期刊文献+
共找到18篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
真空阴极离子镀法制备Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜 被引量:9
1
作者 李福球 洪瑞江 +2 位作者 余志明 代明江 林松盛 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2009年第10期17-19,共3页
过去,在不锈钢上沉积10μm以上多元多层软硬交替Ti/TiN/Zr/ZrN厚膜用以提高材料耐腐蚀性能的报道不多。采用阴极电弧离子镀结合脉冲偏压的方法制备了厚度达15μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜。运用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、显微硬度计... 过去,在不锈钢上沉积10μm以上多元多层软硬交替Ti/TiN/Zr/ZrN厚膜用以提高材料耐腐蚀性能的报道不多。采用阴极电弧离子镀结合脉冲偏压的方法制备了厚度达15μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜。运用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、显微硬度计、划痕仪等考察了多层膜的形貌、厚度、相组成、硬度以及膜/基结合力,并利用电化学方法评价了基体、单层TiN薄膜以及多层膜的电化学腐蚀性能。结果表明:制备的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜界面明晰、结构致密、晶粒细小;膜/基结合力大于70 N,显微硬度达28 GPa;多层膜比单层TiN膜在提高1Cr11Ni2W2MoV基体的抗腐蚀能力方面具有更显著的作用。 展开更多
关键词 离子镀 Ti/TiN/zr/zrN多层 显微结构 耐腐蚀性
下载PDF
钛合金及其表面沉积Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜的冲蚀行为 被引量:4
2
作者 蓝恩辉 代明江 +2 位作者 胡芳 林松盛 侯惠君 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期29-33,共5页
采用多弧离子镀技术在TC11钛合金表面制备了厚度为18.7μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜,用45μm白刚玉通过微喷砂试验机评价TC11钛合金及Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜在30°和90°攻角下的抗冲蚀性能,并分析其冲蚀机理。结果表明:30°攻角... 采用多弧离子镀技术在TC11钛合金表面制备了厚度为18.7μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜,用45μm白刚玉通过微喷砂试验机评价TC11钛合金及Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜在30°和90°攻角下的抗冲蚀性能,并分析其冲蚀机理。结果表明:30°攻角下,冲蚀砂量为70g时,Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜被冲破,此时该多层膜的冲蚀坑深度为21.88μm,TC11钛合金基材为269.9μm。90°攻角下,冲蚀砂量为20g时,Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜被冲破,此时该多层膜的冲蚀坑深度为8.95μm,TC11钛合金基材为46.96μm。30°攻角下,钛合金的冲蚀以微切削为主,多层膜以微切削和微断裂为主。在90°攻角下,钛合金的冲蚀以点坑冲蚀为主,多层膜以裂纹萌生扩展和点坑冲蚀的混合冲蚀为主。 展开更多
关键词 TC11钛合金 Ti/TiN/zr/zrN多层 冲蚀机理
下载PDF
多弧离子镀(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜的制备及力学性能研究 被引量:10
3
作者 崔贯英 张钧 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期329-333,共5页
采用多弧离子镀技术并使用合金靶Ti-Al-Zr制备(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜。利用扫描电镜、X衍射仪对(Ti,Al,Zr)N膜层表面、断面形貌、成分、结构进行观察测定;系统考察了沉积工艺对(Ti,Al,Zr)N膜层质量、膜/基附着力和硬度的影响;并对... 采用多弧离子镀技术并使用合金靶Ti-Al-Zr制备(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜。利用扫描电镜、X衍射仪对(Ti,Al,Zr)N膜层表面、断面形貌、成分、结构进行观察测定;系统考察了沉积工艺对(Ti,Al,Zr)N膜层质量、膜/基附着力和硬度的影响;并对膜层抗热震性进行了研究。通过与TiN,(Ti,Al)N,(Ti,Zr)N等硬质膜进行比较,发现采用Ti-Al-Zr合金靶制备的(Ti,Al,Zr)N多元梯度膜有更高的硬度和膜/基附着力,硬度可达4000 HV,实现了从硬质膜到超硬膜的转变;膜/基附着力大于200 N,同时对沉积工艺有较强的适应性。 展开更多
关键词 (Ti Al zr)N梯度 多弧离子镀 显微硬度 热震 合金靶
下载PDF
Zr掺杂类金刚石薄膜摩擦性能及耐腐蚀性能的影响 被引量:12
4
作者 陈美容 曾宪光 +1 位作者 孙德恩 黄佳木 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期138-142,共5页
目的改善不锈钢摩擦性能及耐腐蚀性能。方法通过线性阳极层离子源辅助非平衡磁控溅射法,制备了不同Zr含量的类金刚石(DLC)薄膜,采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、纳米硬度仪、高温销盘磨损仪、电化学工作站,对薄膜的化学成分、显微结构... 目的改善不锈钢摩擦性能及耐腐蚀性能。方法通过线性阳极层离子源辅助非平衡磁控溅射法,制备了不同Zr含量的类金刚石(DLC)薄膜,采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、纳米硬度仪、高温销盘磨损仪、电化学工作站,对薄膜的化学成分、显微结构、纳米硬度、薄膜摩擦性能及耐腐蚀性能进行测试研究。结果随着Zr靶功率的增大,Zr含量线性增加。Zr含量从4.9%增加至16.3%时,I_D/I_G增大,薄膜硬度从12.1 GPa逐渐下降至8.4 GPa;Zr含量增大至21.2%时,I_D/I_G减小,薄膜硬度增大至11.4 GPa。涂镀类金刚石薄膜的不锈钢基体比无涂层的不锈钢基体有更低的摩擦系数,更好的耐磨损性能。Zr掺杂DLC薄膜的最小摩擦系数为0.07。Zr含量从4.9%增加至16.3%,DLC薄膜的耐腐蚀性能减弱;Zr含量继续增加,DLC薄膜的耐腐蚀性能增强。当Zr含量不大于11.9%时,沉积Zr掺杂DLC膜的不锈钢基体的耐腐蚀性能比不锈钢基体的更强。结论 Zr含量不大于11.9%时,Zr掺杂类金刚石薄膜既可以有效地改善不锈钢基体的摩擦磨损性能,又可以大幅提高耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 zr掺杂类金刚石 显微结构 硬度 结合力 摩擦性能 腐蚀性能
下载PDF
多弧离子镀(Cr,Ti,Al,Zr)N多组元超硬梯度膜的结构及性能 被引量:5
5
作者 崔贯英 张钧 吕会敏 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期24-27,共4页
(Cr,Ti,Al,Zr)N梯度膜性能优异。采用多弧离子镀技术,使用Ti-Al-Zr合金靶和Cr单质靶在高速钢表面制备(Cr,Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜,利用扫描电镜、能谱、X射线衍射仪、硬度计、划痕仪对膜层形貌、成分、结构、硬度、附着力进行分析,并... (Cr,Ti,Al,Zr)N梯度膜性能优异。采用多弧离子镀技术,使用Ti-Al-Zr合金靶和Cr单质靶在高速钢表面制备(Cr,Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜,利用扫描电镜、能谱、X射线衍射仪、硬度计、划痕仪对膜层形貌、成分、结构、硬度、附着力进行分析,并通过热震性能试验考察了膜层的抗热震性能。结果表明:制备的膜层为面心立方结构,择优生长取向为(220)面;与TiN,(Ti,Al)N,(Ti,Cr)N,(Ti,Al,Zr)N等硬质膜相比,制备的(Cr,Ti,Al,Zr)N多元梯度膜具有更高的硬度和膜/基附着力,硬度可达4400HV,膜/基附着力大于200N,实现了从硬质膜到超硬膜的转变;膜层中N含量梯度可有效减少应力集中,Cr,Al含量的增加有利于提高膜层抗热震性能;负偏压对膜层硬度影响较大,对膜层成分、结构、抗热震性能影响较小,对膜/基附着力基本无影响。 展开更多
关键词 多弧离子镀 (Cr Ti Al zr)N超硬梯度 硬度 /基附着力 热震性能
下载PDF
AZ31B镁合金表面植酸改性V/Zr转化膜的耐蚀性 被引量:3
6
作者 蒋书琴 郭瑞光 蒋晓 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期24-27,44,共5页
为了进一步提高镁合金表面V/Zr转化膜的耐蚀性,在转化液中加入植酸,在AZ31B镁合金表面制备了植酸改性V/Zr转化膜。采用扫描电镜、能谱分析、傅里叶红外光谱、中性盐雾试验、电化学测试及厚度仪分析了转化膜的性能,并对转化液配方及工艺... 为了进一步提高镁合金表面V/Zr转化膜的耐蚀性,在转化液中加入植酸,在AZ31B镁合金表面制备了植酸改性V/Zr转化膜。采用扫描电镜、能谱分析、傅里叶红外光谱、中性盐雾试验、电化学测试及厚度仪分析了转化膜的性能,并对转化液配方及工艺条件进行了优选。结果表明:转化液最佳配方为3.0 g/L偏钒酸钠,2.0 g/L氟锆酸钾,1.0 m L/L植酸;最佳工艺参数为温度50℃,p H值2.0,时间15 min;植酸改性后转化膜主要由C,P,O,F,Mg,Al,V,Zr元素组成,呈无定形结构,耐中性盐雾时间为140 h,较改性前增加了60 h,其腐蚀电位较改性前正移了91 m V,自腐蚀电流密度减小了1个数量级,膜厚较改性前增加2.73μm,转化膜耐蚀性显著提高。 展开更多
关键词 V/zr转化 镁合金 植酸改性 耐蚀性
下载PDF
Si间隔层对Al(1wt.%Si)/Zr极紫外多层膜热稳定的作用研究(英文) 被引量:1
7
作者 李嘉 朱杰 +3 位作者 张众 齐润泽 钟奇 王占山 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第4期1335-1342,共8页
为了提升Al/Zr多层膜的热稳定性,采用直流磁控溅射方法制备了18个带有不同厚度Si间隔层的Al(1 wt.%Si)/Zr多层膜,并将这些样品分别进行了不同温度(100-500℃)的真空退火,退火时间为1 h。利用X射线掠入射反射(GIXR)和X射线衍射(XR... 为了提升Al/Zr多层膜的热稳定性,采用直流磁控溅射方法制备了18个带有不同厚度Si间隔层的Al(1 wt.%Si)/Zr多层膜,并将这些样品分别进行了不同温度(100-500℃)的真空退火,退火时间为1 h。利用X射线掠入射反射(GIXR)和X射线衍射(XRD)的方法来研究Si间隔层对Al/Zr多层膜热稳定性的作用。GIXR测量结果表明:随着Si间隔层厚度的增大,Al膜层的粗糙度减小,而Zr膜层的粗糙度增大;XRD测量结果表明:Al和Zr膜层粗糙度的变化是由于退火后膜层中晶粒尺寸不同造成的。相比于没有Si间隔层的Al/Zr多层膜,引入厚度为0.6 nm的Si间隔层可以有效提升Al/Zr多层膜的热稳定性。 展开更多
关键词 Al/zr多层 热稳定性 Si间隔层 合金界面层模型
下载PDF
(Ti,Al,Zr)N多元硬质膜的退除方法与工艺研究 被引量:2
8
作者 贾恒 张钧 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1067-1073,共7页
利用多弧离子镀技术并使用T-i Al(原子百分比50∶50)合金靶与Zr单质靶组合在高速钢基体上镀覆(Ti,Al,Zr)N硬质反应膜。使用螯合剂、氧化剂、缓蚀剂及氢氧化钠配制膜层退除液,通过改变退除液各组元的浓度、退除液PH值和退膜温度等影响因... 利用多弧离子镀技术并使用T-i Al(原子百分比50∶50)合金靶与Zr单质靶组合在高速钢基体上镀覆(Ti,Al,Zr)N硬质反应膜。使用螯合剂、氧化剂、缓蚀剂及氢氧化钠配制膜层退除液,通过改变退除液各组元的浓度、退除液PH值和退膜温度等影响因素,考查(Ti,Al,Zr)N硬质反应膜的退除效果。分析了高速钢基体和退膜前后试样的表面形貌、成分和粗糙度。比较了退除液组元的不同组合、不同浓度、退除液不同PH值条件下镀膜试样表面形貌随时间的变化,进而确定了退除液的最佳组元组合及最佳退除膜层工艺,实现了高速钢基体上(Ti,Al,Zr)N膜的完全退除,退膜后的试样表面光亮,无腐蚀损伤。 展开更多
关键词 退除液 多弧离子镀 (Ti AL zr)N硬质反应 高速钢
下载PDF
基于太赫兹真空器件的微型阴极抑制膜特性研究
9
作者 张敏 张珂 杨鹏云 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第1期17-21,共5页
为满足太赫兹真空器件对阴极的大电流密度、小电子注尺寸需求,利用双离子束辅助沉积技术在浸渍钪酸盐阴极表面沉积Ta/Zr抑制膜,并利用聚焦离子束刻蚀技术制备出发射面直径为100μm的微型热阴极。在此基础之上着重研究这种阴极的抑制膜特... 为满足太赫兹真空器件对阴极的大电流密度、小电子注尺寸需求,利用双离子束辅助沉积技术在浸渍钪酸盐阴极表面沉积Ta/Zr抑制膜,并利用聚焦离子束刻蚀技术制备出发射面直径为100μm的微型热阴极。在此基础之上着重研究这种阴极的抑制膜特性,研究表明,Ta/Zr膜层比Zr膜层临界附着力更强,双离子束辅助沉积制备的Ta/Zr抑制膜比磁控溅射制备的Ta/Zr抑制膜更加致密,并且抑制发射寿命更长。阴极良好的抑制效果一方面是因为Ba扩散至Zr中形成高功函数物质,另一方面是因为Ta/Zr复合膜层高度致密有效抑制了Ba的扩散。 展开更多
关键词 太赫兹器件 微型阴极 双离子束沉积 Ta/zr抑制
下载PDF
多弧离子镀Zr/ZrN多层膜的力学性能研究 被引量:1
10
作者 刘洋 张雅楠 +3 位作者 高晟元 赵祯赟 郑明昊 黄美东 《真空》 CAS 2022年第5期28-31,共4页
采用多弧离子镀膜法制备了Zr N单层膜和不同调制比的Zr/Zr N多层膜,研究了调制比对多层膜力学性能的影响。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和微米压痕仪分别测试了薄膜的物相结构、表面形貌、硬度和结合力。结果表明:多层膜中Zr N有较... 采用多弧离子镀膜法制备了Zr N单层膜和不同调制比的Zr/Zr N多层膜,研究了调制比对多层膜力学性能的影响。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和微米压痕仪分别测试了薄膜的物相结构、表面形貌、硬度和结合力。结果表明:多层膜中Zr N有较高的结晶度,膜层表面形貌平整,组织结构致密,分布有球状Zr颗粒;Zr/Zr N多层膜的硬度高于单层Zr N薄膜,并随着调制比的增加先增大后减小,调制比为1∶1时,Zr/Zr N多层膜的硬度达到1541.58Hv,结合力为51.61N。 展开更多
关键词 多弧离子镀 调制比 zrN zr/zrN多层 力学性能
下载PDF
平面弧靶结构对锆膜层性能的影响 被引量:1
11
作者 刘际伟 刘永华 张跃杰 《真空》 CAS 北大核心 2008年第4期80-82,共3页
通过对靶座结构的改变,使得靶面不再存在其他材质,由此提高了电弧离子镀膜膜层的纯度。考核了靶结构调整前后所镀制锆膜层的耐酸蚀性能,通过XPS手段测试了两种状态下膜层的成份及其含量,解释了两种膜层耐酸蚀性能差异的原因。
关键词 电弧离子镀 耐蚀性 zr膜 靶座结构
下载PDF
Effects of surface roughness of substrate on properties of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings 被引量:6
12
作者 林松盛 周克崧 +6 位作者 代明江 胡芳 石倩 侯惠君 韦春贝 李福球 佟鑫 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期451-456,共6页
Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings were deposited on Cr_17Ni_2 steel substrates with different surface roughnesses by vacuum cathodic arc deposition method. Microstructure, micro-hardness, adhesion strength and cross-s... Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings were deposited on Cr_17Ni_2 steel substrates with different surface roughnesses by vacuum cathodic arc deposition method. Microstructure, micro-hardness, adhesion strength and cross-sectional morphology of the obtained multilayer coatings were investigated. The results show that the Vickers hardness of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coating, with a film thickness of 11.37 μm, is 29.36 GPa. The erosion and salt spray resistance performance of Cr_17Ni_2 steel substrates can be evidently improved by Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coating. The surface roughness of Cr_17Ni_2 steel substrates plays an important role in determining the mechanical and erosion performances of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings. Overall, a low value of the surface roughness of substrates corresponds to an improved performance of erosion and salt spray resistance of multilayer coatings. The optimized performance of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings can be achieved provided that the surface roughness of Cr_17Ni_2 steel substrates is lower than 0.4μm. 展开更多
关键词 Ti/TiN/zr/zrN multilayer coatings surface roughness sand erosion resistance corrosion resistance vacuum cathodicarc deposition TIN zrN
下载PDF
化学镀非晶态Pd沉积膜的晶化过程及其催化性能的研究
13
作者 刘菲 王仲民 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第20期93-96,99,共5页
利用碱性化学镀的方法在载玻片和Nb25Zr35Ni40合金表面沉积Pd膜催化层,并对实验条件进行讨论,得到最佳实验条件。采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、差热扫描(DSC)、能谱分析(EDS)等方法对Pd沉积膜的相结构、形貌及热稳定性进... 利用碱性化学镀的方法在载玻片和Nb25Zr35Ni40合金表面沉积Pd膜催化层,并对实验条件进行讨论,得到最佳实验条件。采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、差热扫描(DSC)、能谱分析(EDS)等方法对Pd沉积膜的相结构、形貌及热稳定性进行了分析。结果表明,试验制备的Pd沉积膜为非晶态结构,由大小均匀的球形颗粒(1μm左右)紧密排列构成。膜层经热处理晶化后,颗粒尺寸略微增大。氢分离测试结果表明,化学镀非晶态Pd膜可显著提高渗透电流密度,而Pd层晶化后渗透电流密度减小,扩散系数降低。 展开更多
关键词 化学镀Pd非晶态Nb25zr35Ni40氢分离测试
下载PDF
Properties of ITO:Zr films deposited by co-sputtering 被引量:1
14
作者 ZHANG Bo XU Xiao-feng +1 位作者 DONG Xian-ping WU Jian-sheng 《Optoelectronics Letters》 EI 2008年第2期137-139,共3页
ITO:Zr films were deposited on glass substrate by co-sputtering with an ITO target and a Zirconium target. Substrate temperature and oxygen flow rate have important influences on the properties of ITO:Zr films. ITO:Zr... ITO:Zr films were deposited on glass substrate by co-sputtering with an ITO target and a Zirconium target. Substrate temperature and oxygen flow rate have important influences on the properties of ITO:Zr films. ITO:Zr films show better crystalline structure and lower surface roughness. Better optical-electrical properties of the films can be achieved at low substrate temperature. The certain oxygen flow rates worsen the electrical properties but can enhance the optical properties of ITO:Zr films. The variation in optical band gap can be explained on the basis of Burstin-Moss effect. 展开更多
关键词 溅射 zr 结构
下载PDF
Computational exploration of H_2S/CH_4 mixture separation using acid-functionalized UiO-66(Zr) membrane and composites 被引量:1
15
作者 王舒萌 吴栋 +4 位作者 黄宏亮 阳庆元 童敏曼 刘大欢 仲崇立 《Chinese Journal of Chemical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第8期1291-1299,共9页
A computational study was firstly performed in this work to examine the applicability of an acid-functionalized metal-organic framework(MOF), Ui O-66(Zr)-(COOH)2, in membrane-based H2S/CH4 separation. The results show... A computational study was firstly performed in this work to examine the applicability of an acid-functionalized metal-organic framework(MOF), Ui O-66(Zr)-(COOH)2, in membrane-based H2S/CH4 separation. The results show that this MOF could be potentially interesting when being used as the pure membrane material for the separation of the mixture with low H2 S concentration. Further, the performance of 10 different mixed matrix membranes(MMMs) on the basis of the MOF was predicted by combing the molecular simulation data and the Maxwell permeation model. The results indicate that using this MOF as filler particles in MMMs can signi ficantly enhance the permeation performance of pure polymers. The findings obtained in this work may be helpful in facilitating the application of this promising MOF for practical desulfurization process of fuel gas. 展开更多
关键词 Desulfurization Metal-organic framework Membranes Composites Molecular simulation
下载PDF
多弧离子镀TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N梯度膜的微观结构与耐磨损性能 被引量:2
16
作者 赵时璐 张震 +2 位作者 张钧 王建明 张正贵 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期747-754,共8页
采用多弧离子镀技术,使用Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶的组合方式,在W18Cr4V高速钢基体上制备TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N四元梯度氮化物膜.利用SEM和XRD分析梯度膜的微观组织和结构,使用摩擦磨损试验机研究梯度膜在室温(15℃)和高温(50... 采用多弧离子镀技术,使用Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶的组合方式,在W18Cr4V高速钢基体上制备TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N四元梯度氮化物膜.利用SEM和XRD分析梯度膜的微观组织和结构,使用摩擦磨损试验机研究梯度膜在室温(15℃)和高温(500℃)下的耐磨损特性,并采用SEM观察磨痕形貌.结果表明,在不同沉积偏压下制备的四元梯度膜均具有fcc-Na Cl型的Ti N结构,其组织致密均匀,呈典型的柱状晶形态.梯度膜的摩擦磨损机理是以塑性变形为主要特征的黏着磨损,并伴有轻微的磨粒磨损.在室温和高温下磨损时的平均摩擦系数分别在0.25~0.30和0.30~0.35之间,且当沉积偏压增加至-200 V时,梯度膜的耐磨损性能实现最优化. 展开更多
关键词 TiAlzrCr/(Ti Al zr Cr)N梯度 多弧离子镀 偏压 显微结构 耐磨损性能
原文传递
Cu/Zr纳米多层膜的力学性能及塑性变形行为
17
作者 刘贵民 王尧 +1 位作者 朱晓莹 杜军 《装甲兵工程学院学报》 2016年第5期77-81,94,共6页
为研究Cu/Zr纳米多层膜的力学性能及塑性变形行为,采用磁控溅射方法制备了调制比为1,调制周期Λ=12,20,40 nm的Cu/Zr纳米多层膜,利用X射线衍射(X-Ray Diffraction,XRD)和扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)对纳米多层膜... 为研究Cu/Zr纳米多层膜的力学性能及塑性变形行为,采用磁控溅射方法制备了调制比为1,调制周期Λ=12,20,40 nm的Cu/Zr纳米多层膜,利用X射线衍射(X-Ray Diffraction,XRD)和扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)对纳米多层膜的晶体结构和截面形貌进行了表征,利用纳米压痕仪在0.01、0.03、0.05、0.1、0.2、0.5s-1等应变率下采用连续刚度法测量了多层膜的硬度。结果表明:不同调制周期结构的Cu/Zr纳米多层膜结晶性良好;Λ=12,20,40 nm的Cu/Zr纳米多层膜的强度(H/2.7)分别为1.90、1.83、0.80 GPa,Cu/Zr纳米多层膜的强度随调制周期的减小而增大,其塑性变形机制在调制周期减小到20 nm后由位错单层滑移机制转变为位错穿越界面运动机制;Λ=12,20,40 nm的Cu/Zr纳米多层膜的应变率敏感指数m分别为0.042、0.033、0.025,Cu/Zr纳米多层膜的应变率敏感指数随调制周期的减小而增大,这可能是由调制周期减小导致的晶粒尺寸减小和非共格界面密度的增大引起的。 展开更多
关键词 Cu/zr纳米多层 调制周期 强度 应变率敏感性 变形机制
原文传递
(Ti,Al,Zr)N多元氮梯度硬质反应膜的组织结构和性能 被引量:2
18
作者 吕会敏 张钧 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期89-94,共6页
采用多弧离子镀技术和Ti-Al合金靶及Zr单质靶的组合,在高速钢基体上制备了(Ti,Al,Zr)N多元N梯度硬质反应膜。分别用扫描电镜、X射线衍射仪观察测定(Ti,Al,Zr)N梯度膜膜层的表面、断面形貌、成分以及相结构,研究了(Ti,Al,Zr)N多元氮梯度... 采用多弧离子镀技术和Ti-Al合金靶及Zr单质靶的组合,在高速钢基体上制备了(Ti,Al,Zr)N多元N梯度硬质反应膜。分别用扫描电镜、X射线衍射仪观察测定(Ti,Al,Zr)N梯度膜膜层的表面、断面形貌、成分以及相结构,研究了(Ti,Al,Zr)N多元氮梯度硬质反应膜的组织结构和性能。结果表明,与TiN、(Ti,Al)N、(Ti,Zr)N及(Ti,Al,Zr)N等单层硬质膜相比,采用Ti-Al合金靶及单质Zr靶组合方式制备的(Ti,Al,Zr)N多元氮梯度硬质反应膜具有较高的硬度和膜/基附着力,硬度最高可达HV6000,膜/基附着力大于180 N。同时,膜层还具有良好的抗热震性能。 展开更多
关键词 材料表面与界面 (Ti AL zr)N 多弧离子镀 显微硬度 热震
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部