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掺杂不同钛含量氮化锆薄膜的制备及其摩擦性能研究
被引量:
1
1
作者
姚舜晖
苏演良
+1 位作者
高文显
郑凯文
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第5期413-416,共4页
采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆(Zr-Ti-N)复合薄膜材料,并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能.结果表明:随着Ti含量增加,Zr-Ti-N薄膜硬度有所提高;在Ti含量为18.7 at.%时,薄膜的硬度达到最大值2 483HK0.025;当添加16.5 ...
采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆(Zr-Ti-N)复合薄膜材料,并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能.结果表明:随着Ti含量增加,Zr-Ti-N薄膜硬度有所提高;在Ti含量为18.7 at.%时,薄膜的硬度达到最大值2 483HK0.025;当添加16.5 at.%Ti时,硬度值略有降低,但临界载荷最高,耐磨性最佳.
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关键词
复合材料
zr—ti—n薄膜
摩擦磨损性能
下载PDF
职称材料
题名
掺杂不同钛含量氮化锆薄膜的制备及其摩擦性能研究
被引量:
1
1
作者
姚舜晖
苏演良
高文显
郑凯文
机构
长荣大学会计信息系
成功大学机械工程系
建国科技大学机电光系统研究所
出处
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第5期413-416,共4页
基金
台湾省科学委员会资助项目(NSC-92-2212-E-006-127)
文摘
采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆(Zr-Ti-N)复合薄膜材料,并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能.结果表明:随着Ti含量增加,Zr-Ti-N薄膜硬度有所提高;在Ti含量为18.7 at.%时,薄膜的硬度达到最大值2 483HK0.025;当添加16.5 at.%Ti时,硬度值略有降低,但临界载荷最高,耐磨性最佳.
关键词
复合材料
zr—ti—n薄膜
摩擦磨损性能
Keywords
composite materials,
zr
-
ti
-
n
thi
n
film, fric
ti
o
n
-wear performa
n
ce
分类号
TH117.3 [机械工程—机械设计及理论]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
掺杂不同钛含量氮化锆薄膜的制备及其摩擦性能研究
姚舜晖
苏演良
高文显
郑凯文
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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职称材料
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