以不同的气凝合成法制备ZnO奈米微粒之分析比较

本文在探讨分别以两种不同的奈米微粒制备方法-电浆电弧气凝合成制程与高周波气凝法制程,制备ZnO奈米流体.两种方法皆以纯Zn的块材作为实验材料,但以不同的加热方式使材料产生气化,同时也以不一样的收集方法获得ZnO奈米流体;前者为湿式过滤法,后者为水幕收集法.实验结果显示:(1)电浆电弧气凝合成法在加工电流为75 A,真空腔内之工作压力到100torr以下时,从TEM分析可获得50 nm左右之微粒;当收集温度由5℃降低至-10℃时,由TEM观察可获得20 nm左右之微粒.(2)高周波气凝法制程,使用收集距离30 mm、加热温度700℃、收集液温度2℃及氧气(O2)40torr等实验参数下,由TEM观测粒径约40 nm.