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掺杂不同钛含量氮化锆薄膜的制备及其摩擦性能研究 被引量:1
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作者 姚舜晖 苏演良 +1 位作者 高文显 郑凯文 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期413-416,共4页
采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆(Zr-Ti-N)复合薄膜材料,并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能.结果表明:随着Ti含量增加,Zr-Ti-N薄膜硬度有所提高;在Ti含量为18.7 at.%时,薄膜的硬度达到最大值2 483HK0.025;当添加16.5 ... 采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆(Zr-Ti-N)复合薄膜材料,并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能.结果表明:随着Ti含量增加,Zr-Ti-N薄膜硬度有所提高;在Ti含量为18.7 at.%时,薄膜的硬度达到最大值2 483HK0.025;当添加16.5 at.%Ti时,硬度值略有降低,但临界载荷最高,耐磨性最佳. 展开更多
关键词 复合材料 zr—ti—n薄膜 摩擦磨损性能
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