离子辅助沉积对ZnS/MgF_2滤光片光谱漂移的影响

采用霍尔源离子辅助沉积(IAD)技术制备了ZnS/MgF2多层膜窄带干涉滤光片,并与常规沉积条件下制备的样品作比较.结果发现离子辅助沉积明显减小了滤光片的光谱漂移,实测漂移小于0.5nm,光谱稳定性得到很大提高.计算了滤光片中MgF2膜层的聚集密度,离子辅助沉积使MgF2膜的聚集密度从常规条件下的0.70提高到0.97,增幅达38%.间隔层对光谱漂移的影响最大,越远离间隔层的膜层,其影响越小.

ZnS/MgF_2截止滤光片的潮气吸附

潮气吸附是薄膜光学滤光片的光学不稳定性的主要原因。本文介绍了利用吸附技术研究ZnS和MgF_2构成的截止滤光片、宽带滤光片等的潮气渗透过程及潮气吸附所引起的分光特性的漂移。对于短波通滤光片,这种漂移可达200A左右,而对于间隔层为MgF_2的多腔宽带滤光片.漂移量可达250A左右。这与基于薄膜的聚集密度概念在PC-1500袖珍计算机上模拟的结果相当一致。

GaAs多结电池宽光谱ZnS/Al_2O_3/MgF_2减反射膜的设计与分析

为了提高砷化镓(GaAs)多结太阳电池的光电转换效率,设计了宽光谱(300nm^1 800nm)ZnS/Al2O3/MgF2三层减反射膜,分析了各层的厚度及折射率对三层膜系有效反射率的影响。结果表明:对于整个波长,ZnS厚度对有效反射率的影响要大于Al2O3和MgF2,MgF2厚度对有效反射率的影响最小;适当减小MgF2的折射率或增加ZnS的折射率可得到更低的有效反射率。同时,当ZnS,Al2O3和MgF2的最优物理厚度分别为52.77nm,82.61nm,125.17nm时,此时最小有效反射率为2.31%。