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Review:Ferromagnetism in Undoped ZrO2 Thin Films
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作者 Shuai Ning Zhengjun Zhang 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2017年第1期1-10,共10页
Diluted magnetic oxides have evolved into a popular branch of materials science during the last decade. In the first few years,people attributed the ferromagnetism to the magnetic dopants. However,the observation of f... Diluted magnetic oxides have evolved into a popular branch of materials science during the last decade. In the first few years,people attributed the ferromagnetism to the magnetic dopants. However,the observation of ferromagnetism in undoped HfO_2 thin films made it more controversial and promoted extensive research on the ferromagnetism in various undoped oxides. Both of the experimental works and theoretical studies have shown that intrinsic defects in oxide nanomaterials play a crucial role in the origin of such an unexpected ferromagnetism,in spite of some contradicting views which kind of defects is predominant. In the past several years,we have conducted systematic and thorough research on the room temperature ferromagnetism in undoped ZrO_2 thin films,and clarify some physics behind it. We firstly prepared undoped ZrO_2 thin films by different ways,such as Pulsed electron beam deposition,magnetron sputtering,and electron beam evaporation,and successfully obtained ZrO_2 thin films with different crystalline structure,in particular a pure high-temperature stabilized one,by adjusting some preparation parameters during the deposition process or post-annealing treatment. A phase-dependent ferromagnetism was then confirmed to exist in such ZrO_2 thin films. Further,we conducted exhaustive defect analysis and characterization by X-ray photoelectron spectroscopy,photoluminescence spectra,and electron paramagnetic resonance,respectively,and found the oxygen vacancy,specifically the single ionized oxygen vacancy( V_O^+),has a remarkable influence on the enhancement of ferromagnetism. Herein,we will review the work in detail on the phase-dependent and oxygen vacancy-enhanced room temperature ferromagnetism in undoped ZrO_2 thin films. 展开更多
关键词 zro2 thin film FERROMAGNETISM phase-dependent oxygen vacancy
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Effects of RF-Sputtering Method Based Oxygen Flow Rate Change on the Properties of ZrO2 Thin Film
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作者 Jin Jeong Kyung-Choul Baek Bong-Ju Lee 《材料科学与工程(中英文A版)》 2012年第3期341-345,共5页
关键词 zro2薄膜 射频溅射法 薄膜性能 氧气流量 汇率 薄膜生长 氧分压 氧气分压
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Synthesis and Electrical Characterization of ZrO2 Thin Films on Si(100)
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作者 Vijay Ramkrishna Chinchamalatpure Sunil Madhavrao Chore +1 位作者 Shikant Sahebrao Patil Gajanan Niranjan Chaudhari 《Journal of Modern Physics》 2012年第1期69-73,共5页
The ZrO2 thin films deposited on Si (100) were successfully synthesized by solgel process and deposited by using spin-coating technique.The structural properties of ZrO2 thin films were investigated by X-Ray Diffracti... The ZrO2 thin films deposited on Si (100) were successfully synthesized by solgel process and deposited by using spin-coating technique.The structural properties of ZrO2 thin films were investigated by X-Ray Diffraction (XRD), Scanning Electron Microscope (SEM), Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FT-IR), and electrical properties were studied by conventional techniques like Capacitance-Voltage (C-V) measurement and Current–Voltage (I–V) measurement. The XRD of ZrO2 films shows the films crystallized and exists in two phases at 700℃ calcinations temperature. The C–V characteristics of all the dielectric films that involved distinct inversion, depletion, and accumulation were clearly revealed in MIS structure. I-V characteristics of ZrO2 thin films on Si shows decreased saturation current on calcinations temperatures. The XPS measurement reveals that a zirconium silicate interfacial layer has formed in the ZrO2/Si Systems. 展开更多
关键词 SOL-GEL Technique zro2 THIN film C –V I-V
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掺杂与应力对ZrO2薄膜电子结构和光学性质的影响 被引量:4
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作者 张加宏 谢丽君 +4 位作者 陈虎 顾芳 王银 吕达 冒晓莉 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1145-1150,共6页
利用基于密度泛函理论的第一性原理平面波超软赝势方法系统地研究了掺杂和应力对ZrO2薄膜的电子结构与光学性质的影响.本文首先研究了Hf原子替代掺杂对ZrO2薄膜物性的影响,研究结果表明,Hf原子掺杂减小了ZrO2薄膜的带隙和态密度大小,可... 利用基于密度泛函理论的第一性原理平面波超软赝势方法系统地研究了掺杂和应力对ZrO2薄膜的电子结构与光学性质的影响.本文首先研究了Hf原子替代掺杂对ZrO2薄膜物性的影响,研究结果表明,Hf原子掺杂减小了ZrO2薄膜的带隙和态密度大小,可在一定程度上降低其表面缺陷电荷和漏电流.掺杂Hf原子后介电峰和吸收峰的值明显下降,同时介电峰和吸收峰的波形均出现了窄化现象,半高宽显著减小.本文也着重研究了不同应力下四方晶相ZrO2薄膜物理性质变化及规律.研究发现压应力显著调控了ZrO2薄膜的带隙以及价带顶和导带底附近的能带结构.施加应力后吸收峰的吸收范围和强度均显著增大,峰值对应的光子能量蓝移则表明对紫外光的吸收随着应力的增加有所增强.在低能量红外和可见光区域,施加压应力后ZrO2薄膜的折射率变大,但在紫外线区域,压应力使ZrO2薄膜的折射率呈现出先增大后减小的波动特性.上述研究结果为ZrO2薄膜材料的设计与应用提供了理论依据. 展开更多
关键词 zro2薄膜 第一性原理 掺杂 应力 电子结构 光学性质
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碱催化制备溶胶-凝胶ZrO2薄膜及性能研究 被引量:1
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作者 李海元 唐永兴 胡丽丽 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第E01期93-96,共4页
以Zr(CC3H7)4为前驱体,二甘醇为络合剂,在氨水的碱性条件下,水解制备Zr02溶胶,并加入聚乙烯吡喏烷酮(PVP)来提高膜层的激光损伤阈值,提拉法涂膜。采用粘度、粒度分布、IR、DSC、XRD、AFM等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征。... 以Zr(CC3H7)4为前驱体,二甘醇为络合剂,在氨水的碱性条件下,水解制备Zr02溶胶,并加入聚乙烯吡喏烷酮(PVP)来提高膜层的激光损伤阈值,提拉法涂膜。采用粘度、粒度分布、IR、DSC、XRD、AFM等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征。结果表明,ZrO2溶胶具有较好的粘度稳定性;薄膜表面均匀平整;ZrO2-PVP溶胶颗粒粒径分布比ZrO2溶胶的集中;ZrO2凝胶粉在329℃附近由非晶态转变为四方晶相结构,在600℃时已有单斜晶相结构出现,随温度的升高由四方晶相向单斜晶相结构转变;加入PVP能有效提高膜层的激光损伤阈值,ZrO2膜的激光损伤阈值为10.2J/cm^2(1064nm,1ns),ZrO2-PVP膜的激光损伤阈值为14.17J/cm^2(1064nm,1ns)。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 薄膜 zro2 Zr(0C3H7)4 聚乙烯吡喏烷酮
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Structural,optical,and electrical properties of Cu-doped ZrO_2 films prepared by magnetron co-sputtering
6
作者 姚念琦 刘智超 +1 位作者 顾广瑞 吴宝嘉 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第10期384-388,共5页
Copper (Cu)-doped ZrO2 (CZO) films with different Cu content (0 at.%- 8.07 at.%) are successfully deposited on Si (100) substrates by direct current (DC) and radio frequency (RF) magnetron co-sputtering. T... Copper (Cu)-doped ZrO2 (CZO) films with different Cu content (0 at.%- 8.07 at.%) are successfully deposited on Si (100) substrates by direct current (DC) and radio frequency (RF) magnetron co-sputtering. The influences of Cu content on structural, morphological, optical and electrical properties of CZO films are discussed in detail. The CZO films exhibit ZrO2 monocline (1^-11) preferred orientation, which indicates that Cu atoms are doped in ZrO2 host lattice. The crystallite size estimated form x-ray diffraction (XRD) increases by Cu doping, which accords with the result observed from the scanning electron microscope (SEM). The electrical resistivity decreases from 2.63 Ω·cm to 1.48 Ω·cm with Cu doping content increasing, which indicates that the conductivity of CZO film is improved. However, the visible light transmittances decrease slightly by Cu doping and the optical band gap values decrease from 4.64 eV to 4.48 eV for CZO fihns. 展开更多
关键词 Cu-doped zro2 films magnetron co-sputtering RESISTIVITY TRANSMITTANCE
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离子注入对复合沉积ZrO2薄膜的组织结构影响规律分析
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作者 孙跃 张景宝 王洋 《中国材料科技与设备》 2006年第6期54-56,60,共4页
本文采用真空阴极弧离子镀与等离子体基离子注入相结合的复合沉积技术,以硅片为基底制备了ZrO2薄膜。利用GIXRD、AFM和TEM研究了氧离子注入时间对薄膜的相结构、表面形貌影响规律。结果表明,氧离子注入时间对ZrO2薄膜的微观组织结构... 本文采用真空阴极弧离子镀与等离子体基离子注入相结合的复合沉积技术,以硅片为基底制备了ZrO2薄膜。利用GIXRD、AFM和TEM研究了氧离子注入时间对薄膜的相结构、表面形貌影响规律。结果表明,氧离子注入时间对ZrO2薄膜的微观组织结构有显著的影响;适宜的工艺参数可以获得m(111)择优取向;相对于其它方法所制备的ZrO2薄膜,本文所制备的ZrO2薄膜具有较低的粗糙度值。 展开更多
关键词 离子注入 zro2 薄膜 显微组织
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ZrO2颗粒填充Ti5111合金微弧氧化膜的耐蚀性研究 被引量:3
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作者 曹飞 吕凯 +2 位作者 张雅萍 陈伟东 刘小鱼 《热加工工艺》 北大核心 2020年第8期84-88,共5页
在Ti-5Al-1Sn-1Zr-1V-0.8Mo合金微弧氧化电解液中添加ZrO2颗粒,获得含ZrO2的微弧氧化膜。采用扫描电子显微镜、衍射仪和电化学工作站等对氧化膜的厚度、粗糙度、表面形貌、组成及耐蚀性进行了研究。结果表明,随着ZrO2加入量的增加,微弧... 在Ti-5Al-1Sn-1Zr-1V-0.8Mo合金微弧氧化电解液中添加ZrO2颗粒,获得含ZrO2的微弧氧化膜。采用扫描电子显微镜、衍射仪和电化学工作站等对氧化膜的厚度、粗糙度、表面形貌、组成及耐蚀性进行了研究。结果表明,随着ZrO2加入量的增加,微弧氧化膜的厚度增加,粗糙度降低。当ZrO2加入量为1.25 g/L时,氧化膜厚度达到106μm,其粗糙度也小于未加ZrO2的膜层的粗糙度。氧化膜形貌观察结果显示,ZrO2的加入可以有效填充膜层中的孔洞,并能减少裂纹,有利于获得更为致密的氧化膜。膜层主要由金红石相TiO2和锐钛矿相TiO2组成。电化学腐蚀测试结果表明,含ZrO2浓度为1.00 g/L的微弧氧化膜的阻抗值最大,当ZrO2加入量为1.25 g/L时的腐蚀电位最高,腐蚀电流密度最小。 展开更多
关键词 zro2 钛合金 微弧氧化膜 耐蚀性
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Tribological Behaviours of PTFE Composites Filled with PEEK and Nano-ZrO2 Based on Pin-on-Flat Reciprocating Friction Model 被引量:4
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作者 祁渊 龚俊 +1 位作者 CAO Wenhan 王宏刚 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2020年第1期87-98,共12页
Nano-ZrO2 and PEEK particles were synergistically filled in unfilled PTFE to improve the wear resistance and maintain a relatively low friction coefficient,and the materials were studied using a reciprocating sliding ... Nano-ZrO2 and PEEK particles were synergistically filled in unfilled PTFE to improve the wear resistance and maintain a relatively low friction coefficient,and the materials were studied using a reciprocating sliding friction and wear tester.In the friction tests,the evolution of various tribological characteristics in both the contact interfaces and debris was observed,and the wear mechanism of the PTFE composites was investigated.The results showed that the wear rate of the PTFE composites synergistically filled with nano-ZrO2 and PEEK was lower and its friction coefficient was slightly higher than that of the unfilled PTFE;the uniformity and continuity of the transfer film generated by the composite with nano-ZrO2 and PEEK were the best,and the particle size of the debris was minimal in comparison to that in other sample systems. 展开更多
关键词 PTFE NANO-zro2 TRIBOLOGY transfer film
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Tribological Behavior of Nano-ZrO2 Reinforced PTFE-PPS Composites 被引量:5
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作者 曹文翰 龚俊 +5 位作者 QI Yuan YANG Dongya GAO Gui 王宏刚 REN Junfang CHEN Shengsheng 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2019年第3期527-533,共7页
Polytetrafluoroethylene (PTFE) is a commonly used seal material for oil-free engine that is well known for its excellent tribological properties. In this work, the nano-ZrO2 particles were used as the friction modifie... Polytetrafluoroethylene (PTFE) is a commonly used seal material for oil-free engine that is well known for its excellent tribological properties. In this work, the nano-ZrO2 particles were used as the friction modifiers to improve the friction and wear performance of PTFE-PPS composites. The friction and wear characteristics of PTFE/PPS-nano-ZrO2 composites were investigated by a block-on-ring tester under dry friction sliding condition. The worn surfaces, counterpart transfer films and wear debris were studied by scanning electron microscopy and X-ray photoelectron spectroscopy. It was found that the increase of nano- ZrO2 content could effectively reduce the coefficient of friction and enhance the anti-wear ability of PTFEPPS composites. Especially, the best tribological properties of the composites were obtained when the particle content of nano-ZrO2 was 10 vol%, the anti-wear performance of composite is 195 times better than that of the unfilled PTFE-PPS composite. Under different conditions, the coefficient of friction of PTFE/PPS-nano-ZrO2 composites was more affected by the applied load while the wear rate was more affected by the sliding velocity. 展开更多
关键词 NANO-zro2 PTFE-PPS TRIBOLOGICAL behavior transfer filmS
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物理法和化学法制备的单层ZrO_2膜的激光损伤行为差异 被引量:9
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作者 郭袁俊 祖小涛 +5 位作者 蒋晓东 袁晓东 徐世珍 吕海兵 王毕艺 田东斌 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1849-1852,共4页
分别采用电子束热蒸发技术和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了光学厚度相近的ZrO2单层薄膜,测试了两类薄膜的激光损伤阈值。分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形貌... 分别采用电子束热蒸发技术和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了光学厚度相近的ZrO2单层薄膜,测试了两类薄膜的激光损伤阈值。分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形貌、激光辐照前薄膜的杂质和缺陷状况以及激光辐照后薄膜的损伤形貌。实验结果表明:两类薄膜的不同损伤形貌与薄膜的热吸收与微观结构有关,物理法制备的ZrO2膜结构致密紧凑,膜层的杂质和缺陷多;化学法制备的ZrO2膜结构疏松多孔,膜层纯净杂质少,激光损伤阈值达26.9 J/cm2;因物理法制备的ZrO2膜拥有更大的热吸收(115.10×10-6)和更小的孔隙率(0.20),其激光损伤阈值较小(18.8 J/cm2),损伤主要为溅射和应力破坏,而化学法制备的ZrO2膜的损伤主要为剥层。理论上对实验结果进行了解释。 展开更多
关键词 zro2薄膜 激光损伤阈值 热吸收 孔隙率 损伤形貌 电子束热蒸发 溶胶-凝胶
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纳米ZrO_2薄膜的制备与表征 被引量:4
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作者 张勤远 沈军 +4 位作者 李小丽 杨天河 吴广明 周斌 王珏 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期96-99,共4页
用水热盐溶液水解法可合成含有单斜相晶态纳米ZrO2颗粒的ZrO2溶胶体用匀胶法制备的纳米 ZrO2薄膜厚度约 160nm,折光率为 1.56.纳米 ZrO2薄膜表面质量良好,无表面裂隙,台阶仪研究表明薄膜表面粗糙度算术差... 用水热盐溶液水解法可合成含有单斜相晶态纳米ZrO2颗粒的ZrO2溶胶体用匀胶法制备的纳米 ZrO2薄膜厚度约 160nm,折光率为 1.56.纳米 ZrO2薄膜表面质量良好,无表面裂隙,台阶仪研究表明薄膜表面粗糙度算术差Ra=2.7nm,均方根差Rq=3.7nm.以 ZrO2为高折射率膜层,碱催化的溶胶凝胶 SiO2为低折射率膜层,制备了SiO2/ZrO2多层高反射率薄膜,10周期的 SiO2/ZrO2多层膜系,在 1.06μm波段处透过率为 1%;薄膜表面抗激光损伤阈值约 15J/cm2(1.06μm, 2.5ns高功率激光作用下). 展开更多
关键词 氧化锆 水热法 钠米薄膜 制备
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ZrO_2薄膜的改性与抗激光损伤研究 被引量:3
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作者 罗爱云 沈军 +3 位作者 杨帆 吴广明 周斌 倪星元 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1486-1490,共5页
采用水热合成技术,制备了ZrO2胶体,用旋涂法镀制了单层ZrO2介质膜以及添加了有机粘合剂PVP的复合ZrO2-PVP薄膜。采用X射线衍射(XRD)、椭偏仪、红外分光光度计(FTIR)、原子力显微镜(AFM)等仪器对干凝胶及薄膜进行了性能测试和表征,并用... 采用水热合成技术,制备了ZrO2胶体,用旋涂法镀制了单层ZrO2介质膜以及添加了有机粘合剂PVP的复合ZrO2-PVP薄膜。采用X射线衍射(XRD)、椭偏仪、红外分光光度计(FTIR)、原子力显微镜(AFM)等仪器对干凝胶及薄膜进行了性能测试和表征,并用输出波长为1.064μm、脉宽为10 ns的电光调Q激光系统产生的强激光测试其激光损伤阈值。测得ZrO2和ZrO2-PVP薄膜在300℃热处理60 min后的激光损伤阈值分别为24.5 J/cm2和37.8 J/cm2。研究表明:添加有机粘合剂后的复合薄膜具有平整的表面结构;有机粘合剂的添加有助于提高薄膜的折射率和激光损伤阈值,其中,ZrO2-PVP复合薄膜的折射率可高达1.75,激光损伤阈值达到37.8 J/cm2,比ZrO2单层膜的激光损伤阈值提高50%。 展开更多
关键词 zro2薄膜 激光损伤 水热合成 激光损伤阈值 有机粘结剂
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不同氧分压下电子束蒸发氧化锆薄膜的特性 被引量:2
14
作者 张东平 邵淑英 +3 位作者 黄建兵 占美琼 范正修 邵建达 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期37-40,52,共5页
在不同的氧分压下用电子束热蒸发的方法制备了氧化锆薄膜。用扫描探针显微镜、X射线衍射仪和分光光度计分别对薄膜的表面粗糙度、微结构和透射谱等特性进行了表征。实验发现,薄膜沉积中氧分压与薄膜性质及微结构有密切的关系。当氧分压... 在不同的氧分压下用电子束热蒸发的方法制备了氧化锆薄膜。用扫描探针显微镜、X射线衍射仪和分光光度计分别对薄膜的表面粗糙度、微结构和透射谱等特性进行了表征。实验发现,薄膜沉积中氧分压与薄膜性质及微结构有密切的关系。当氧分压由3.0×10-3Pa升高到11×10-3Pa,薄膜的表面粗糙度由3.012nm降低到1.562nm,而薄膜的折射率由2.06降低到2.01。此外,X射线的衍射还发现,薄膜是以四方相为主多相共存的,随着氧分压的增加,特征衍射峰强度逐渐减弱,最后完全变成非晶。 展开更多
关键词 氧化锆薄膜 氧分压 表面迁移率 薄膜特性
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二氧化锆薄膜表面粗糙度的研究 被引量:8
15
作者 潘永强 吴振森 +1 位作者 杭凌侠 罗廷 《应用光学》 CAS CSCD 2008年第4期606-609,共4页
采用电子束蒸发工艺,利用泰勒霍普森相关相干表面轮廓粗糙度仪,研究了不同基底粗糙度、不同二氧化锆薄膜厚度以及不同的离子束辅助能量下所沉积的二氧化锆薄膜的表面粗糙度。结果表明:随着基底表面粗糙度的增加,二氧化锆薄膜表面粗糙度... 采用电子束蒸发工艺,利用泰勒霍普森相关相干表面轮廓粗糙度仪,研究了不同基底粗糙度、不同二氧化锆薄膜厚度以及不同的离子束辅助能量下所沉积的二氧化锆薄膜的表面粗糙度。结果表明:随着基底表面粗糙度的增加,二氧化锆薄膜表面粗糙度呈现出先缓慢增加,当基底的粗糙度大于10 nm后呈现快速增加的趋势;随着二氧化锆薄膜厚度的增加,其表面均方根粗糙度(RM S)先减小后增大;随着辅助沉积离子能量的增加,其表面粗糙度呈现出先减小后增加的趋势。 展开更多
关键词 二氧化锆薄膜 表面粗糙度 离子束辅助沉积 离子能量
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高介电栅介质ZrO_2薄膜的物理电学性能 被引量:2
16
作者 武德起 姚金城 +3 位作者 赵红生 常爱民 李锋 周阳 《河北大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2009年第5期484-488,554,共6页
采用脉冲激光沉积方法在Si衬底上沉积了ZrO2栅介质薄膜,X射线衍射分析表明该薄膜经过450℃退火后低介电界面层得到抑制,仍然保持非晶状态;电学测试显示10 nm厚ZrO2薄膜的等效厚度为3.15 nm,介电常数12.38,满足新型高介电栅介质的要求,在... 采用脉冲激光沉积方法在Si衬底上沉积了ZrO2栅介质薄膜,X射线衍射分析表明该薄膜经过450℃退火后低介电界面层得到抑制,仍然保持非晶状态;电学测试显示10 nm厚ZrO2薄膜的等效厚度为3.15 nm,介电常数12.38,满足新型高介电栅介质的要求,在-1 V偏压下Al/ZrO2/Si/Al电容器的漏电流密度为1.1×10-4A/cm2. 展开更多
关键词 zro2薄膜 高介电栅介质 等效厚度 漏电流
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工作气压对电子束沉积ZrO_2薄膜折射率和聚集密度的影响 被引量:7
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作者 郝殿中 吴福全 +2 位作者 马丽丽 闫斌 张旭 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期224-227,共4页
采用电子束蒸发的方法,用石英晶体振荡法监控薄膜的蒸发速率,在不同工作气压下制备了ZrO2薄膜样品.在相调制型椭圆偏振光谱仪和分光光度计上对样品的光谱特性进行了测试.根据波长漂移的理论,计算出薄膜的聚集密度.结果表明,随着工作气... 采用电子束蒸发的方法,用石英晶体振荡法监控薄膜的蒸发速率,在不同工作气压下制备了ZrO2薄膜样品.在相调制型椭圆偏振光谱仪和分光光度计上对样品的光谱特性进行了测试.根据波长漂移的理论,计算出薄膜的聚集密度.结果表明,随着工作气压的降低,薄膜的聚集密度和折射率都随之增大. 展开更多
关键词 薄膜 zro2薄膜 折射率 聚集密度 电子束蒸发
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SiO_2-ZrO_2复合膜的制备及其工艺参数的研究 被引量:4
18
作者 同帜 胡敏盾 +2 位作者 董旭娟 邹力 李海红 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期35-38,45,共5页
采用溶胶-凝胶法制备SiO2-ZrO2复合薄膜,研究溶胶成分和烧结工艺对薄膜开裂及其性能的影响.采用乌氏黏度计、热重分析仪(TG-DTG)、X射线衍射分析仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜进行表征.结果显示,溶胶的组成、特定温度的升温速率对... 采用溶胶-凝胶法制备SiO2-ZrO2复合薄膜,研究溶胶成分和烧结工艺对薄膜开裂及其性能的影响.采用乌氏黏度计、热重分析仪(TG-DTG)、X射线衍射分析仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜进行表征.结果显示,溶胶的组成、特定温度的升温速率对薄膜的开裂起决定性作用;当摩尔比为n(SiO2)∶n(ZrO2)=2.0∶0.5时,制得溶胶黏度适中、透明稳定,干燥的凝胶在0.5℃/min的升温速率下升至600℃焙烧2h,并在75、190和230℃附近缓慢升温且适当保温后,可得无裂缝且均匀、透明的SiO2-ZrO2复合薄膜,所制备的薄膜具有较大的比表面积和较窄的孔径分布. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 SiO2-zro2复合薄膜 防开裂 溶胶稳定性
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阳极电压对医用锆材微弧氧化膜层的影响 被引量:2
19
作者 王蓉莉 李卫 +1 位作者 刘英 李赤 《特种铸造及有色合金》 CAS CSCD 北大核心 2009年第10期905-908,共4页
采用恒压模式微弧氧化在纯锆表面制备出含Ca和P的ZrO2复合膜层,研究了当阳极电压为300V、350V、400V时微弧氧化膜层的厚度、表面形貌、相组成、表面Ca和P含量及分布的状况。结果表明,膜层呈多孔状,主要由含Ca和P的四方相氧化锆(t-ZrO2)... 采用恒压模式微弧氧化在纯锆表面制备出含Ca和P的ZrO2复合膜层,研究了当阳极电压为300V、350V、400V时微弧氧化膜层的厚度、表面形貌、相组成、表面Ca和P含量及分布的状况。结果表明,膜层呈多孔状,主要由含Ca和P的四方相氧化锆(t-ZrO2)和少量单斜相氧化锆(m-ZrO2)构成,膜层微孔内的Ca、P含量低于膜层表面基体和微孔边缘的Ca、P含量。随着阳极电压的升高,膜层厚度增加,微孔孔径增大,膜层中的t-ZrO2的含量增多,m-ZrO2的含量稍有减少,膜层表面Ca和P的含量逐渐升高,且Ca含量的增长速度高于P含量的增长速度,Ca和P的质量比增大。 展开更多
关键词 ZR 微弧氧化 zro2膜层 阳极电压
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钇稳定氧化锆薄膜的制备及其微细加工 被引量:5
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作者 张卫华 赵高扬 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期424-428,共5页
以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫... 以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫外光谱测试结果表明:乙酰丙酮与锆离子形成的螯合物在室温、可见光、大气环境下,可以存在于凝胶薄膜中,并具有较好的热稳定性和光化学稳定性,其紫外光谱的特征吸收峰大约在310nm附近;325nm紫外激光光源照射凝胶薄膜,能破坏、分解凝胶薄膜中的这种螯合物结构,使凝胶薄膜的物理化学性质发生变化,实验发现,经过紫外激光照射的凝胶薄膜在适当的有机溶剂(如甲醇等)中的溶解度和溶解速度显著降低,利用这一特性,采用325nm紫外激光通过掩膜照射凝胶薄膜,并在适当的有机溶剂中溶洗掉未受照射的区域,经过800℃,20min热处理,得到了具有微细图形的YSZ薄膜,XRD测试表明该薄膜相结构为立方相. 展开更多
关键词 氧化锆薄膜 溶胶-凝胶法 感光性 微细图形 制备 微细加工 YSZ薄膜
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