ZrN系硬质膜的研究进程与展望

以ZrN硬质薄膜为基础,通过添加金属元素,可以形成多组元硬质薄膜体系。从制备方法、晶体结构、硬度、耐磨性、抗氧化性、耐腐蚀性、电气性能等方面对ZrN系硬质薄膜的发展现状进行了讨论和分析,给出了比较和评述。在此基础上,提出了ZrN系硬质薄膜今后的研究和应用发展方向。