抗随频率变化的特性,以及直观的... 柔性电子的发展使微机电系统对柔韧性和延展性的需求日益增加,我们提出了一种基于ZnO和聚酰亚胺叠层结构的声表面波(SAW)器件。该文采用COMSOL软件对该结构的SAW器件进行二维有限元仿真分析,得到了器件阻抗随频率变化的特性,以及直观的谐振频率下粒子位移特性,并分析了不同ZnO厚度对瑞利波的频率和相速度的影响。为验证仿真的准确性,我们采用磁控溅射工艺和紫外光刻机制备了三组柔性SAW器件,其波长均为16μm,ZnO厚分别为1.2μm、2.3μm和4μm,器件的实测结果与仿真数据进行了比较。结果表明,制备的SAW器件特性与仿真结果具有很好的一致性,且仿真和实验都验证了随着ZnO厚度的增加,等效声速和谐振频率增大的结论。 展开更多
关键词 柔性衬底 声表面波器件 有限元法 聚酰亚胺 zno厚度
下载PDF
Ultrathin ZnO membranes a few atomic layers in thickness
2
作者 YIN JianBo XIA HuaRong +1 位作者 LIANG Jia ZHANG GengMin 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2014年第2期315-321,共7页
For the first time we fabricated ZnO membranes with thicknesses of 2.4 nm by a facile one-pot synthesis in aqueous solution.The crystal analysis revealed that the hexagonal ZnO membranes were about 10 atomic layers in... For the first time we fabricated ZnO membranes with thicknesses of 2.4 nm by a facile one-pot synthesis in aqueous solution.The crystal analysis revealed that the hexagonal ZnO membranes were about 10 atomic layers in thickness.The ZnO membranes bent,scrolled,intersected with each other,and self-assembled to particles in micrometre size.The hierarchical assemblies showed sponge-like structures with room inside.In the growth process,a cationic polyelectrolyte was utilized to modulate growth behavior of the ZnO crystals.As a result,the preferred growth direction of ZnO membranes is along 0110,which was perpendicular to[0001]growth direction in a typical hydrothermal synthesis.The growth mechanism of the membranes was also discussed. 展开更多
关键词 zno 2D materials NANOSHEETS hierarchical structures
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部