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Preparation of TiAlN/ZrN and TiCrN/ZrN multilayers by RF magnetron sputtering 被引量:6
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作者 Jong-Kook LEE G won-Seung YANG 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 2009年第4期795-799,共5页
Titanium-based nitride coatings on cutting tools,press molds and dies can be used to prolong their life cycle because of their superior corrosion and oxidation resistance.TiAlN/ZrN and TiCrN/ZrN multilayer coatings we... Titanium-based nitride coatings on cutting tools,press molds and dies can be used to prolong their life cycle because of their superior corrosion and oxidation resistance.TiAlN/ZrN and TiCrN/ZrN multilayer coatings were prepared by RF magnetron sputtering,and their microstructural evolution and corrosion resistance during heat treatment were investigated.The TiAlN/ZrN and TiCrN/ZrN multilayer coatings are degraded by heating up to 600 ℃ with the formation of oxides particles on the surface.During the heat treatment,the TiCrN/ZrN and TiAlN/ZrN multilayer coatings show the lowest corrosion current density and the highest polarization resistance at temperature range of 400-500 ℃.Consequently,the TiAlN/ZrN and TiCrN/ZrN multilayer coatings show good corrosion resistance at temperature range of 400-500 ℃ during heating. 展开更多
关键词 射频磁控溅射 溅射制备 氮化锆 多层膜 耐腐蚀性 腐蚀电流密度
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Effects of surface roughness of substrate on properties of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings 被引量:6
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作者 林松盛 周克崧 +6 位作者 代明江 胡芳 石倩 侯惠君 韦春贝 李福球 佟鑫 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期451-456,共6页
Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings were deposited on Cr_17Ni_2 steel substrates with different surface roughnesses by vacuum cathodic arc deposition method. Microstructure, micro-hardness, adhesion strength and cross-s... Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings were deposited on Cr_17Ni_2 steel substrates with different surface roughnesses by vacuum cathodic arc deposition method. Microstructure, micro-hardness, adhesion strength and cross-sectional morphology of the obtained multilayer coatings were investigated. The results show that the Vickers hardness of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coating, with a film thickness of 11.37 μm, is 29.36 GPa. The erosion and salt spray resistance performance of Cr_17Ni_2 steel substrates can be evidently improved by Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coating. The surface roughness of Cr_17Ni_2 steel substrates plays an important role in determining the mechanical and erosion performances of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings. Overall, a low value of the surface roughness of substrates corresponds to an improved performance of erosion and salt spray resistance of multilayer coatings. The optimized performance of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings can be achieved provided that the surface roughness of Cr_17Ni_2 steel substrates is lower than 0.4μm. 展开更多
关键词 Ti/TiN/zr/zrn multilayer coatings surface roughness sand erosion resistance corrosion resistance vacuum cathodicarc deposition TIN zrn
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Multilayered gradient CrN/ZrN coatings synthesized by magnetron sputtering
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作者 LIU Feng WANG Ming-xia LIU Qian-xiang LI De-jun 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2004年第z1期243-246,共4页
The multilayer gradient CrN/ZrN coatings were synthesized by a dual cathode DC magnetron sputtering.The influence of different species of reaction gases and partial pressures on structure and mechanical properties was... The multilayer gradient CrN/ZrN coatings were synthesized by a dual cathode DC magnetron sputtering.The influence of different species of reaction gases and partial pressures on structure and mechanical properties was investigated using XRD, AES, XPS, and nanoindentation. The results show that N2-NH3 mixture process gas is of benefit to the synthesis of superhard multilayered gradient CrN/ZrN coatings. The presence of the preferred orientations of CrN(111), (200) and ZrN (111), (220) in the structure is a main reason for superhardness of multilayered gradient coatings. 展开更多
关键词 MAGNETRON SPUTTERING multilayERED GRADIENT coating CrN/zrn NANOINDENTATION
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真空阴极离子镀法制备Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜 被引量:9
4
作者 李福球 洪瑞江 +2 位作者 余志明 代明江 林松盛 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2009年第10期17-19,共3页
过去,在不锈钢上沉积10μm以上多元多层软硬交替Ti/TiN/Zr/ZrN厚膜用以提高材料耐腐蚀性能的报道不多。采用阴极电弧离子镀结合脉冲偏压的方法制备了厚度达15μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜。运用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、显微硬度计... 过去,在不锈钢上沉积10μm以上多元多层软硬交替Ti/TiN/Zr/ZrN厚膜用以提高材料耐腐蚀性能的报道不多。采用阴极电弧离子镀结合脉冲偏压的方法制备了厚度达15μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜。运用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、显微硬度计、划痕仪等考察了多层膜的形貌、厚度、相组成、硬度以及膜/基结合力,并利用电化学方法评价了基体、单层TiN薄膜以及多层膜的电化学腐蚀性能。结果表明:制备的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜界面明晰、结构致密、晶粒细小;膜/基结合力大于70 N,显微硬度达28 GPa;多层膜比单层TiN膜在提高1Cr11Ni2W2MoV基体的抗腐蚀能力方面具有更显著的作用。 展开更多
关键词 离子镀 Ti/TiN/zr/zrn多层膜 显微结构 耐腐蚀性
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氮气流量对ZrN/Zr薄膜色度特性的影响 被引量:3
5
作者 李新领 周志男 +3 位作者 孙维连 孙铂 王会强 安广 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期13-15,41,共4页
采用中频孪生靶磁控溅射技术,在不锈钢和铝基体上沉积出ZrN/Zr薄膜,表征了薄膜的厚度、色度及表面形貌,研究了氮气流量对ZrN/Zr薄膜的沉积速率和色度的影响。结果表明:随着氮气流量的增加,薄膜的沉积速率先降低,后升高,氮气流量在2.5... 采用中频孪生靶磁控溅射技术,在不锈钢和铝基体上沉积出ZrN/Zr薄膜,表征了薄膜的厚度、色度及表面形貌,研究了氮气流量对ZrN/Zr薄膜的沉积速率和色度的影响。结果表明:随着氮气流量的增加,薄膜的沉积速率先降低,后升高,氮气流量在2.5×10-10~3.5×10-10m3/s范围内时对薄膜的沉积速率影响很小;随着氮气流量的变化,薄膜的颜色呈现规律性的变化,在氮气流量2.5×10-10~3.5×10-10m3/s范围内,可以制备出色彩亮丽的仿金薄膜ZrN,且膜层致密。 展开更多
关键词 氮气流量 zrn zr薄膜 色度 沉积速率 中频孪生靶
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钛合金及其表面沉积Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜的冲蚀行为 被引量:4
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作者 蓝恩辉 代明江 +2 位作者 胡芳 林松盛 侯惠君 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期29-33,共5页
采用多弧离子镀技术在TC11钛合金表面制备了厚度为18.7μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜,用45μm白刚玉通过微喷砂试验机评价TC11钛合金及Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜在30°和90°攻角下的抗冲蚀性能,并分析其冲蚀机理。结果表明:30°攻角... 采用多弧离子镀技术在TC11钛合金表面制备了厚度为18.7μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜,用45μm白刚玉通过微喷砂试验机评价TC11钛合金及Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜在30°和90°攻角下的抗冲蚀性能,并分析其冲蚀机理。结果表明:30°攻角下,冲蚀砂量为70g时,Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜被冲破,此时该多层膜的冲蚀坑深度为21.88μm,TC11钛合金基材为269.9μm。90°攻角下,冲蚀砂量为20g时,Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜被冲破,此时该多层膜的冲蚀坑深度为8.95μm,TC11钛合金基材为46.96μm。30°攻角下,钛合金的冲蚀以微切削为主,多层膜以微切削和微断裂为主。在90°攻角下,钛合金的冲蚀以点坑冲蚀为主,多层膜以裂纹萌生扩展和点坑冲蚀的混合冲蚀为主。 展开更多
关键词 TC11钛合金 Ti/TiN/zr/zrn多层膜 冲蚀机理
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调制周期对Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜性能的影响 被引量:5
7
作者 林松盛 周克崧 +5 位作者 代明江 石倩 胡芳 侯惠君 韦春贝 李福球 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期114-118,共5页
采用真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面沉积同等厚度的三种不同调制周期Ti-Ti N-Zr-Zr N软硬交替多层膜。用扫描电镜、显微硬度计、结合力划痕仪和砂粒冲刷试验仪分析测试了多层膜的厚度、表面及截面形貌、硬度、膜/基结合力和抗... 采用真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面沉积同等厚度的三种不同调制周期Ti-Ti N-Zr-Zr N软硬交替多层膜。用扫描电镜、显微硬度计、结合力划痕仪和砂粒冲刷试验仪分析测试了多层膜的厚度、表面及截面形貌、硬度、膜/基结合力和抗砂粒冲蚀磨损性能等;重点研究了调制周期的改变对多层膜性能的影响。结果表明:随着周期数的增加,单一调制周期变薄,膜层中金属"液滴"颗粒等缺陷减少,同时也增加了大量的层间界面;层界面之间反复形核,晶粒细化,有利于多层膜表面光洁度、致密度、硬度、结合力和抗砂粒冲蚀能力的改善。 展开更多
关键词 Ti—TiN—zr-zrn多层膜 调制周期 真空阴极电弧沉积 冲蚀
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调制周期对CrAlN/ZrN纳米多层膜韧性的影响 被引量:10
8
作者 张文勇 孙德恩 +2 位作者 裴晨蕊 张世宏 黄佳木 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期55-61,共7页
目的研究调制周期对纳米多层膜性能的影响。方法采用磁控溅射方法制备了CrAlN与ZrN的固定厚度比为2.6,不同调制周期(Λ为6,8,10,20 nm)的CrAlN/ZrN纳米多层膜。利用场发射扫描电镜(FESEM)表征薄膜的形貌、结构。用Dektak150型台阶仪测... 目的研究调制周期对纳米多层膜性能的影响。方法采用磁控溅射方法制备了CrAlN与ZrN的固定厚度比为2.6,不同调制周期(Λ为6,8,10,20 nm)的CrAlN/ZrN纳米多层膜。利用场发射扫描电镜(FESEM)表征薄膜的形貌、结构。用Dektak150型台阶仪测薄膜表面粗糙度。用Agilent Technologies G200纳米压痕仪检测涂层的硬度和弹性模量。用划痕仪测薄膜/基材的结合力,同时,引入抗裂纹扩展系数(CPR)表征纳米多层膜的韧性。结果 CrAlN/ZrN纳米多层膜断面皆为穿晶柱状结构,调制周期为20 nm时,多层膜层与层之间的界面清晰;多层膜表面呈致密的花椰菜状,厚度均约为2μm。调制周期为8 nm时,硬度为20.4 GPa,进一步增大调制周期,硬度下降。调制周期为8 nm的多层膜临界载荷L_(c2)为18 N,CPR值为73.2,L_(c2)与CPR值均高于其他调制周期的多层膜。在临界载荷L_(c2)处,裂纹扩展导致薄膜发生了严重的片状剥落,露出了亮白的热轧钢基底,薄膜失去了保护作用。结论实验表明,在多层膜厚度、调制比不变的条件下,改变调制周期能够改变多层膜的韧性。随着调制周期的增大,韧性呈先上升、后下降的趋势。调制周期为8 nm时,纳米多层膜的硬度最高,韧性最好,综合性能良好。 展开更多
关键词 CrAlN/zrn纳米多层膜 磁控溅射 调制周期 硬度 韧性
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钛合金表面Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜制备及性能 被引量:6
9
作者 林松盛 周克崧 +5 位作者 代明江 石倩 胡芳 侯惠君 韦春贝 刘建武 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期31-35,共5页
采用多靶位真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面制备24周期的Ti-TiN-Zr-ZrN软硬交替多元多层膜。用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、结合力划痕仪、球-盘摩擦磨损试验仪、砂粒冲刷试验仪和3D表面形貌仪,研究多层膜的表面及截面... 采用多靶位真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面制备24周期的Ti-TiN-Zr-ZrN软硬交替多元多层膜。用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、结合力划痕仪、球-盘摩擦磨损试验仪、砂粒冲刷试验仪和3D表面形貌仪,研究多层膜的表面及截面形貌、相结构、厚度、硬度、膜/基结合力、摩擦磨损性能和抗砂粒冲蚀性能。结果表明:所制备TiTiN-Zr-ZrN多层膜厚度约为5.8μm,维氏显微硬度为28.10GPa,膜基结合力为56N;TC11钛合金表面镀多层膜后耐磨性提高了一个数量级,体积磨损率由7.06×10^(-13) m^3·N^(-1)·m^(-1)降低到3.03×10^(-14) m^3·N^(-1)·m^(-1);多层膜软硬层交替的结构,受砂粒冲蚀时裂纹扩展至金属软层时应力的缓冲而出现偏转,对TC11钛合金有良好的抗砂粒冲蚀保护作用。 展开更多
关键词 Ti-TiN-zr-zrn多层膜 钛合金 冲蚀 真空阴极电弧沉积
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离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响 被引量:5
10
作者 曹猛 李强 +2 位作者 杨莹 邓湘云 李德军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期29-32,共4页
本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪,分析了束流和基底温度对薄膜的微结构和机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜... 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪,分析了束流和基底温度对薄膜的微结构和机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值,当辅助束流为5mA时,多层膜硬度达到30.6GPa。基底温度的升高,会显著降低薄膜的残余应力,但对薄膜的硬度,摩擦系数没有明显影响。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 zrn/TiAlN纳米多层膜 硬度 离子束流 基底温度
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离子轰击能量对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响 被引量:4
11
作者 曹猛 李强 +1 位作者 邓湘云 李德军 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期627-631,共5页
使用超高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰击对薄膜性能的影响.结果表明:离子辅助轰击使大部分ZrN/TiAlN多层膜的纳米硬度和弹性模量值高于两种个体材料硬度的平均值;离子的... 使用超高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰击对薄膜性能的影响.结果表明:离子辅助轰击使大部分ZrN/TiAlN多层膜的纳米硬度和弹性模量值高于两种个体材料硬度的平均值;离子的轰击和薄膜表面原子与轰击离子之间的动量传输提高了薄膜的致密度;当轰击能量为200 eV时,多层膜的硬度最高(30.6 GPa),弹性模量、表面粗糙度和摩擦系数等也明显改善. 展开更多
关键词 无机非金属材料 离子束辅助沉积(IBAD) zrn/TiAlN纳米多层膜 硬度 辅助轰击能量
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ZrN/WN纳米多层膜的结构与性能研究 被引量:1
12
作者 王明霞 张晶晶 +2 位作者 杨瑾 刘谦祥 李德军 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1325-1327,1330,共4页
选择锆和钨的氮化物作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统制备ZrN、WN及一系列的ZrN/WN多层薄膜。通过XRD,SEM和纳米力学测试系统分析了该体系合成中调制周期与ZrN、WN单层厚度比例(tZrN/tWN)对多层膜结构与机械性能的影响。结... 选择锆和钨的氮化物作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统制备ZrN、WN及一系列的ZrN/WN多层薄膜。通过XRD,SEM和纳米力学测试系统分析了该体系合成中调制周期与ZrN、WN单层厚度比例(tZrN/tWN)对多层膜结构与机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值;当调制周期Λ=30nm,tZrN∶tWN=2∶3时,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、应力以及弹性模量均达到最佳效果。多层膜的机械性能改善明显与其多层结构和多晶结构有直接的联系。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 zrn/WN纳米多层膜 调制 周期
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ZrN/W_2N纳米多层膜的调制比对其性能的影响 被引量:2
13
作者 杨瑾 王明霞 李德军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期101-104,共4页
利用射频磁控溅射系统制备了调制周期为30 nm的具有不同调制比例的ZrN/W2N纳米多层膜。研究表明:ZrN/W2N纳米多层膜的界面清晰,通过把ZrN周期性地插入到W2N层,多层薄膜的整体应力得到缓解。在调制比tZrN∶tW2N=2∶3时,纳米多层膜的应力... 利用射频磁控溅射系统制备了调制周期为30 nm的具有不同调制比例的ZrN/W2N纳米多层膜。研究表明:ZrN/W2N纳米多层膜的界面清晰,通过把ZrN周期性地插入到W2N层,多层薄膜的整体应力得到缓解。在调制比tZrN∶tW2N=2∶3时,纳米多层膜的应力值最小。多层膜的硬度和弹性模量基本高于ZrN和W2N单层材料的平均值,随着调制比的减小,它们的值均有上升趋势,并在tZrN∶tW2N=2∶3时分别达到最高值34 GPa和424 GPa,同时多层膜的膜基结合强度也达到最佳效果,其临界载荷超过了100 mN。多层膜的机械性能改善明显与其调制层结构和多晶结构有着直接的联系。 展开更多
关键词 磁控溅射 zrn/W2N纳米多层膜 调制比 硬度
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调制周期对ZrN/TiCuN纳米多层涂层的微观结构与力学性能的影响 被引量:1
14
作者 赵升升 黄美东 +3 位作者 赵彦辉 王红英 彭滨 王启民 《天津师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2022年第6期8-15,共8页
为了系统研究电弧离子镀技术制备的纳米多层涂层的微观结构与力学性能的关系,通过调节样品转速,制备了不同调制周期的ZrN/TiCuN纳米多层涂层.利用扫描电子显微镜(SEM)、能量色散X射线光谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM... 为了系统研究电弧离子镀技术制备的纳米多层涂层的微观结构与力学性能的关系,通过调节样品转速,制备了不同调制周期的ZrN/TiCuN纳米多层涂层.利用扫描电子显微镜(SEM)、能量色散X射线光谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)及纳米压痕仪,分析了多层涂层的微观形貌、化学成分、相结构和力学性能以及多层涂层界面的微观结构对涂层力学性能的影响.结果表明,Zr N/TiCuN纳米多层涂层属于典型的电弧离子镀涂层表面形貌.随着调制周期减小,纳米单层厚度变薄,涂层表面形貌及厚度变化不明显;涂层中Zr、Ti的含量先降低后略有升高,而N含量的变化与之相反,且所有多层涂层和单层涂层都呈现出过化学计量比(N/Zr或N/Ti);多层涂层中ZrN(200)衍射峰强度逐渐减小,硬度逐渐提高,在调制周期最小时硬度达到最大值31.5 GPa;Zr N/Ti CuN多层涂层界面处存在大量共格结构,且连续贯穿几个相邻涂层,在涂层界面处可以发现较多位错.随着调制周期减小,膜层更均匀.在多层涂层结构中,降低涂层厚度、增加共格结构的界面可有效增加纳米多层涂层的硬度. 展开更多
关键词 纳米多层涂层 zrn/TiCuN 多弧离子镀 微观结构 力学性能
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基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiN_x纳米多层薄膜结构及性能的影响
15
作者 胡明 高晓明 +4 位作者 张立平 伏彦龙 杨军 翁立军 刘维民 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期29-35,共7页
采用中频磁控溅射技术在3种偏压条件下(0、-80、-300V)于AISI 440C钢及单晶Si(100)基体表面制备了ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜.通过高分辨透射电子显微镜(HRTEM)分析表征了各纳米多层薄膜微观组织结构,并通过纳米压入仪与真空球-盘摩擦试... 采用中频磁控溅射技术在3种偏压条件下(0、-80、-300V)于AISI 440C钢及单晶Si(100)基体表面制备了ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜.通过高分辨透射电子显微镜(HRTEM)分析表征了各纳米多层薄膜微观组织结构,并通过纳米压入仪与真空球-盘摩擦试验机分别测试了各薄膜力学及真空摩擦学性能.重点研究了基体偏压对ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜微观组织结构,进而对其力学及摩擦学性能的影响机制.结果表明:较低的基体偏压会导致纳米多层薄膜中ZrN层差的结晶状态,而较高的基体偏压则易于引起ZrN层与SiNx层层间界面的交混.上述两种薄膜组织及结构的变化均不利于该纳米多层薄膜力学及摩擦学性能的改善.在适宜的偏压条件下(-80 V),ZrN/α-SiNx薄膜呈现出具备良好层间界面的晶体/非晶体纳米多层结构,与其他偏压条件制备的纳米多层薄膜相比,该薄膜表现出更好的力学及摩擦学性能. 展开更多
关键词 zrn α-SiNx纳米多层薄膜 基体偏压 微观结构 机械及摩擦学性能
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Ar/N_2气体比例对ZrN/WTiN纳米多层膜的影响
16
作者 王明霞 李德军 《天津师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2010年第3期31-34,共4页
选择ZrN和WTi N作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统制备ZrN,WTi N和一系列的ZrN/WTi N纳米多层薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)和纳米力学测试系统分析制备参数中Ar/N2气体比例对多层膜结构与机械性能的影响.结果表明:多层膜的纳... 选择ZrN和WTi N作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统制备ZrN,WTi N和一系列的ZrN/WTi N纳米多层薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)和纳米力学测试系统分析制备参数中Ar/N2气体比例对多层膜结构与机械性能的影响.结果表明:多层膜的纳米硬度值普遍高于2种个体材料混合相的硬度值;当FAr∶FN2=5时,ZrN/WTi N纳米多层薄膜出现了ZrN(111),Ti N(111)衍射峰和非晶态,多层膜体系的硬度、应力和弹性模量均达到最佳效果. 展开更多
关键词 射频磁控溅射 zrn/WTiN多层膜 Ar/N2气体比例
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Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜对1Cr17Ni2不锈钢疲劳性能的影响 被引量:3
17
作者 王全宏 代明江 +3 位作者 刘立斌 林松盛 胡芳 况敏 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期22-27,共6页
采用真空阴极电弧沉积技术在1Cr17Ni2马氏体型不锈钢表面沉积Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜。研究对比了在室温下膜层试样与基体试样的旋转弯曲疲劳强度、疲劳寿命和疲劳断裂机理。结果表明:在不锈钢基体上沉积厚度为11.7μm,硬度为3 220HV0.025,... 采用真空阴极电弧沉积技术在1Cr17Ni2马氏体型不锈钢表面沉积Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜。研究对比了在室温下膜层试样与基体试样的旋转弯曲疲劳强度、疲劳寿命和疲劳断裂机理。结果表明:在不锈钢基体上沉积厚度为11.7μm,硬度为3 220HV0.025,膜/基结合力为56N的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜后,其疲劳性能显著提高,膜层试样较基体试样的疲劳极限提高了约11.2%,当应力水平在540~650 MPa变化时,疲劳寿命增量变化范围为108%~246%;裂纹均起源于表面,在低应力水平下只有一个裂纹源,而高应力水平下有多个裂纹源;疲劳性能的提高主要是由于膜层能够弥补基体表面一定的缺陷,同时软硬交替的膜层结构有较强的抗裂纹扩展能力。 展开更多
关键词 真空阴极电弧沉积 Ti/TiN/zr/zrn 多层膜 疲劳
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Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜对钛合金疲劳性能的影响 被引量:5
18
作者 冯诚诚 林松盛 +4 位作者 匡同春 代明江 胡芳 赵升升 周克崧 《真空》 CAS 2015年第1期22-26,共5页
采用真空阴极电弧沉积技术在TC11钛合金基体上沉积约10μm厚的Ti/Ti N/Zr/Zr N多层膜,通过对比镀膜前后试样的屈服强度、抗拉强度、疲劳强度、疲劳寿命,以及断口形貌,研究沉积Ti/Ti N/Zr/Zr N多层膜对基体疲劳性能的影响,探讨疲劳断裂... 采用真空阴极电弧沉积技术在TC11钛合金基体上沉积约10μm厚的Ti/Ti N/Zr/Zr N多层膜,通过对比镀膜前后试样的屈服强度、抗拉强度、疲劳强度、疲劳寿命,以及断口形貌,研究沉积Ti/Ti N/Zr/Zr N多层膜对基体疲劳性能的影响,探讨疲劳断裂机理。结果表明:多层膜对TC11钛合金基体材料的屈服强度和抗拉强度影响不大,但由于膜层硬而脆而降低了基体材料的收缩率和延伸率;多层膜提高基体材料的疲劳极限;低应力下,裂纹源在多层膜表面萌生,并向内部扩展,在多层结构的膜层界面处受到阻碍,发生偏转,从而提高基体疲劳寿命;高应力下,膜层容易破裂,裂纹源增多,降低基体疲劳寿命;应力水平在520 MPa到650 MPa范围内,疲劳寿命增量从+40.82%降到-36.88%。 展开更多
关键词 真空阴极电弧沉积 Ti/TiN/zr/zrn 多层膜 疲劳性能
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用IBAD方法合成ZrN/W纳米多层膜 被引量:2
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作者 张晶晶 王明霞 +2 位作者 杨瑾 刘谦祥 李德军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期133-136,154,共5页
本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备具有纳米尺寸的ZrN/W多层膜,通过改变双靶的沉积时间,合成一系列的具有不同调制周期(3 nm^10 nm)的纳米多层膜。利用AES,XRD和纳米力学测试系统,表面形貌仪表征了薄膜的成分、结构... 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备具有纳米尺寸的ZrN/W多层膜,通过改变双靶的沉积时间,合成一系列的具有不同调制周期(3 nm^10 nm)的纳米多层膜。利用AES,XRD和纳米力学测试系统,表面形貌仪表征了薄膜的成分、结构和机械性能,分析了不同调制周期对薄膜结构与机械性能的影响。结果表明:多层膜的机械性能普遍优于两种个体材料的混合相;在调制周期为8.6 nm时,显示出强的ZrN(111),W(110)织构和较弱的ZrN(220)峰,与其他条件下制备的样品比较,它具有较高的硬度(~26 GPa),较高的弹性模量(~310 GPa)和较强的膜基结合力(~80 mN)。低角度XRD分析证明了薄膜的多层结构。 展开更多
关键词 IBAD zrn/W 多层膜 超晶格
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多弧离子镀Zr/ZrN多层膜的力学性能研究 被引量:1
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作者 刘洋 张雅楠 +3 位作者 高晟元 赵祯赟 郑明昊 黄美东 《真空》 CAS 2022年第5期28-31,共4页
采用多弧离子镀膜法制备了Zr N单层膜和不同调制比的Zr/Zr N多层膜,研究了调制比对多层膜力学性能的影响。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和微米压痕仪分别测试了薄膜的物相结构、表面形貌、硬度和结合力。结果表明:多层膜中Zr N有较... 采用多弧离子镀膜法制备了Zr N单层膜和不同调制比的Zr/Zr N多层膜,研究了调制比对多层膜力学性能的影响。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和微米压痕仪分别测试了薄膜的物相结构、表面形貌、硬度和结合力。结果表明:多层膜中Zr N有较高的结晶度,膜层表面形貌平整,组织结构致密,分布有球状Zr颗粒;Zr/Zr N多层膜的硬度高于单层Zr N薄膜,并随着调制比的增加先增大后减小,调制比为1∶1时,Zr/Zr N多层膜的硬度达到1541.58Hv,结合力为51.61N。 展开更多
关键词 多弧离子镀 调制比 zrn zr/zrn多层膜 力学性能
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